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公开(公告)号：CN106352842A
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201610924608.2
申请日：2016-10-24
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于圆盘类零件平面度和平行度计量的装置，本发明基于极坐标系下的运动采点计量，极坐标系下的极径运动由气体静压直线导轨实现，极角运动由气体静压转台实现，导轨采用柔性连接器驱动提高运动精度，转台采用减薄设计提高装置稳定性，两者独立固定在基座上，构成精密极坐标系计量基准，避免复合运动耦合引入的计量误差，计量时工件置于气体静压转台上做旋转运动，位移传感器置于气体静压直线导轨做直线运动，位移传感器返回工件表面相对高度数据，经拟合计算获得工件平面度、平行度。本发明的结构简单、操作方便，适用于复杂工业环境下，现场计量圆盘类零件平面度、平行度。
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公开(公告)号：CN113635084A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202110983211.1
申请日：2021-08-25
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了一种气浮转台，包括节流器安装座、转子、上止推板、下止推板和驱动组件，转子同轴设置在所述节流器安装座的圆通孔内；所述上止推板的下侧面与所述转子的上端连接；所述下止推板的上侧面与所述转子的下端连接；工作时，所述上止推板与所述节流器安装座之间设置有第一气膜，所述下止推板与所述节流器安装座之间设置有第二气膜，所述节流器安装座与所述转子之间设置有径向气膜。本发明通过在节流器安装座的上侧面、下侧面和内侧面设置出气口，并通过空气在节流器安装座与上止推板、下止推板和转子之间形成气膜，从而减小摩擦并形成气浮工作台，并通过同源的气泵供气来实现轴向运动精度和径向运动精度的匹配。
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公开(公告)号：CN106352842B
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201610924608.2
申请日：2016-10-24
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于圆盘类零件平面度和平行度计量的装置，本发明基于极坐标系下的运动采点计量，极坐标系下的极径运动由气体静压直线导轨实现，极角运动由气体静压转台实现，导轨采用柔性连接器驱动提高运动精度，转台采用减薄设计提高装置稳定性，两者独立固定在基座上，构成精密极坐标系计量基准，避免复合运动耦合引入的计量误差，计量时工件置于气体静压转台上做旋转运动，位移传感器置于气体静压直线导轨做直线运动，位移传感器返回工件表面相对高度数据，经拟合计算获得工件平面度、平行度。本发明的结构简单、操作方便，适用于复杂工业环境下，现场计量圆盘类零件平面度、平行度。
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公开(公告)号：CN113090644B
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202110522716.8
申请日：2021-05-13
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明涉及轴承传动技术领域，具体涉及一种可倾瓦径向液态金属轴承，包括轴套和轴径，轴套位于轴径的外部，轴套与轴径之间设有多个可倾瓦，可倾瓦的两侧面分别与轴径和轴套的侧面间隙贴合，可倾瓦与轴径之间的间隙大于其与轴套之间的间隙，将液态金属填充到间隙中，可倾瓦的空间角度就可以改变，在轴径转动及变速过程中，轴径与可倾瓦之间、可倾瓦与轴套之间发生碰撞，可倾瓦可自适应滑动，大大降低轴套、轴径与可倾瓦之间的磨损，延长轴承的使用寿命，且将可倾瓦与轴径的间隙设置为大于可倾瓦与轴套的间隙，确保可倾瓦在自适应性的滑动的同时，降低与轴套的碰撞、磨损，更加有利于延长轴套的使用寿命。
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公开(公告)号：CN107725592A
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201710913209.0
申请日：2017-09-30
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
CPC classification number: F16C32/0614 , F16C32/0622 , F16C32/0625 , F16C41/004 , F16C2380/26 , H02K11/22
Abstract: 本发明公开了一种环形狭缝节流的气浮转台，所述的气浮转台中的转轴由止推节流器和径向节流器支承，气体从进气管接头进入，沿气道给径向节流器和止推节流器供气，用于支承转轴。电机转子和圆光栅与转轴同轴装配，电机定子固定在壳体中，电机定子通电后产生电磁场，驱动电机转子和转轴旋转，圆光栅反馈角度信号，实现转轴的精确定位。本发明利用零件表面加工的台阶，通过装配形成环形狭缝，狭缝宽度与气膜厚度接近，因此气隙内部气体流动的速度变化较小，产生气锤振动的概率较小。内部气道布置简单，加工时狭缝不易堵塞，降低了加工难度。在不增加尺寸、不更改材料的情况下，可增大供气压力，进一步提高了气浮转台的刚度和精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114517809B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202210169663.0
