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公开(公告)号：CN104965394A
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：CN201510471721.5
申请日：2015-08-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种双工件台系统换台过程控制方法，本发明属于半导体制造装备的技术领域。它的方法步骤为：第一工件台移动到左侧预处理工作位置处；第二工件台移动到右侧曝光工作位置处；第一X向移动平台移动到左侧换卡位置处，第二X向移动平台移动到右侧换卡位置处；公转电机带动第一工件台和第二工件台逆时针旋转180度；第二工件台移动到左侧预处理工作位置处；第一工件台移动到右侧曝光工作位置处；公转电机带动第一工件台和第二工件台顺时针旋转180度。本发明方法采用回转换台方案，与直线换台方案相比，减少了换台过程中对台体的冲击，减少了换台时间，提高了工件台定位精度，对增加光刻机产率起到了至关重要的作用。
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公开(公告)号：CN104932517A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510249412.3
申请日：2015-05-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D1/10
Abstract: 环境干扰下的水下无人航行器航迹跟踪动态面控制优化方法，本发明涉及水下无人航行器航迹跟踪动态面控制优化方法。本发明的目的是为了解决现有系统不能达到动态面控制技术对被控对象精确数学模型的要求，以及该系统抵抗扰动能力低的问题。通过以下技术方案实现的：步骤一、建立UUV水平面数学模型；步骤二、在UUV水平面数学模型的基础上进行动态面控制，得到UUV航迹跟踪控制律；步骤三、在UUV航迹跟踪控制律的基础上对动态面控制进行改进，得出动态面自抗扰控制器。本发明应用于航行器领域。
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公开(公告)号：CN104881038A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201510194162.8
申请日：2015-04-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D1/10
Abstract: 环境干扰下的水下无人航行器航迹跟踪控制优化方法，本发明涉及水下无人航行器航迹跟踪控制优化方法。本发明的目的是为了解决现有UUV的航迹跟踪控制的准确率低的问题。通过以下技术方案实现：步骤一、建立UUV水平面数学模型；步骤二、在UUV水平面数学模型的基础上进行PID控制，实现UUV航迹跟踪控制；步骤三、在UUV航迹跟踪控制的基础上对PID控制进行改进，确定非线性控制律及观测器。本发明应用于水下无人航行器领域。
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公开(公告)号：CN104848886A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510305785.8
申请日：2015-06-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01D18/00
Abstract: 针对绝对式码盘的误码校正方法，本发明涉及到光电测量和自动控制领域，具体涉及一种绝对式码盘的误码校正方法。本发明首先初始化增量码值w2，然后计算通过计算dw0＝w0-w0_old，并判断dw0和-2N-1的关系，对增量码值w2进行计算；然后计算dw1＝w1-w1_old和dw2＝w2-w2_old；并判断dw1与dw2之间的关系，并对计数变量no_err_cnt进行计算；当no_err_cnt≥n1时，用绝对码值w1代替增量码值w2，并对最终码盘值进行校正；当no_err_cnt n2，则用增量码值w2代替绝对码值w1；否则用绝对码值w1代替增量码值w2；若绝对码值w1误码率比光栅码w0误码率高，则最终码盘值W＝(w2
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公开(公告)号：CN104317204A
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201410553760.5
申请日：2014-10-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于虚拟现实技术的二次平台半物理仿真系统及方法，属于二次平台半物理仿真领域。为了解决现有的二次平台仿真在调试过程中发生人机交互端指令输入不正确或者是控制算法整定错误使导致超量程或者撞台的问题。本发明是基于上位机和工控机实现的，通过上位机的操作系统实现输出给定位置指令，并实时显示二次平台的仿真模型的状态，利用三维仿真模型生成二次平台的仿真模型，结合输入的电机控制量和平台控制量仿真模拟二次平台的实时运行状态，当所述二次平台发生超量程或者撞台时，进行相应提示；利用工控机实现根据输入的给定位置指令，输出电机控制量和平台控制量。它用于仿真二次平台工作。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104267597A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201410448517.7
