一种纳米纸衬底薄膜晶体管及其制备方法

    公开(公告)号:CN107170831A

    公开(公告)日:2017-09-15

    申请号:CN201710447559.2

    申请日:2017-06-14

    Abstract: 本发明属于显示器件技术领域,公开了一种纳米纸衬底薄膜晶体管及其制备方法。所述纳米纸衬底薄膜晶体管由依次层叠的硬质衬底、纳米纸衬底、缓冲层、栅极、栅极绝缘层、有源层和源/漏电极构成。其制备方法为:在硬质衬底上旋涂纳米纤维素溶液,制备纳米纸衬底,然后依次通过射频磁控溅射室温制备缓冲层,通过直流磁控溅射室温制备栅极,通过射频磁控溅射室温制备栅极绝缘层,然后在栅极绝缘层上室温沉积制备有源层,再通过真空蒸发镀膜室温制备源/漏电极,得到所述纳米纸衬底薄膜晶体管。本发明采用纳米纸衬底并使用真空沉积技术室温下制备,制备方法简单、绿色环保。所得薄膜晶体管具有高迁移率、高稳定性的优点。

    一种地下停车库的太阳光平板灯系统

    公开(公告)号:CN104482498B

    公开(公告)日:2016-07-06

    申请号:CN201410628528.3

    申请日:2014-11-10

    Abstract: 本发明公开了地下停车库的太阳光平板灯系统,包括采光系统、导光系统和出光系统,所述出光系统包括背板、导光板和扩散板,导光板设置在背板与扩散板之间,所述导光板的侧部安装有光源,作为出光系统的侧入式光源,所述采光系统通过导光系统连接出光系统,太阳光经过采光系统聚集后通过导光系统传送到出光系统中;导光系统输入光的一端与采光系统的输出光的一端连接,导光系统输出光的一端连接背板底面并且接入到出光系统,输出的光穿过背板底面作为出光系统的直入式光源。本发明将太阳光光源和用电光源相结合,在白天时通过太阳光进行照明,在夜晚时通过用电光源进行照明,具有节能环保以及光照均匀度高的优点。

    一种具有全铝透明源漏电极的透明薄膜晶体管

    公开(公告)号:CN207834308U

    公开(公告)日:2018-09-07

    申请号:CN201820126685.8

    申请日:2018-01-25

    Abstract: 本实用新型属于薄膜晶体管技术领域,公开了一种具有全铝透明源漏电极的透明薄膜晶体管。所述薄膜晶体管由依次层叠的玻璃衬底、ITO栅极、Si3N4栅极绝缘层、IGZO半导体层、Al2O3半导体修饰层以及两侧的源漏电极构成,所述Si3N4栅极绝缘层完全覆盖ITO栅极,所述源漏电极由内至外依次具有AZO/Al/AZO/Al/AZO的五层堆叠结构,源漏电极最内层与Si3N4栅极绝缘层、IGZO半导体层和Al2O3半导体修饰层两侧均接触。本实用新型的源漏电极为AZO/Al/AZO/Al/AZO五层堆叠结构,能够降低薄膜的接触电阻率并实现高透光性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种纳米纸衬底薄膜晶体管

    公开(公告)号:CN207217549U

    公开(公告)日:2018-04-10

    申请号:CN201720690662.5

    申请日:2017-06-14

    Abstract: 本实用新型属于显示器件技术领域,公开了一种纳米纸衬底薄膜晶体管。所述纳米纸衬底薄膜晶体管由依次层叠的硬质衬底、纳米纸衬底、缓冲层、栅极、栅极绝缘层、有源层和源/漏电极构成。本实用新型采用纳米纸衬底,纳米纸具有容易降解、成本低、透明度好和可再生等特点,是非常环保的绿色衬底。纳米纸衬底薄膜晶体管能够在室温下制备,不需要热处理,具有高的迁移率,能够满足目前显示面板的要求。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种类岛状电子传输的薄膜晶体管

    公开(公告)号:CN206834182U

    公开(公告)日:2018-01-02

    申请号:CN201720576037.8

    申请日:2017-05-23

    Abstract: 本实用新型属于薄膜晶体管技术领域,公开了一种类岛状电子传输的薄膜晶体管。所述薄膜晶体管由衬底上依次设置的栅极、栅极绝缘层、有源层和源漏电极构成;所述有源层为非连续的类岛状TCO薄膜和低载流子浓度材料薄膜组成的叠层结构,其中低载流子浓度材料薄膜连接相邻两个类岛状TCO薄膜,形成一个导电通道。本实用新型采用非连续的类岛状TCO薄膜能够有效降低其导电性,而低载流子的薄膜连接两个相邻TCO薄膜,使电子能够在相邻晶粒间有效传输并且维持一个理想的关态电流。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种高性能薄膜晶体管
    40.
    实用新型

    公开(公告)号:CN207517697U

    公开(公告)日:2018-06-19

    申请号:CN201720913631.1

    申请日:2017-07-26

    Abstract: 本实用新型公开了一种高性能薄膜晶体管,其底部是衬底,衬底上设置一栅极,栅极的四周有一绝缘层包覆隔绝,绝缘层之上是有源层,有源层之上是富铟层;该薄膜晶体管的最外层是钝化层,钝化层与富铟层、有源层、绝缘层、衬底围成的区域分别是含铜的源电极和漏电极;在本实用新型的薄膜晶体管中,富铟层提高了载流子浓度和加速载流子的传输,从而提高迁移率;所述的源电极和漏电极含有铜,含铜电极具有低的电阻率,能够有效降低阻抗延迟。本实用新型的薄膜晶体管使用真空法制备,制备方法简单,有利于大规模生产。所制得的薄膜晶体管同时具有高迁移率、高稳定性和低电阻率源/漏电极的优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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