一种气浮转台
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113635084A

    公开(公告)日:2021-11-12

    申请号:CN202110983211.1

    申请日:2021-08-25

    Abstract: 本发明公开了一种气浮转台,包括节流器安装座、转子、上止推板、下止推板和驱动组件,转子同轴设置在所述节流器安装座的圆通孔内;所述上止推板的下侧面与所述转子的上端连接;所述下止推板的上侧面与所述转子的下端连接;工作时,所述上止推板与所述节流器安装座之间设置有第一气膜,所述下止推板与所述节流器安装座之间设置有第二气膜,所述节流器安装座与所述转子之间设置有径向气膜。本发明通过在节流器安装座的上侧面、下侧面和内侧面设置出气口,并通过空气在节流器安装座与上止推板、下止推板和转子之间形成气膜,从而减小摩擦并形成气浮工作台,并通过同源的气泵供气来实现轴向运动精度和径向运动精度的匹配。

    一种基于藕状定向多孔节流的气体静压轴承

    公开(公告)号:CN114517809B

    公开(公告)日:2023-09-12

    申请号:CN202210169663.0

    申请日:2022-02-23

    Abstract: 本发明公开了一种基于藕状定向多孔节流的气体静压轴承,包括节流器安装座、转轴、第一止推板、第二止推板和节流器组,节流器安装座内部设置与第一平面和第二平面垂直的安装通孔,转轴设置在节流器安装座的安装通孔内,第一止推板与转轴的第一端固定连接,第二止推板与转轴的第二端固定连接,节流器组位于节流器安装座与第一止推板、第二止推板和转轴之间,节流器安装座内部设置有与节流器组连通的进气通道;本发明通过在转轴与节流器安装座之间安装节流器组,通过节流器组在转轴和节流器安装座之间形成高压气膜,用高压气膜对运动副表面进行隔离,可以显著降低运动摩擦,具有高精度、高速度、发热低、无污染等优势。

    一种全狭缝节流静压气体支承径向止推轴承

    公开(公告)号:CN116292630A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202310352300.5

    申请日:2023-04-04

    Abstract: 本发明公开了一种全狭缝节流静压气体支承径向止推轴承,涉及静压气体支承领域,包括同轴设置的固定部和转动部;转动部包括转轴以及分别固定在转轴两端的两个转盘,固定部位于两个转盘之间,且固定部通过其上安装通孔套设在转轴外;固定部的两端端面分别与两个转盘之间间隔形成轴向支承气膜间隙,安装通孔的孔壁与转轴的圆周面之间间隔形成径向支承气膜间隙;固定部内设有进气通道,进气通道通过轴向节流间隙与轴向支承气膜间隙连通,进气通道通过径向节流间隙与径向支承气膜间隙连通。本发明能够确保支承气膜具有较高的承载力和刚度,且节流间隙和支承气膜间隙内的气体流动流程较短,对外部动态载荷的响应较快,可以实现更优的阻尼和动刚度特性。

    一种超精密主轴回转精度测量装置

    公开(公告)号:CN112254950A

    公开(公告)日:2021-01-22

    申请号:CN202011229898.1

    申请日:2020-11-06

    Abstract: 本发明公开了一种超精密主轴回转精度测量装置,包括基体、龙门框体、主动隔振系统、前后移动导轨、待测超精密主轴、标准球微调机构、原子力测量模块、交叉移动导轨等。在待测超精密主轴外部设有气源压力调节与稳定装置,减小供气压力波动,提高主轴运行稳定性;同时电气控制系统采用基于PID鲁棒自适应控制的先进控制方法,对待测超精密主轴的回转运动进行控制,减小外界扰动对测量过程的影响。上述多个举措可以保证测量过程中减小甚至消除外界各种扰动的影响,同时采用具有亚纳米级测量噪声的原子力测量模块进行回转精度测量,从而有效保证了超精密主轴回转误差的测量精度。

    一种可倾瓦径向液态金属轴承

    公开(公告)号:CN113090644B

    公开(公告)日:2024-10-29

    申请号:CN202110522716.8

    申请日:2021-05-13

    Abstract: 本发明涉及轴承传动技术领域,具体涉及一种可倾瓦径向液态金属轴承,包括轴套和轴径,轴套位于轴径的外部,轴套与轴径之间设有多个可倾瓦,可倾瓦的两侧面分别与轴径和轴套的侧面间隙贴合,可倾瓦与轴径之间的间隙大于其与轴套之间的间隙,将液态金属填充到间隙中,可倾瓦的空间角度就可以改变,在轴径转动及变速过程中,轴径与可倾瓦之间、可倾瓦与轴套之间发生碰撞,可倾瓦可自适应滑动,大大降低轴套、轴径与可倾瓦之间的磨损,延长轴承的使用寿命,且将可倾瓦与轴径的间隙设置为大于可倾瓦与轴套的间隙,确保可倾瓦在自适应性的滑动的同时,降低与轴套的碰撞、磨损,更加有利于延长轴套的使用寿命。

    一种高精度圆弧刃金刚石刀具刃口轮廓光学测量装置

    公开(公告)号:CN111561880A

    公开(公告)日:2020-08-21

    申请号:CN202010563541.0

    申请日:2020-06-19

    Abstract: 本发明公开了一种高精度圆弧刃金刚石刀具刃口轮廓光学测量装置,该装置包括底座、二维粗调心平台、精密回转轴系、微调心回转对刀机构、光学测量与图像采集系统和显示终端。二维粗调心平台用于实现金刚石刀具刀尖与光学物镜视场中央快速对齐;微调心回转对刀机构和精密回转轴系配合驱动刀具做精密回转运动,保证金刚石刀具在一次调心下全刃口的连续测量;二维粗调心平台和微调心回转对刀机构的二维差动进给机构配合可以实现在高倍率、小视场的光学物镜内快速、精准地捕捉刀具圆弧轮廓,从而实现刀具的高精度定位。本发明可快速、方便的进行圆弧刃金刚石刀具全刃口轮廓连续测量,避免重复调心引入误差,定位精度高,具有广阔的应用前景。

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