一种超精密主轴回转精度测量装置

    公开(公告)号:CN112254950A

    公开(公告)日:2021-01-22

    申请号:CN202011229898.1

    申请日:2020-11-06

    Abstract: 本发明公开了一种超精密主轴回转精度测量装置,包括基体、龙门框体、主动隔振系统、前后移动导轨、待测超精密主轴、标准球微调机构、原子力测量模块、交叉移动导轨等。在待测超精密主轴外部设有气源压力调节与稳定装置,减小供气压力波动,提高主轴运行稳定性;同时电气控制系统采用基于PID鲁棒自适应控制的先进控制方法,对待测超精密主轴的回转运动进行控制,减小外界扰动对测量过程的影响。上述多个举措可以保证测量过程中减小甚至消除外界各种扰动的影响,同时采用具有亚纳米级测量噪声的原子力测量模块进行回转精度测量,从而有效保证了超精密主轴回转误差的测量精度。

    一种旋转平台及基于其的球形球坐标测量机

    公开(公告)号:CN212228011U

    公开(公告)日:2020-12-25

    申请号:CN202021878837.3

    申请日:2020-09-01

    Abstract: 本实用新型公开了一种旋转平台及基于其的球形球坐标测量机,包括旋转机构I、旋转机构II和夹具;所述旋转机构I包括支架,所述支架的两端对称设有转轴,支架通过两个转轴用于与工作平台转动连接;所述旋转机构II安装在旋转机构I上,旋转机构II采用回转工作台;所述夹具安装在回转工作台上,夹具用于装夹球壳类零件;所述支架的两端对称设置的转轴共轴线,支架以所述轴线为旋转轴转动运动,支架的旋转轴与回转工作台的旋转轴相互垂直。本实用新型利于实现球壳类零件测量精度高、效率高和范围广的测量目标。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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