键合态铜单晶及其原子级扩散键合工艺方法

    公开(公告)号:CN115821397B

    公开(公告)日:2024-08-13

    申请号:CN202211654472.X

    申请日:2022-12-22

    Applicant: 燕山大学

    Abstract: 本发明公开了键合态铜单晶及其原子级扩散键合工艺方法。对比了不同压力、升温速率以及保温时间对块体铜单晶之间扩散键合效果的影响。通过对焊缝处进行EBSD表征发现:将待焊面表面粗糙度降低至150nm以下,在小于20MPa的压力下在550~650℃下保温0.5~2h后可实现无再结晶的大块铜单晶样品有效焊合。通过TEM高分辨分析进一步证实了大块铜单晶之间首次实现了原子级的扩散键合。本发明操作方法简单、节能环保、可进行批量压焊处理,从而得到无明显焊缝原子级键合态铜单晶体。

    一步法制备MoS2/WS2水平异质结多晶薄膜的方法

    公开(公告)号:CN115161772B

    公开(公告)日:2024-07-12

    申请号:CN202210495206.0

    申请日:2022-05-07

    Applicant: 燕山大学

    Abstract: 本发明涉及一步法制备MoS2/WS2水平异质结多晶薄膜的方法,属于无机纳米半导体材料领域,将装有硫粉的刚玉舟放于多温区管式炉上游低温区;将氧化钨与氯化钠混合粉、铬粉、氧化钼粉依次分开放于管式炉下游高温区的长刚玉舟上游;通入惰性保护气体,将多温区管式炉各个温区升温至目标温度使前驱体蒸发,在载气的带动下在多温区管式炉下游位置反应并沉积于放置在长刚玉舟下游的基底上,形成小晶粒多晶MoS2/WS2水平异质结薄膜。本发明仅需一步便能够在两个小时左右的时间内制备得到晶粒尺寸微小、结晶度好、多晶样品尺寸大的单层MoS2/WS2水平异质结连续多晶薄膜,反应所用的原料来源广泛、成本低廉,且操作安全、简单。

    硅微/纳米柱的制备方法
    54.
    发明授权

    公开(公告)号:CN115159446B

    公开(公告)日:2024-07-12

    申请号:CN202210686875.6

    申请日:2022-06-17

    Applicant: 燕山大学

    Inventor: 仝柯 赵松 田永君

    Abstract: 本发明提供一种硅微/纳米柱的制备方法,属于硅微/纳米结构的制备技术领域。本方法包括如下步骤:(1)从磨抛好的块体硅样品中利用FIB电镜提取用于加工微/纳米柱的初始坯料;(2)利用FIB电镜加工圆台型粗坯;(3)借助FIB电镜,使用环形加工图案对圆台型粗坯进行粗加工,获得硅微/纳米柱粗坯;(4)保持环形加工图案内径不变,逐渐增加其外径进行精加工,确保直径符合需求;(5)利用FIB电镜削平硅微/纳米柱顶部,确保高度符合需求;(6)去除加工过程引入的非晶层。采用本发明的技术方案,可制备尺寸精度高、加工锥度小的硅微/纳米柱,所制备的硅微/纳米柱直径偏差不大于10%,锥度小于10°。所得硅微/纳米柱可用作原位电镜力学测试样品。

    键合态TiAl单晶及其扩散键合工艺方法

    公开(公告)号:CN115928217A

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202211655012.9

    申请日:2022-12-22

    Applicant: 燕山大学

    Abstract: 本发明公开了键合态TiAl单晶及其扩散键合工艺方法。对焊缝处进行EBSD等试验表征,结果表明:焊接之前将TiAl单晶待焊面表面粗糙度降低至200nm以下,压力在10~50MPa之间,焊接温度在950~1250℃之间,保温时间为1~10h时TiAl单晶样品焊合率在90%以上,实现了有效扩散键合;在10~30MPa压力下,焊接温度在1050~1150℃之间,保温时间为3~10h时焊缝处无再结晶生成,完全通过原子之间直接键合,进一步优化实现了TiAl单晶的无再结晶原子级扩散键合,焊合率高达95%以上。本发明操作方法简单、节能环保、可批量进行压焊,从而得到大尺寸键合态TiAl单晶。

    键合态铜单晶及其原子级扩散键合工艺方法

    公开(公告)号:CN115821397A

    公开(公告)日:2023-03-21

    申请号:CN202211654472.X

    申请日:2022-12-22

    Applicant: 燕山大学

    Abstract: 本发明公开了键合态铜单晶及其原子级扩散键合工艺方法。对比了不同压力、升温速率以及保温时间对块体铜单晶之间扩散键合效果的影响。通过对焊缝处进行EBSD表征发现:将待焊面表面粗糙度降低至150nm以下,在小于20MPa的压力下在550~650℃下保温0.5~2h后可实现无再结晶的大块铜单晶样品有效焊合。通过TEM高分辨分析进一步证实了大块铜单晶之间首次实现了原子级的扩散键合。本发明操作方法简单、节能环保、可进行批量压焊处理,从而得到无明显焊缝原子级键合态铜单晶体。

    一步法制备单层MoS2/WS2双组份梯度材料的方法

    公开(公告)号:CN114864382A

    公开(公告)日:2022-08-05

    申请号:CN202210473606.1

    申请日:2022-04-29

    Applicant: 燕山大学

    Abstract: 本发明涉及一步法制备单层MoS2/WS2双组份梯度材料的方法,属于无机纳米半导体材料领域,将硫粉用药匙在刚玉舟的一侧压实,并将盛放硫粉的刚玉舟用铝箔纸密封包裹,用细钢针在盛放硫粉的一侧扎小孔,然后将盛放硫粉的刚玉舟置于多温区管式炉上游低温区;将氧化钨粉与NaCl混合物、氧化钼粉依次分开置于长刚玉舟上游,将基底置于长刚玉舟下游,然后将长刚玉舟置于多温区管式炉下游高温区;随着多温区管式炉下游高温区温度的调节及NaCl用量的调整,制备出不同尺寸的单层MoS2/WS2双组份梯度材料。本发明能够制备尺寸可控的单层MoS2/WS2双组份梯度材料,所制备的样品结晶性好、化学及热力学性能稳定,应用前景好。

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