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公开(公告)号：CN113137395B
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202110523735.2
申请日：2021-05-13
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明涉及真空泵控制技术领域，具体涉及一种分子泵的升速控制方法，包括如下步骤：预定位、开环加速、开环转速检测、闭环控制；其中预定位进行两次或两次以上预定位操作，控制分子泵的转子定位在目标位置上，确保定位成功，避免升速失败；闭环控制包括闭环升速过程和稳速控制过程，闭环升速过程实时判定电机失步与否，若失步，输出电流减小，并继续判定电机失步与否，根据实时判定结果执行相应动作；若未失步，继续判断当前分子泵转速是否达到设定转速，若达到则进入稳速控制过程，若未达到则输出电流增大，并继续判定电机失步与否，执行相应的动作；本发明闭环升速过程不再以分子泵的速度值大小作为反馈值，避免电机失步时升速失败的情况发生。
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公开(公告)号：CN104348284A
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201410637239.X
申请日：2014-11-13
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: H02K3/42
CPC classification number: H02K3/42
Abstract: 本发明提供了一种分子泵电机线圈端部漏磁的隔磁结构，所述的隔磁结构中的隔磁片采用软磁铁氧体材料，粘接在隔磁片座内，压环外环面通过涂胶与隔磁片座内侧固定连接并压紧隔磁片，隔磁片座过盈装配在电机定子外壳上。本发明采用软磁铁氧体材料制成的隔磁片有效隔离了电机线圈端部漏磁形成的磁场，降低了分子泵中动叶轮附近的磁场强度，从而解决动叶轮因切割磁力线形成电涡流而发热的问题，进而控制动叶轮的应力和变形。
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公开(公告)号：CN107725592A
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201710913209.0
申请日：2017-09-30
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
CPC classification number: F16C32/0614 , F16C32/0622 , F16C32/0625 , F16C41/004 , F16C2380/26 , H02K11/22
Abstract: 本发明公开了一种环形狭缝节流的气浮转台，所述的气浮转台中的转轴由止推节流器和径向节流器支承，气体从进气管接头进入，沿气道给径向节流器和止推节流器供气，用于支承转轴。电机转子和圆光栅与转轴同轴装配，电机定子固定在壳体中，电机定子通电后产生电磁场，驱动电机转子和转轴旋转，圆光栅反馈角度信号，实现转轴的精确定位。本发明利用零件表面加工的台阶，通过装配形成环形狭缝，狭缝宽度与气膜厚度接近，因此气隙内部气体流动的速度变化较小，产生气锤振动的概率较小。内部气道布置简单，加工时狭缝不易堵塞，降低了加工难度。在不增加尺寸、不更改材料的情况下，可增大供气压力，进一步提高了气浮转台的刚度和精度。
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公开(公告)号：CN112245755B
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202011267292.7
申请日：2020-11-13
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: A61M16/20
Abstract: 本发明公开了一种呼吸机用比例阀，涉及流体控制领域。包括阀体、阀芯以及驱动组件，阀体设有进气口、出气口以及连通所述进气口与出气口的腔体，其特征在于，所述阀芯与阀体无直接接触，所述阀芯外侧壁与阀体内侧壁之间设置有弹性片，所述弹性片将腔体分割为了互不连通的第一腔体和第二腔体，所述第二腔体与进气口、出气口连通，所述弹性片能够抵持阀芯于阀体内壁以盖封进气口，所述驱动组件能够驱动阀芯远离阀体内壁以连通进气口和出气口，所述阀芯内部开有连通进气口与第一腔体的气管。本比例阀中的阀芯与阀体无直接接触，比例阀在工作过程中产生的摩擦力减小，对气体流量的控制更加精准线性。
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公开(公告)号：CN109458358A
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201910052350.5
申请日：2019-01-21
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明的实施例公开了一种抗振分子泵用人字形动叶轮，其特征在于，包括芯轴、套设在所述芯轴上的电机转子和牵引筒，所述芯轴上设置有多个人字形叶片，所述牵引筒包括分别设置在所述人字形叶片两侧的第一牵引筒和第二牵引筒。本发明的实施例中所提供的一种抗振分子泵用人字形动叶轮通过设置人字形叶片及芯轴、电机转子和牵引筒的配置，可有效提高抽气性能，将抽气性能提高一倍。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104632691A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201510070999.1
申请日：2015-02-11
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: F04D29/056 , F04D29/58
