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公开(公告)号：CN119937249A
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202311509873.0
申请日：2023-11-13
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本公开提供一种热矫正承片台、光刻设备及高阶套刻误差矫正方法，该热矫正承片台自上而下依次包括：真空吸盘，包括由凸起组成的阵列和密封侧墙，用于吸附并固定晶圆；热矫正执行组件，包括基板和由温度执行单元组成的阵列，每个温度执行单元包括加热/冷却元件和第一温度传感器，用于控制晶圆的热变形以矫正高阶套刻误差；支撑组件，包括用于与真空吸盘固定连接的安装法兰和由第二贯穿孔组成的阵列；压电陶瓷驱动组件，包括由压电陶瓷单元组成的阵列，压电陶瓷单元穿过第二贯穿孔、热矫正执行组件上的第一贯穿孔后与真空吸盘的下表面接触，用于调控晶圆的面形；其中，由凸起、由温度执行单元、由第二贯穿孔和由压电陶瓷单元组成的阵列相互对应。
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公开(公告)号：CN108469842B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN201810223704.3
申请日：2018-03-19
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G05D3/12
Abstract: 本发明提供一种运动平台复合轴光电跟踪系统精稳定扰动解耦方法，主要用于解耦粗跟踪机架陀螺信息中的目标运动信号和扰动信号，估计出机架粗稳定和粗跟踪共同作用之后的残余扰动量，利用跟踪镜抑制解耦出来的残余扰动。跟踪机架包含粗跟踪和粗稳定回路，建立粗稳定回路模型为GM(s)。将粗跟踪回路控制量同时作为粗稳定回路和其模型GM(s)的输入，将二者输出相减得到粗稳定剩余扰动df(s)，再将df(s)乘以粗跟踪误差传递函数W(s)，得到粗稳定和粗跟踪作用之后的剩余扰动d2(s)。将解耦出来的d2(s)前馈控制到跟踪镜就构成了精稳定，从而提高系统扰动抑制能力。本发明不需要增加额外的传感器，简单有效，工程实现容易。
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公开(公告)号：CN114114703B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202111507648.4
申请日：2021-12-10
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种适用于宽角度入射的全介质消偏分光棱镜及其制备方法，其包含两个等腰直角棱镜及胶合其中的全介质混合材料消偏分光膜。入射光在±5°范围内入射胶合后的棱镜，会被分为两束子光束出射，分别为透射光和反射光，两者光强比为50％:50％，每束出射子光束中s向与p向偏振光的光强差值在入射光光强的±3％以内。全介质混合材料消偏分光膜由具有高、中、低三种折射率的膜材按照一定顺序依次交替镀制而成，其中，中间折射率膜材可能并不存在于现有种类的膜材中。本发明通过混合共溅射方式突破材料折射率范围的限制，极大地增强了基板、入射角和工作波长以及膜层材料的可选性，使本发明所述的消偏棱镜的应用场景更加广泛。
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公开(公告)号：CN116755239A
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202310726829.9
申请日：2023-06-19
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于光斑图像矩特征的望远镜主次镜校准方法，属于望远镜计算机辅助装调领域。该校准方法的具体步骤如下，首先，随机给定望远镜系统次镜各自由度失调量，利用无偏有限脉冲响应矩提取望远镜失调状态下合理范围内多视场的光斑图像特征；然后利用全连接神经网络构建次镜各自由度失调量和多视场光斑图像特征矩阵之间的模型；在实际使用中，将CCD相机采集的多视场光斑图像利用无偏有限脉冲响应矩提取特征矩阵后输入训练好的神经网络模型求解出次镜的失调量，从而指导望远镜系统的装调。本方法旨在无波前传感器作为望远镜的像质评价基准的情况下，并且无需多次迭代，从而提高系统主次镜对准的效率和系统的成像质量。
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公开(公告)号：CN116699838A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310726752.5
申请日：2023-06-19
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G02B27/00 , G02B23/00 , G06V10/82 , G06V10/774 , G06N3/0464 , G06N3/08
Abstract: 本发明公开了一种基于点扩散函数的望远镜像差校正方法。所述方法分为建立模型和实际使用两个部分，先搭建望远镜系统，随机给定镜片相对于理想位置的各自由度失调量，探测此时系统的泽尼克多项式系数和点扩散函数，分别利用深度学习算法构建点扩散函数和泽尼克多项式系数以及泽尼克多项式系数和镜片各自由度失调量之间的两个模型；在实际使用过程，无需使用波前传感设备，将CCD相机采集的光斑图像直接输入将两个模型权重参数叠加的新模型求解出镜片的失调量，从而校正系统因镜片位置失调而产生的低阶像差。本方法适用于各种复杂系统的镜片失调量求解，高精度和一定的实时性具有工程应用价值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116301062A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310302052.3
