-
公开(公告)号：CN105068190A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510548810.5
申请日：2015-08-31
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: G02B6/35
CPC classification number: G02B6/3518 , G02B6/3584
Abstract: 本发明公开了一种MEMS光开关，包括驱动模块、折叠梁、支撑梁、微反射镜、输入光纤和输出光纤，其中微反射镜位于支撑梁中间位置，支撑梁的两端设置有驱动模块，驱动模块侧面设置有折叠梁；沿支撑梁方向顺向排布的驱动模块为静电梳齿驱动结构，由可动梳齿和固定梳齿组成，微反射镜为M形，其中间部位形成尖端，通过改变输入光纤与M形微反射镜中间部位尖端的相对位置，使得来自输入光纤的输入光通过微反射镜不同位置处的反射传输至不同的输出光纤。本发明在相同驱动电压的作用下，左右两驱动端产生同向的静电力，其合力为传统单端驱动结构产生的驱动力的两倍，提高了MEMS光开关静电驱动能力，有利于降低驱动电压。
-
公开(公告)号：CN114861390A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210288829.0
申请日：2022-03-22
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: G06F30/20 , G01C21/16 , G06F119/08
Abstract: 本发明提出了一种惯性微系统输出误差建模方法，该方法基于MEMS惯性仪表输出误差与输出稳定性之间的相关特性，建立输出误差关于输出稳定性的多项式模型，采用最小二乘法，识别模型的参数，采用模型显著性分析方法进行模型优化。当模型的显著性和模型参数的显著性均满足理论值要求时，得到惯性微系统的输出误差模型。本发明有别于以往的基于温度等因素的零偏建模方法，丰富了系统误差建模的方法与手段，具有较强的工程实用价值，可以用于MEMS陀螺仪、MEMS加速度计的输出误差建模与补偿，能够显著提升惯性微系统的精度。
-
公开(公告)号：CN110658149B
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN201911042266.1
申请日：2019-10-30
Applicant: 北京航天控制仪器研究所 , 华中科技大学
IPC: G01N21/3504 , G01N21/03
Abstract: 本发明公开了一种用于硅基红外气体传感器的硅基气室，属于红外气体传感器领域，具体包括上层硅片和下层硅片；上层硅片和下层硅片通过键合方式连接；上层硅片包括红外光源窗口和红外探测器窗口；下层硅片上设置气室腔体和气体扩散槽；红外光源窗口和红外探测器窗口为贯穿上层硅片的通孔；气室腔体为棱台型结构；气体扩散槽位于下层硅片与上层硅片交界面的四周；棱台型两端的斜面为反射面，气室腔体与上层硅片的下表面反射面构成红外光的反射腔室；气体扩散槽用于使外界气体进入气室腔体的内部。本发明公开的硅基气室便于与红外光源、探测器和其他电路模块在外部集成，提高集成设计自由度。
-
公开(公告)号：CN109065498B
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201810778947.3
申请日：2018-07-16
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: H01L21/768 , H01L23/48
Abstract: 一种三维系统封装集成应用的硅转接板制作方法，涉及先进封装技术领域；包括如下步骤：步骤(一)、将第一玻璃片和低阻硅晶圆阳极键合；步骤(二)、获得低阻硅柱；去除低阻硅晶圆下表面的介质层掩膜；步骤(三)、对第二玻璃片和低阻硅晶圆阳极键合；步骤(四)、将第一玻璃片和第二玻璃片减厚；步骤(五)、制备复合金属层并进行图形化刻蚀；步骤(六)、制备电学互连引线窗口和焊点接触窗口；步骤(七)、制备第一布线层和第二布线层；步骤(八)、制备电镀工艺获得微凸点；本发明具有高强度和低应力的特性，实现了多尺寸芯片三维封装及2.5D/3D微系统集成。
-
公开(公告)号：CN107228979B
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201710399996.1
申请日：2017-05-31
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 一种基于时钟移相的全数字频率测量系统，包括参考时钟模块、计数器模块、触发器模块、时分复用模块、寄存器模块、状态解码模块以及计算模块。参考时钟模块提供多路频率相同，但存在相位差的高频时钟信号，计数器模块对输入信号和一路高频时钟信号进行脉冲值计数。触发器模块、时分复用模块以及寄存器模块，用于锁定、存储在对输入信号进行计数的起始时刻、结束时刻时各路高频时钟的状态向量。状态解码模块对多路高频时钟的状态向量解码，再通过计算模块得到输入信号频率测量值。本发明避免了传统频率测量单纯追求提高时钟频率，来提高频率分辨率的技术方案，将提高时钟频率转换为存在相位差的多路时钟，实现时钟细分，提高频率测量分辨率。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108529550B