申请日：2022-02-23
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明公开了一种基于藕状定向多孔节流的气体静压轴承，包括节流器安装座、转轴、第一止推板、第二止推板和节流器组，节流器安装座内部设置与第一平面和第二平面垂直的安装通孔，转轴设置在节流器安装座的安装通孔内，第一止推板与转轴的第一端固定连接，第二止推板与转轴的第二端固定连接，节流器组位于节流器安装座与第一止推板、第二止推板和转轴之间，节流器安装座内部设置有与节流器组连通的进气通道；本发明通过在转轴与节流器安装座之间安装节流器组，通过节流器组在转轴和节流器安装座之间形成高压气膜，用高压气膜对运动副表面进行隔离，可以显著降低运动摩擦，具有高精度、高速度、发热低、无污染等优势。
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公开(公告)号：CN116292630A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310352300.5
申请日：2023-04-04
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明公开了一种全狭缝节流静压气体支承径向止推轴承，涉及静压气体支承领域，包括同轴设置的固定部和转动部；转动部包括转轴以及分别固定在转轴两端的两个转盘，固定部位于两个转盘之间，且固定部通过其上安装通孔套设在转轴外；固定部的两端端面分别与两个转盘之间间隔形成轴向支承气膜间隙，安装通孔的孔壁与转轴的圆周面之间间隔形成径向支承气膜间隙；固定部内设有进气通道，进气通道通过轴向节流间隙与轴向支承气膜间隙连通，进气通道通过径向节流间隙与径向支承气膜间隙连通。本发明能够确保支承气膜具有较高的承载力和刚度，且节流间隙和支承气膜间隙内的气体流动流程较短，对外部动态载荷的响应较快，可以实现更优的阻尼和动刚度特性。
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公开(公告)号：CN112254950A
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN202011229898.1
申请日：2020-11-06
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了一种超精密主轴回转精度测量装置，包括基体、龙门框体、主动隔振系统、前后移动导轨、待测超精密主轴、标准球微调机构、原子力测量模块、交叉移动导轨等。在待测超精密主轴外部设有气源压力调节与稳定装置，减小供气压力波动，提高主轴运行稳定性；同时电气控制系统采用基于PID鲁棒自适应控制的先进控制方法，对待测超精密主轴的回转运动进行控制，减小外界扰动对测量过程的影响。上述多个举措可以保证测量过程中减小甚至消除外界各种扰动的影响，同时采用具有亚纳米级测量噪声的原子力测量模块进行回转精度测量，从而有效保证了超精密主轴回转误差的测量精度。
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公开(公告)号：CN113153907B
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202110583385.9
申请日：2021-05-27
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了一种液态金属轴承及真空电机，涉及机械领域，解决了现有液态金属轴承之间的防漏问题，其技术方案要点是：包括第一轴承件以及与第一轴承件活动套接的第二轴承件，第一轴承件与第二轴承件之间形成供液态金属填充的轴承间隙，所述第二轴承件的开口端内壁环设有多个密封环槽，多个密封环槽沿第二轴承件轴线方向间隔设置。本发明通过在第一轴承件与第二轴承件之间设置位于轴承间隙端口处的密封环槽，在轴承运行液态金属产生的向心力和粘度作用下，有效避免了液态金属在内部压力作用下渗出，增强了液态金属轴承之间的密封性能，解决了液态金属轴承之间液态金属在长时间使用或高速运行下渗出的问题。
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公开(公告)号：CN115307903A
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202210705018.6
申请日：2022-06-21
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了一种静压轴承刚度高精度测量系统及方法，通过轴向力加载组件或径向力加载组件可拆卸装设在同一个气缸加载系统和光学平台，实现集成性，节约占用空间，试验时只需调整气缸加载系统与待测静压轴承的位置和更换轴向力加载组件或径向力加载组件即可；同时待测静压轴承和气缸加载系统配合装设在光学平台上，加载力气缸与待测静压轴承的相对位置可以相应调整，提高加载位置和加载力大小的控制精准度。
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