公开(公告)号：CN109791909A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201780060117.0

申请日：2017-10-17

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 福岛崇行 ,  吉田哲也 ,  木下真也

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/00 ,  B65G49/07

Abstract: 一种基板把持手，是把持圆板状的基板W的基板把持手，且具备基底板（11）及引导构件（12），该引导构件（12）设置于基底板（11），从水平方向观察时形成为L字状，在底面（12b）的基端部设置水平部（12h），且以底面（12b）与内壁面（12i）所成的角部即第一角部（12a1）成为曲线状的形式形成。

公开(公告)号：CN106104786B

公开(公告)日：2019-04-05

申请号：CN201480074391.X

申请日：2014-06-27

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 桥本康彦 ,  福岛崇行 ,  金丸亮介 ,  木下真也 ,  宮川大辉

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明的末端执行器(5)包括可分别独立地驱动的第1机器手(8)及第2机器手(9)。第1机器手(8)具有可插入至收容在基板收容部的上下邻接的基板彼此之间的机器手主体(10)，且保持机器手主体(10)的正上方或正下方的基板(S)。第2机器手(9)具有：机器手基部(11)，至少一部分进入至收容在基板收容部的多片基板(S)中的最下段的基板(S)的下方或最上段的基板(S)的上方；以及基板保持器件(12)，设置在机器手基部(11)，且保持包含最下段或最上段的基板(S)的两片以上的基板(S)。根据该末端执行器(5)，即便在根据基板收容部侧的情况而批次搬送式机器手的使用存在限制的情况下，也可顺利地进行基板搬送。

公开(公告)号：CN108780770A

公开(公告)日：2018-11-09

申请号：CN201780015069.3

申请日：2017-02-28

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 吉田雅也 ,  冈田拓之 ,  福岛崇行 ,  后藤博彦

IPC: H01L21/677 ,  B25J9/22

CPC classification number: H01L21/677

Abstract: 控制器，使用从第一光传感器及至少一个的第二光传感器中选择的一个光传感器，使基板搬送手往光传感器的光路位于基板载置部的上方且不会与柱部干涉的检测开始位置移动，从检测开始位置使基板搬送手往下方移动至以光传感器检测到物体的检测位置，将基板搬送手位于检测位置时的光传感器距离光路的规定位置基准的高度，作为基板载置部的高度位置加以储存。

公开(公告)号：CN104937708B

公开(公告)日：2018-04-24

申请号：CN201380067574.4

申请日：2013-12-25

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 桥本康彦 ,  福岛崇行 ,  金丸亮介 ,  宫川大辉

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742 ,  B25J11/0095 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/68707

Abstract: 末端执行器装置(1)具备：机器手(3)，具有收纳空间；及多个保持部(4A、4B)，设置于机器手(3)，分别保持各板状构件的周缘部。各保持部(4A、4B)包含：多个支承部(42)，以多个板状构件隔开上下间距的方式，分别支承所述多个板状构件；及间距变换机构(7)，使所述多个支承部(42)分别升降而变换间隔。与多个支承部(42)一体地分别线性移动的多个线性移动部(41A)，以露出至机器手(3)的外部的方式设置于所述机器手(3)，且分别驱动间距变换机构(7)的多个线性移动部(41A)的多个驱动部被收纳于机器手(3)的收纳空间。

公开(公告)号：CN105473290B

公开(公告)日：2017-03-29

申请号：CN201480048301.X

申请日：2014-09-04

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 稻田隆浩 ,  后藤博彦 ,  齐藤雅行 ,  芝田武士 ,  福岛崇行

IPC: B25J19/00 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/68707 ,  B25J9/0021 ,  B25J19/0079 ,  F16C29/02 ,  F16C29/088 ,  H01L21/67766