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201810401013.8
申请日：2018-04-28
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于晶圆键合工艺的圆片级封装MEMS芯片结构及其制造方法，MEMS芯片包括衬底层、器件层、盖帽层三层结构，三层结构键合在一起，形成一个可供器件层上的梳齿微结构移动的空腔结构；衬底层上布有电极图形，并采用共面电极实现空腔结构内的器件层结构与空腔外电极焊盘的互联；在器件层与衬底的键合面上，具有阵列凹坑结构。并且在器件层的键合密封环上有贯通于密封腔内外的凹槽结构，凹槽结构在晶圆键合后将被键合介质与硅的共晶体所填充。该结构有助于提高金‑硅键合强度，并能够有助于提高真空密封的真空度。在该结构的制造工艺中，使用气态HF对键合表面进行处理，去除表面的二氧化硅，保障金‑硅键合强度的同时避免微结构的粘连。
-
公开(公告)号：CN105068190B
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201510548810.5
申请日：2015-08-31
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: G02B6/35
Abstract: 本发明公开了一种MEMS光开关，包括驱动模块、折叠梁、支撑梁、微反射镜、输入光纤和输出光纤，其中微反射镜位于支撑梁中间位置，支撑梁的两端设置有驱动模块，驱动模块侧面设置有折叠梁；沿支撑梁方向顺向排布的驱动模块为静电梳齿驱动结构，由可动梳齿和固定梳齿组成，微反射镜为M形，其中间部位形成尖端，通过改变输入光纤与M形微反射镜中间部位尖端的相对位置，使得来自输入光纤的输入光通过微反射镜不同位置处的反射传输至不同的输出光纤。本发明在相同驱动电压的作用下，左右两驱动端产生同向的静电力，其合力为传统单端驱动结构产生的驱动力的两倍，提高了MEMS光开关静电驱动能力，有利于降低驱动电压。
-
公开(公告)号：CN107504950A
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201710633118.1
申请日：2017-07-28
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: G01C9/00
Abstract: 一种基于三明治式角度敏感器的高精度双轴倾斜测量装置，包括双轴倾角传感器电路、电连接器和封装壳体；双轴倾角传感器电路包括X轴MEMS角度敏感器、Y轴MEMS角度敏感器、调理电路、A/D转换电路、单片机电路、串口电路，MEMS角度敏感器敏感到安装载体倾斜角度的变化，后经调理电路、A/D转换电路、单片机电路、串口输出与倾斜角度成比例的数字量连续信号；电连接器焊接在双轴倾角传感器电路上并安装在金属封装壳体上形成电气接口；封装壳体将双轴倾角传感器电路和电连接器封装在一起，并通过安装法兰形成机械接口。本发明可广泛应用于无人机、舰载设备、卫星通讯、工程机械、铁塔智能监测、太阳能追踪系统等平台的倾斜角度测量。
-
公开(公告)号：CN105258688B
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201510726924.4
申请日：2015-10-30
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: G01C19/5614 , G01C19/5621
Abstract: 本发明具有温度应力补偿和振动解耦能力的硅微谐振加速度计，包括质量块，杠杆，杠杆支撑悬臂，谐振音叉，质量块支撑臂等主要组成部分。当加速计所处环境温度发生改变时，谐振梁的长度将随之改变。杠杆支撑悬臂的热变形大小与谐振梁热应变保持匹配，使谐振梁轴向的热应力的到充分的释放，谐振音叉的谐振频率不受热应力的影响。音叉振动时，轴向产生微弱的位移牵动质量块振动，并牵连另一侧音叉形成振动耦合。两个音叉的振动频率相同时，振动频率不随载荷的变化而变化，形成灵敏度死区。这个范围的大小与振动耦合程度直接相关。所以本发明将加速度计结构整体分为对称的两部分，中间两个质量块由质量块支撑梁分别支撑，将灵敏度死区缩小到最小水平。
-
公开(公告)号：CN104913798B
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：CN201510242855.X
申请日：2015-05-13
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 本发明提供了一种制备原子气室的原子分装器及制备原子气室的方法，其中本发明的原子分装器，包括分装器主体、气室分支和碱金属源，其中，该分装器的主体采用玻璃圆盘结构，气室分支在圆盘面上形成圆对称分布，而碱金属源位于圆盘另一面的中心位置，所有气室分支相对于碱金属源的距离相等，采用上述结构的原子分装器制备碱金属原子气室，有利于改善碱金属原子向气室中分装的一致性，提高原子气室的成品率，提升原子传感仪表的性能。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
56
records
(took 0.049 seconds)
