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公开(公告)号：CN104181901B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201410448520.9
申请日：2014-09-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/418
CPC classification number: Y02P90/02
Abstract: 基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统，属于多板卡之间通信以及同步控制领域。为了解决现有的控制系统对光刻机实际运行中多板卡之间通信以及同步协调控制能力差的问题。它包括它包括基于VxWorks的上位机、工控机、VME总线、次主控卡A、次主控卡B、次主控卡C及实现各功能的板卡。通过基于VxWorks的上位机向次主控卡A、次主控卡B、次主控卡C发送指令进行通信以及同步控制，次主控卡A、次主控卡B和次主控卡C分别控制相应的板卡通信以及同步，实现多级控制。本发明用于光刻机在实际运行中多板卡之间通信以及同步控制。
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公开(公告)号：CN104019940B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201410277199.2
申请日：2014-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于差动测量的高精度气浮垂向调节机构，属于地面全物理仿真领域。为了解决在测量垂向运动机构测量气腔压力时压力传感器量程过大而带来的精度变差、非线性度及偏差相应增大的问题，所述气浮垂向调节机构由垂向运动机构、基准压力气腔、绝对压力传感器、相对压力传感器构成，垂向运动机构旁安置有基准压力腔，绝对压力传感器安置于基准压力腔内，垂向运动机构由垂向气浮轴承外套和垂向气浮轴承内套组成，垂向气浮轴承外套和垂向气浮轴承内套之间为垂向气腔，相对压力传感器安置于垂向气腔与基准压力腔之间。本发明在测量垂向运动机构绝对压力时采用基准压力腔绝对压力与相对压力叠加的方式，具有较高的测量精度，可达到较为良好的实验效果。
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公开(公告)号：CN104029829B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201410277196.9
申请日：2014-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于双频激光干涉仪的垂向伺服机构测量装置及方法，属于物理仿真领域。所述伺服机构测量装置包括气路部分、线性电机部分、传感器部分和垂向运动部分。本发明通过高压气瓶为内套筒腔部提供恒压气体，并通过气压控制器调节比例阀开度使外套筒部分得到重力补偿；通过外部工控机发送位置指令给控制器，控制器控制定子内部磁场实现垂向运动，驱动动子带动外套筒垂向运动；双频激光干涉仪实时测量当前位移量，并根据压力、温度、湿度测量单元测量的当前气压、温度、湿度对测量值实时校正，从而控制线性电机部分实现外套筒的高精度垂向运动。本发明具有控制方便、摩擦力小、行程长、精度高等优点。
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公开(公告)号：CN104908981A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510409194.5
申请日：2015-07-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B64G7/00
Abstract: 多自由度气浮平台的垂向气压补偿装置及垂向气压补偿方法，属于全物理仿真领域，本发明为解决现有多自由度气浮平台的垂向气压补偿装置需要多个比例的电磁阀，结构复杂，垂向气压补偿方法控制精度较低的问题。本发明的气浮轴包括气浮轴承外套和气浮轴承内套，气浮轴承内套安装在气浮轴承外套中空气腔里，气浮轴承内套沿气浮轴承外套内侧壁作垂向运动；气浮轴承内套上端连接在气浮平台上；气浮轴承外套内侧壁上安装有多个喷嘴；气浮轴承外套内侧壁上设置有测量中空气腔压力的压力传感器；喷嘴和压力传感器位于气浮轴承内套与气浮轴承外套下端之间；气浮轴承外套内部沿垂向设置有测量气浮轴承内套垂向位移的光栅尺；本发明用于全物理仿真试验。
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公开(公告)号：CN104764404A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201510187938.3
申请日：2015-04-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 基于CCD的转台平台载体位置测量方法，涉及一种载体位置信息的测量方法。解决了现有在二维平面中定位载体位置信息采用三角测量方法，测量精度低的问题。构建三角形ABC，三角形ABC的三个顶点均与载体所在位置连线后，在载体所在位置周围形成3个周角α，β，γ，根据构成三角形ABC的3个CCD传感器在直角坐标系中的具体坐标得到三角形ABC三边的长度；α，β，γ两两组合通过运算，获得3组载体到三角形ABC三个顶点的距离a、b和c分别求取平均值，获得a、b和c的最终值，并对其最终值两两组合进行计算，获得3对载体的位置坐标，并对3对载体的位置坐标求取平均值，最终获得载体的具体坐标。主要在二维平面中定位载体位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104002996A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410277197.3