Abstract: 密封带（4）包含内侧带区间（41）及外侧带区间（42），内侧带区间（41）以随着移动体（2）的移动而旋转的形式构成，外侧带区间（42）包含：在内侧带区间（41）与开口（10）之间的第一部分43），该第一部分（43）的一端（43a）保持于移动体（2）的内在部（21a）的下端（10b）侧部分，其他部分沿着开口（10）延伸，且保持于第三空间位置P3）；以及在内侧带区间（41）与开口（10）之间的第二部分（44），该第二部分（44）的一端（44a）保持于内在部（21a）的下端（10b）侧部分，其他部分沿着开口（10）延伸至第四空间位置（P4）为止，且保持于第四空间位置（P4）；且随着移动体（2）的移动，第一部分（43）的长度及第二部分（44）的长度相辅相成地发生变化，驱动机构（3）位于由内侧带区间包围的空间。

公开(公告)号：CN106414004A

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：CN201580027073.2

申请日：2015-03-31

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 福岛崇行

IPC: B25J19/00

Abstract: 本机械手(1)的手腕构造具备：中空的外侧手腕轴(5)，沿着共通的旋转轴线(L)而延伸设置，且上端连接于下侧手(3)；中空的内侧手腕轴(5)的内部而延伸设置且上端连接于上侧手(2)，且具有以在下侧手(3)的内部开口的方式形成的开口部(8)；以及线束处理机构(9)，用以将从内侧手腕轴(4)的内部经由开口部(8)而延伸设置到下侧手(3)的内部的线束(7)支撑为能够独立于内侧手腕轴(4)及下侧手(3)的每一者地移动。根据本机械手(1)，能够将上侧手(2)及下侧手(3)的相对旋转角度比以往扩大。(4)，沿着共通的旋转轴线(L)穿过外侧手腕轴

公开(公告)号：CN106104786A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201480074391.X

申请日：2014-06-27

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 桥本康彦 ,  福岛崇行 ,  金丸亮介 ,  木下真也 ,  宮川大辉

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/68707 ,  B25J9/042 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/67781

Abstract: 本发明的末端执行器(5)包括可分别独立地驱动的第1机器手(8)及第2机器手(9)。第1机器手(8)具有可插入至收容在基板收容部的上下邻接的基板彼此之间的机器手主体(10)，且保持机器手主体(10)的正上方或正下方的基板(S)。第2机器手(9)具有：机器手基部(11)，至少一部分进入至收容在基板收容部的多片基板(S)中的最下段的基板(S)的下方或最上段的基板(S)的上方；以及基板保持器件(12)，设置在机器手基部(11)，且保持包含最下段或最上段的基板(S)的两片以上的基板(S)。根据该末端执行器(5)，即便在根据基板收容部侧的情况而批次搬送式机器手的使用存在限制的情况下，也可顺利地进行基板搬送。

公开(公告)号：CN303348586S

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201430555737.0

申请日：2014-12-26

Applicant: 川崎重工业株式会社

Designer： 桥本康彦 ,  福岛崇行 ,  金丸亮介 ,  木下真也

Abstract: 1．本外观设计产品的名称：产业用机械手。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于将该产品的基端侧装设在产业用机器人的机械手臂前端,以保持半导体晶元等衬底。3．本外观设计产品的设计要点：在于该产业用机械手的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。5．本外观设计产品的立体参考图1是表明构件名与动作方向的立体参考图，立体参考图2是表明衬底保持构件缩回状态的立体参考图。立体参考图1示出机械手前端侧及机械手基端侧各具有左右一对的衬底保持构件组(每一组包含5个衬底保持构件)。衬底保持构件的各组能从立体图所示的突出状态变化为立体参考图2所示的缩回状态。如立体参考图1所示,机械手基端侧的左右一对的衬底保持构件组是可沿箭头的动作方向上移动,且可于衬底保持位置(前进位置)与衬底非保持位置(后退位置)之间切换。如右视参考图及俯视参考图所示,本外观设计产品可同时保持多个衬底(最多5片)。