Abstract: 本发明提供了一种涡轮分子泵轴承座，应用于小型涡轮分子泵等高速旋转机械领域，所述的涡轮分子泵轴承座包括波形弹簧、转子轴、滚动球轴承、摩擦片式径向弹簧、轴承座、轴承端盖、减振橡胶圈。滚动轴承的外圈与轴承座的内孔之间装有摩擦片式径向弹簧。摩擦片式径向弹簧采用金属材料制成，采用摩擦耳片可以使得摩擦片式径向弹簧具有弹性，摩擦耳片之间的相互摩擦将振动能量耗散，从而降低轴承的径向振动；采用金属材料，导热率大，能及时将轴承上的热量导出。通过摩擦片式径向弹簧实现径向减振和传热，降低了滚动轴承的轴向和径向载荷，减少了轴承的磨损，从而延长了分子泵的使用寿命。
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公开(公告)号：CN103470539A
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201310443435.9
申请日：2013-09-26
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: F04D29/66 , F04D29/58 , F04D29/056
CPC classification number: F16C37/007 , F16C19/06 , F16C27/066 , F16C2360/45
Abstract: 本发明提供了一种滚动轴承的减振和散热装置，所述的减振和散热装置包括轴承座、轴承压盖、转轴、减振橡胶圈、波浪弹簧、滚动轴承。波浪弹簧安装在滚动轴承侧面与轴承座之间的间隙内。波浪弹簧采用铍青铜材料，导热率较大，能有效传递滚动轴承高速旋转产生的热量。本发明中的波浪弹簧采用半圆拱形结构提高弹性，降低滚动轴承的径向接触刚度，减小滚动轴承的振动冲击。延长了滚动轴承的使用寿命，进而延长了涡轮分子泵的使用寿命。
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公开(公告)号：CN113323909A
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202110774852.6
申请日：2021-07-08
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: F04D29/056 , F04D29/66 , F04D29/063 , F04D19/04 , F04D29/52 , F04D29/059
Abstract: 为解决现有技术中存在的由于橡胶材质的阻尼圈的支承刚度和阻尼难以精确计量导致涡轮分子泵主轴运行稳定性受影响的技术问题，提供一种减振轴承座及涡轮分子泵包括：轴承底座，设有主轴接口和环形结构的径向减振环安装槽；径向减振环安装槽，套设于主轴接口外侧；轴承，设于主轴接口内，用于与主轴连接；径向减振环，用于设于径向减振环安装槽内并与主轴接口外侧连接；减振环压盖，用于压紧径向减振环于径向减振环安装槽；以及轴承底座压盖。涡轮分子泵包括所述的减振轴承座。本发明实施例便于对径向阻尼圈的压缩量进行精确把控，便于准确把握径向阻尼圈的压缩状态和阻尼特性，从而提高了分子泵的抗振动性能和运行的稳定性。
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公开(公告)号：CN108678975A
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201810784842.9
申请日：2018-07-17
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: F04D19/04 , F04D25/08 , F04D29/059 , F04D29/32 , F04D29/66 , F04D29/063
CPC classification number: F04D19/042 , F04D25/0606 , F04D25/08 , F04D29/059 , F04D29/063 , F04D29/325 , F04D29/668
Abstract: 本发明公开了一种抗振动的分子泵，分子泵包括泵壳、左球轴承组件、右球轴承组件、左支承座、电机定子、电机转子、外槽筒、动叶轮组件、左静叶片、右静叶片、右支承座、左端盖和右端盖，电机转子与动叶轮组件装配成一体，电机定子与左支承座装配成一体，所述的动叶轮组件左右两端分别由左球轴承组件、右球轴承组件支承，固定其上的电机转子在电机定子磁力牵引下带着动叶轮组件高速旋转。本发明采用优化的轴承润滑、预紧、减振结构降低了动叶轮组件轴心轨迹的振动范围，设计的双涡轮结构可使抽气性能提高一倍，从而解决便携式仪器、车载式仪器等真空系统性能不足、易损坏等问题。
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公开(公告)号：CN103470539B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201310443435.9
申请日：2013-09-26
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: F04D29/66 , F04D29/58 , F04D29/056
CPC classification number: F16C37/007 , F16C19/06 , F16C27/066 , F16C2360/45
Abstract: 本发明提供了一种滚动轴承的减振和散热装置，所述的减振和散热装置包括轴承座、轴承压盖、转轴、减振橡胶圈、波浪弹簧、滚动轴承。波浪弹簧安装在滚动轴承侧面与轴承座之间的间隙内。波浪弹簧采用铍青铜材料，导热率较大，能有效传递滚动轴承高速旋转产生的热量。本发明中的波浪弹簧采用半圆拱形结构提高弹性，降低滚动轴承的径向接触刚度，减小滚动轴承的振动冲击。延长了滚动轴承的使用寿命，进而延长了涡轮分子泵的使用寿命。
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