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公开(公告)号：CN102879360A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210325524.9
申请日：2012-09-05
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种超衍射定向传输材料结构制备后的测试分析方法，在透明基底上通过纳米加工方法得到纳米狭缝或孔结构掩模；在已平坦化的纳米狭缝或孔结构掩模上沉积金属介质交替多层膜结构材料；通过刻蚀或研磨的方法实现表层薄膜材料的粗糙化，完成结构制备；然后通过光源照明狭缝或小孔，激发表面等离子体倏逝波光场，并交替耦合到多层金属介质薄膜材料中，表面等离子体光场在金属介质膜层材料最外层形成特定分布，并被粗糙化表面散射到远场，通过物镜和CCD观测记录；最后计算得出超衍射材料的定向传输角度θ。本发明将高频倏逝波能量转化到远场进行探测和分析，可满足超衍射材料光学特性在远场范围的量化分析及表征需求。
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公开(公告)号：CN102862950A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201210365757.1
申请日：2012-09-27
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供一种纳米缝隙金属聚焦透镜的制备方法，首先确定入射波长，选取合适的透光基底材料，基底上再蒸镀一层金属膜，让入射光垂直于金属膜表面入射；利用纳米加工技术在金属膜上加工等宽度的狭缝或者环形缝阵列；对于预定焦点位置的光聚焦，计算光在焦点位置聚焦时光波在不同位置排布的狭缝或者环形缝的位相延迟分布，通过聚焦离子束引导沉积特定厚度的介质满足光波在不同位置排布狭缝或者环形缝的位相延迟要求，使金属聚焦透镜实现对入射光在预定焦点位置的聚焦。本发明根据预定的焦点位置来改变金属聚焦透镜的狭缝或者环形缝内介质厚度沉积以实现近场或者远场光聚焦，同时其透镜结构简单，可很方便的用于光路系统集成，具有广阔的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102096123B
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN201010617734.6
申请日：2010-12-22
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种制备平面缩放倍率超分辨成像透镜的方法，包括：在基片上制备圆形或正方形或长方形的平底凹槽；在基片上沉积一层银膜层，再在银膜层上涂布一层可固化的溶胶层，其中溶胶层在表面张力的作用下会在凹槽位置形成弧面，经加热或紫外光照射后溶胶层固化；依此类推，在基片上交替沉积银膜层和涂布、固化溶胶层，在凹槽位置得到由多层银膜层和溶胶层交替组成的多层弧面膜层，直到将凹槽填平，就得到了物面和像面均为平面的缩放倍率超分辨成像透镜。该平面缩放倍率超分辨成像透镜能够二维缩小或放大成像，可应用于超分辨缩小光刻或放大成像。这解决了当前平面缩放倍率超分辨成像透镜难以制作的难题，在成像和光刻领域拥有巨大的应用潜力。
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公开(公告)号：CN102096317A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201010617795.2
申请日：2010-12-22
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种制作高深宽比周期性纳米结构的方法，其特征在于：选择抛光基片，用旋涂的方法在其表面涂上一层厚度≥300nm的光刻胶；采用磁控溅射的方法在光刻胶表面沉积一层厚度为20nm的SiO2薄膜；用旋涂的方法在SiO2薄膜表面涂上一层厚度为50nm-100nm的高分辨率光刻胶；利用激光干涉光刻对表层高分辨率光刻胶进行曝光显影；将三层胶结构置于热板或烘箱中进行坚膜；选择氟基气体，利用反应离子刻蚀将表层光刻胶图形传递至SiO2层；再选用氧气，以SiO2层为硬掩模层，利用反应离子刻蚀将SiO2层的图形传递至底层光刻胶，即可获得高分辨率、高深宽比光刻胶图形。本发明成本低廉、加工图形区域面积大，在亚波长光栅和光子晶体的制作及应用研究方面具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN101514986A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200910078193.1
申请日：2009-02-26
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01N33/50 , G01N21/00 , G01N33/569 , G01N33/68
Abstract: 一种利用局域表面等离子体增强的无标记生化探测方法，其特征在于：包括以下步骤：(1)根据探测对象制备LSPR探测芯片；(2)根据探测对象选用特定的生物分子对芯片进行活化，通过光谱测试系统测试该芯片的光谱基准值；(3)然后引入待测样品进行检测，通过测试获得光谱曲线；(4)通过分析光谱谱峰移动状况判断待测样品中是否含有探测对象；实现对探测对象无标记、高灵敏度、快速检测，同时可使用列阵化芯片，实现高效、多通道检测。本发明方法具有不需要复杂设备、不需要使用放射性同位素、酶或荧光等做为标识物，具有成本低、灵敏度高显著特点，且可实现阵列化芯片，为快速检测生化分子提供一种简单实用的新方法。
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公开(公告)号：CN1670564A
公开(公告)日：2005-09-21
申请号：CN200510011241.7
申请日：2005-01-24
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 同轴对称型微反射镜阵实现半导体激光器光束整形方法，首先半导体激光器阵列准直光束在方向校正微反射镜阵列通光窗口位置处以线光斑的形式入射到光束分割微反射镜阵列，中间部分光束直接穿过光束分割微反射镜阵列窗口，左边的分割微反射镜将入射到该反射镜上的光束向下和向中间反射，右边的分割微反射镜对入射到该微反射镜的光束向上向和向中间反射，在往回反射到方向校正微反射镜阵列的位置处，这两部分光束都与中间直接穿过部分形成线光束堆，经过方向校正微反射镜阵列后，所有的光束均沿原先光路的光轴方向传输，此时，快轴方向的光斑尺寸增大了N倍，慢轴方向的光斑尺寸减小到原来的1/N。这样就实现了线光束到圆光束或正方形光束的变换。本发明具有光束整形效率高、结构简单的优点。
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公开(公告)号：CN201464360U
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200920105986.3
申请日：2009-02-26
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01N21/27
Abstract: 一种局域表面等离子体共振增强生化检测仪，其特征在于：包括光源系统、传感系统、光谱分析系统以及数据处理系统四部分组成，其中所述传感系统上装有探测芯片；由光源系统提供光源，传感系统、光谱分析系统依次位于光源后面的出射光路上并都垂直于光轴放置；光源发出的光照射在传感系统的探测芯片上，光谱分析系统位于传感系统之后探测通过探测芯片的光线；并将所采集到的数据信息传输到数据处理系统，进行数据处理；通过该检测仪，达到对探测对象的快速、高灵敏识别并且适合外场测试的需求。本实用新型装置结构简单，成本低，携带方便；可以满足野外、公共场所、医院等对生化探测的需要，便于推广。
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