申请日：2023-03-27
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于三点坐标的望远镜固定像旋解算方法。具体步骤为：首先记录当前目标脱靶量坐标O以及分别给快反镜两个方向增加控制量后目标脱靶量坐标P、Q。然后利用坐标O、P确定X方向的走向所处的象限位置以及固定像旋角，利用坐标O、P、Q确定脱靶量误差的极性A1、A2，接着通过判断像旋角转为弧度后余弦值的正负号来确定旋转矩阵的极性K1、K4。最后给其中一个方向增加控制量，判断自身方向的走向以及对另一个方向的影响，同时结合像旋角转为弧度后正弦值确定旋转矩阵的极性K2、K3，从而得到完整的像旋解算公式。本发明的方法计算速度快、易于实现、性能稳定，仅通过三点坐标即可得到固定像旋角，并推出脱靶量误差和旋转矩阵的所有极性。
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公开(公告)号：CN116295131A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310270195.0
申请日：2023-03-20
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种望远镜系统中多图像探测器的同轴度校标方法，在望远镜的任意方位提供一个可成像的点目标，根据点目标成像在图像探测器的位置，结合该图像探测器与主望远镜的几何安装位置，提出一种基于解多个方程组的方法校正望远镜同轴度，并对所求的多组同轴度校正量求取均值以减小误差，从而实现对有多个图像探测器的望远镜同轴度的精确校正。经本发明方法校正后的图像探测器即使安装位置发生改变也无需重新标校，本发明方法所需条件限制少、适应性强、精度高、校正速度快。
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公开(公告)号：CN116234413A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202211741780.6
申请日：2022-12-29
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本公开提供一种压电陶瓷驱动阵列及面形调整方法，压电陶瓷驱动阵列包括：依次叠设的底板电极层、压电陶瓷阵列及绝缘层，底板电极层包括阵列排布的底板电极；压电陶瓷阵列包括至少一层压电陶瓷阵列单元，多层压电陶瓷阵列单元层叠设置，每一层压电陶瓷阵列单元包括叠设的正电极层和负电极层；正电极层包括第一压电陶瓷薄片及形成于其表面的正电极阵列，负电极层包括第二压电陶瓷薄片及形成于其表面的负电极阵列；同一正电极层上各个正电极之间相互独立，不同正电极层上相同位置的正电极之间邻接后连接至对应位置的底板电极；同一负电极层上每一个负电极与相邻的至少一个负电极连接，不同负电极层边缘上相同位置的负电极之间邻接后连接至外部电路。
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公开(公告)号：CN114859552A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210633536.1
申请日：2022-06-07
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G02B27/00 , G06V10/82 , G06V10/766 , G06V10/774 , G06N3/04 , G06N3/08
Abstract: 本发明公开了一种基于深度学习的离轴望远镜低阶像差校正方法。所述方法包括：步骤一：建立光学系统模型；步骤二：构建神经网络数据集，所述数据集包括训练集和测试集；步骤三：训练神经网络模型；步骤四：求解失调量并指导装调。本方法无需使用波前传感器获取光学系统的像差，有效降低系统的复杂度以及避免像差探测环节带来的累积误差，从而提高系统低阶像差校正的效率和系统的成像质量。本方法适用于各种复杂系统的镜片失调量求解，并具备高精度和实时性，在工程实践中将其应用于离轴望远镜的像差校正具有重要指导意义。
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公开(公告)号：CN113358114B
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202110746265.6
申请日：2021-07-01
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于陀螺和精电视信号融合的扰动解耦与抑制方法，光电跟踪系统的机架方位轴和俯仰轴上分别装载角速率陀螺A和角速率陀螺E，陀螺信号用于粗跟踪回路的速度回路闭环，此外，解耦陀螺信号的高频部分为扰动信号的高频部分。精电视安装在机架内部，通过快反镜探测目标偏差，精电视信号用于精跟踪回路闭环，同时解耦其低频信号与解耦后的陀螺信号融合后前馈到精跟踪回路，能够提高系统对扰动的抑制能力，但不影响系统的目标跟踪能力，实现精稳定控制。本发明不需要添加额外传感器，不需要建立控制对象的等效模型。结构简单，利于工程实现。
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