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公开(公告)号：CN111879270B
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202010904649.1
申请日：2020-09-01
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了一种旋转平台及基于其的球坐标测量机，包括旋转机构I、旋转机构II和夹具；所述旋转机构I包括支架，所述支架的两端对称设有转轴，支架通过两个转轴用于与工作平台转动连接；所述旋转机构II安装在旋转机构I上，旋转机构II采用回转工作台；所述夹具安装在回转工作台上，夹具用于装夹球壳类零件；所述支架的两端对称设置的转轴共轴线，支架以所述轴线为旋转轴转动运动，支架的旋转轴与回转工作台的旋转轴相互垂直。本发明利于实现球壳类零件测量精度高、效率高和范围广的测量目标。
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公开(公告)号：CN113635084A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202110983211.1
申请日：2021-08-25
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了一种气浮转台，包括节流器安装座、转子、上止推板、下止推板和驱动组件，转子同轴设置在所述节流器安装座的圆通孔内；所述上止推板的下侧面与所述转子的上端连接；所述下止推板的上侧面与所述转子的下端连接；工作时，所述上止推板与所述节流器安装座之间设置有第一气膜，所述下止推板与所述节流器安装座之间设置有第二气膜，所述节流器安装座与所述转子之间设置有径向气膜。本发明通过在节流器安装座的上侧面、下侧面和内侧面设置出气口，并通过空气在节流器安装座与上止推板、下止推板和转子之间形成气膜，从而减小摩擦并形成气浮工作台，并通过同源的气泵供气来实现轴向运动精度和径向运动精度的匹配。
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公开(公告)号：CN111120512A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN202010027156.4
申请日：2020-01-10
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了一种节流气浮轴承，包括相互适配的轴承基座，在轴承基座上用于与气浮导轨适配的内表面上设有多孔质节流层；沿进气方向上，多孔质节流层的气体流通阻力逐渐增大。进一步提供了一种节流气浮轴承以及基于该轴承的快轴伺服系统，包括气浮导轨、电机和刀架；节流气浮轴承套接在气浮导轨上，且通过安装基座定位；所述气浮导轨的一端与电机输出端连接、另一端安装刀架。本发明提供节流气浮轴承具有较大的刚度，进而利于获得一种刚度高、行程大的高频响高精度快刀伺服系统，从而提高大起伏微结构或自由曲面光学元件的加工效率与精度。
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公开(公告)号：CN114517809B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202210169663.0
申请日：2022-02-23
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明公开了一种基于藕状定向多孔节流的气体静压轴承，包括节流器安装座、转轴、第一止推板、第二止推板和节流器组，节流器安装座内部设置与第一平面和第二平面垂直的安装通孔，转轴设置在节流器安装座的安装通孔内，第一止推板与转轴的第一端固定连接，第二止推板与转轴的第二端固定连接，节流器组位于节流器安装座与第一止推板、第二止推板和转轴之间，节流器安装座内部设置有与节流器组连通的进气通道；本发明通过在转轴与节流器安装座之间安装节流器组，通过节流器组在转轴和节流器安装座之间形成高压气膜，用高压气膜对运动副表面进行隔离，可以显著降低运动摩擦，具有高精度、高速度、发热低、无污染等优势。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111144193B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN201911053211.0
申请日：2019-10-31
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: G06F18/241 , G06F18/213 , G06N3/126 , G01H17/00
Abstract: 本发明公开了一种基于超精密飞切加工面形的相对振动辨识方法，确定针对不同形状的工件所需的改进的边界效应抑制算法；采用改进的二维经验模态分解方法对飞切加工后的工件面形数据进行多尺度自适应模态分解；对工件表面二维截面轮廓沿液体静压导轨的进给方向进行轮廓曲线提取；结合最优匹配跟踪算法生成伪信源的单通道信源分离方法，对沿进给方向提取的轮廓曲线进行去伪信源分离。本发明提供了一种基于超精密飞切加工不同形状工件的刀尖与工件相对振动辨识方法，解决了现有振动辨识方法存在的模态混叠、边界效应突出的问题。
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公开(公告)号：CN111310569B
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202010047284.5
申请日：2020-01-16
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了基于加工表面二维变分模态分解的空间频率辨识方法；提出利用镜像延拓和自卷积Hanning窗对采集到的三维形貌数据进行预处理。然后，采用二维变分模态分解方法对表面形貌空间频率误差进行分解。并且，针对BVMD中对分解结果影响最大的两个参数惩罚因子α和分解层数K，采用粒子群退火优化算法进行了寻优；通过对实际加工表面的分析，对比离散小波分解和BEMD算法，以模态混叠作为指标，验证了本文算法的优势及其适用性；本发明提出了一种基于超精密加工表面形貌二维变分模态分解的空间频率辨识方法；解决了现有分解方法中存在的模态混叠、重构误差大的问题，利于有效解决超精密加工表面空间频率分解不彻底，分解产生信号失真的问题。
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公开(公告)号：CN113161217A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN202110409849.4
申请日：2021-04-16
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: H01J35/10
Abstract: 本发明公开了一种大承载径向液态金属轴承，包括轴径和轴套，所述轴径设置在所述轴套内，所述轴径的外圆周面设置有槽纹；所述槽纹包括人字槽和八字槽，所述人字槽和/或八字槽设置在所述轴径的外圆周面；本发明通过设置八字槽，在轴径的中部增加了承载面积，在满足主承载区润滑的情况下增大了液态金属轴承的承载能力，提升了旋转速度，也提升了CT检测的效率。
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公开(公告)号：CN112254950A
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN202011229898.1
申请日：2020-11-06
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
Abstract: 本发明公开了一种超精密主轴回转精度测量装置，包括基体、龙门框体、主动隔振系统、前后移动导轨、待测超精密主轴、标准球微调机构、原子力测量模块、交叉移动导轨等。在待测超精密主轴外部设有气源压力调节与稳定装置，减小供气压力波动，提高主轴运行稳定性；同时电气控制系统采用基于PID鲁棒自适应控制的先进控制方法，对待测超精密主轴的回转运动进行控制，减小外界扰动对测量过程的影响。上述多个举措可以保证测量过程中减小甚至消除外界各种扰动的影响，同时采用具有亚纳米级测量噪声的原子力测量模块进行回转精度测量，从而有效保证了超精密主轴回转误差的测量精度。
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