申请日：2014-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于等离子推进驱动的大范围气浮平动装置，属于航空航天方向地面物理仿真和空间姿态调节领域。所述气浮平动装置主要用于装置在气浮环境中二维平面上实现平动，包括等离子体驱动器、平动台体、测量机构、控制器、电能转换装置五个部分。平面光栅传感器实时测量当前姿态信号发送给控制器，控制器经过计算将控制量发送给各个等离子体推进器，等离子体推进器部分作为执行机构，从而实现平动台体部分在二维平面上X、Y、Rz三个自由度的任意运动。本发明具有系统载荷比高、效率高、工作时间长的优点。
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公开(公告)号：CN104002996B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201410277197.3
申请日：2014-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于等离子推进驱动的大范围气浮平动装置，属于航空航天方向地面物理仿真和空间姿态调节领域。所述气浮平动装置主要用于装置在气浮环境中二维平面上实现平动，包括等离子体驱动器、平动台体、测量机构、控制器、电能转换装置五个部分。平面光栅传感器实时测量当前姿态信号发送给控制器，控制器经过计算将控制量发送给各个等离子体推进器，等离子体推进器部分作为执行机构，从而实现平动台体部分在二维平面上X、Y、Rz三个自由度的任意运动。本发明具有系统载荷比高、效率高、工作时间长的优点。
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公开(公告)号：CN105059572A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510446251.7
申请日：2015-07-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B64G7/00
Abstract: 基于PWM的气浮台平动控制方法，属于地面全物理仿真领域，本发明为解决现有气浮台平动控制方法控制精度低、推力器开启时间长、能源消耗大的问题。本发明具体过程为：根据位置基准信号和气浮台位置信号获取位置误差信号；PID控制器根据位置误差信号输出控制电压，将控制电压的调制波输送至PWM模块；PWM模块采用等腰三角形的锯齿波作为载波，将调制波与载波调制为PWM波；当PWM波占空比为1时，位置误差信号较大，推力器打开；当PWM波占空比小于1时，位置误差信号较小，在PWM波高电平时推力器打开，低电平时推力器关闭；推力器打开时将控制电压转换为脉冲形式的离散推力，推动气浮平台平动。本发明用于卫星地面仿真。
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公开(公告)号：CN104267597A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201410448517.7
申请日：2014-09-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 超精密运动平台机械谐振的抑制方法，属于运动平台机械谐振的抑制领域。为了解决目前的超精密运动平台的机械谐振抑制效果差的问题。包括：根据运动平台的宏微耦合力学模型，建立六自由度精密运动平台y向宏微耦合的模型；采用自适应实数编码遗传算法辨识出建立的宏微耦合模型的未知参数，进而分别建立宏动台和微动台的机械谐振模型，再采用自适应实数编码遗传算法辨识出机械谐振模型中未知参数，获得宏动台的4个机械谐振模型和微动台的2个机械谐振模型；进而获得宏动台的4个陷波器和微动台的2个陷波器；将宏动台的4个陷波器和宏动台串联，将微动台的2个陷波器和微动台串联，完成宏动台和微动台机械谐振的抑制。它用于抑制运动平台机械谐振。
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公开(公告)号：CN104044758A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410277187.X
申请日：2014-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B64G7/00
Abstract: 一种线性电机和气浮复合驱动的垂向伺服机构，属于物理仿真领域。所述垂向伺服机构包括气路部分、线性电机部分、传感器部分和垂向运动部分，所述的垂向运动部分由基座、内套筒、外套筒和上平面组成；所述的气路部分位于垂向运动部分外部，由高压气瓶、开关阀、比例阀、气压控制器组成；所述的线性电机部分位于垂向运动部分内部，包括动子和定子；所述传感器部分位于垂向运动部分外部，安装在外套筒的下部。本发明通过气瓶为内套筒腔部提供恒压气体，并通过调节出口阀开度使外套筒部分得到重力补偿，控制线性电机实现外套筒的垂向运动。本发明具有控制方便、摩擦力小、行程长等优点。
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