申请日：2014-09-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 超精密运动平台机械谐振的抑制方法，属于运动平台机械谐振的抑制领域。为了解决目前的超精密运动平台的机械谐振抑制效果差的问题。包括：根据运动平台的宏微耦合力学模型，建立六自由度精密运动平台y向宏微耦合的模型；采用自适应实数编码遗传算法辨识出建立的宏微耦合模型的未知参数，进而分别建立宏动台和微动台的机械谐振模型，再采用自适应实数编码遗传算法辨识出机械谐振模型中未知参数，获得宏动台的4个机械谐振模型和微动台的2个机械谐振模型；进而获得宏动台的4个陷波器和微动台的2个陷波器；将宏动台的4个陷波器和宏动台串联，将微动台的2个陷波器和微动台串联，完成宏动台和微动台机械谐振的抑制。它用于抑制运动平台机械谐振。
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公开(公告)号：CN103292127B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201310187886.0
申请日：2013-05-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G05D3/12 , F16F15/00 , F16F15/002 , F16M11/121 , F16M11/18 , F16M11/26 , F16M11/32 , G05B15/02 , G05B19/27 , G05B2219/49276
Abstract: 多轴支撑气浮平台的测量控制系统，属于超精密仪器设备平台技术领域。本发明为了解决现有支撑平台的调平状态受限，应用范围狭窄的问题。它包括负载反馈单元、执行单元、位置测量单元、安全保护单元、控制器、旋转电机和直线光源，负载反馈单元包括M个压力传感器和四个差动传感器；执行单元包括M个伺服音圈电机和M个伺服音圈电机驱动器；位置测量单元包括平面光栅、M个直线光栅、线阵CCD、倾角传感器、M个电子水平仪和室内GPS；安全保护单元包括2M个接近传感器和M个温度传感器，线阵CCD由不少于六个CCD组成。本发明用于气浮平台的测量控制。
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公开(公告)号：CN104044758A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410277187.X
申请日：2014-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B64G7/00
Abstract: 一种线性电机和气浮复合驱动的垂向伺服机构，属于物理仿真领域。所述垂向伺服机构包括气路部分、线性电机部分、传感器部分和垂向运动部分，所述的垂向运动部分由基座、内套筒、外套筒和上平面组成；所述的气路部分位于垂向运动部分外部，由高压气瓶、开关阀、比例阀、气压控制器组成；所述的线性电机部分位于垂向运动部分内部，包括动子和定子；所述传感器部分位于垂向运动部分外部，安装在外套筒的下部。本发明通过气瓶为内套筒腔部提供恒压气体，并通过调节出口阀开度使外套筒部分得到重力补偿，控制线性电机实现外套筒的垂向运动。本发明具有控制方便、摩擦力小、行程长等优点。
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公开(公告)号：CN104020691A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410257825.1
申请日：2014-06-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/04
Abstract: 适用于多总线协议、多扩展接口的信号采集板卡，属于高精度运动控制的信号采集领域，本发明为解决目前市场上的多数信号采集板卡基于单一PCI、PXI或者ISA总线的方式，没有可以兼容多种总线协议的信号采集板卡的问题。本发明包括FPGA模块、DSP模块、m个RS422模块、通用扩展接口、第一电平转换模块、第二电平转换模块、n个光纤收发芯片、n个光纤接口模块、p个AD采集芯片、总线接口模块、PCI总线转接电路板、PXI总线转接电路板、ISA总线转接电路板和VME总线转接电路板；便于同其他信号采集单元通信或者将其他传感器模块的扩展。同时该信号采集板卡还预留了自定义总线的接口，便于用户根据自己需要自定义总线。
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公开(公告)号：CN104019749A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410277186.5
申请日：2014-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于高精度垂向伺服机构的游标式测量装置及测量方法，属于全物理仿真测量领域。所述测量装置由气路部分、垂向运动部分、测量部分和测量补偿部分构成。本发明气路部分通过调整气压补偿垂向重力，垂向运动部分通过控制运动直线电机带动伺服机构垂向运动，测量部分通过直线光栅测得未补偿前的位移，测量补偿部分通过控制补偿直线电机带动电容传感器基板运动到未补偿前的位移附近，通过使用激光干涉仪标定后的直线光栅，使电容传感器补偿直线光栅的测量误差。从而提高了测量装置的分辨率。相比于现有技术，本发明具有结构简单、控制方便的优点。
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