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公开(公告)号：CN115078767B
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202210554601.1
申请日：2022-05-19
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: G01P15/125 , B81B7/02
Abstract: 本发明公开了一种具有应力释放的MEMS加速度计传感器敏感结构，采用四周支撑结构支撑整个可动结构，并在四周支撑结构上下两侧中心和左右两侧中心放置应力释放梁和应力释放梁固定锚区。应力释放梁弯曲刚度远小于四周支撑结构的框架刚度，传感器所处温度变化时，由于材料热膨胀系数失配产生的热应力可通过应力释放梁释放，可显著降低中心敏感结构上所受的热应力，提高传感器输出特性的温度稳定性。
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公开(公告)号：CN110926444B
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN201911313234.0
申请日：2019-12-19
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: G01C19/5621 , G01C19/5614 , G01C19/5628
Abstract: 一种振动非敏感硅微机电陀螺，包括四质量音叉微结构、控制电路、封装壳体和减振器组件；四质量音叉微结构是基于SOG工艺加工的双自由度运动的微结构，四个质量块在受力情况下沿平面内X和Y方向运动；控制电路由C/V变换电路、驱动轴自激回路、检测轴力平衡回路、MCU控制电路等组成；封装壳体将微结构和控制电路板封装在一起，并通过壳体四个安装孔形成外部机械接口；减振器组件是电路板与封装壳体之间的连接机构。本发明是一种高精度振动非敏感硅微机电陀螺，测量精度高、抗振动冲击，可广泛应用于制导炸弹、便携防空导弹、智能炮弹、无人机、导航设备等系统，用于测量载体绕固定轴相对惯性空间的的旋转角速率。
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公开(公告)号：CN111780737A
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN202010581794.0
申请日：2020-06-23
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: G01C19/5621 , G01C19/5614 , G01C19/5726 , G01C19/5733 , G01C19/56
Abstract: 本发明公开了一种基于音叉驱动效应的高精度水平轴硅微陀螺仪，包括：包括盖帽层、陀螺仪敏感结构和衬底层；其中，盖帽层和衬底层相连接组成内部真空结构，陀螺仪敏感结构设置于内部真空结构；陀螺敏感结构包括第一驱动梳齿组、第二驱动梳齿组、第三驱动梳齿组、第四驱动梳齿组、第一驱动检测梳齿、第二驱动检测梳齿、第三驱动检测梳齿、第四驱动检测梳齿、第一驱动弹性梁组、第二驱动弹性梁组、第一检测弹性梁组、第二检测弹性梁组、锚区组、第一质量块、第二质量块、耦合弹性梁、第一驱动框架和第二驱动框架。本发明实现了俯仰和滚动角速率的测量，并减小了惯性测量单元的体积。
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公开(公告)号：CN110926444A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201911313234.0
申请日：2019-12-19
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: G01C19/5621 , G01C19/5614 , G01C19/5628
Abstract: 一种振动非敏感硅微机电陀螺，包括四质量音叉微结构、控制电路、封装壳体和减振器组件；四质量音叉微结构是基于SOG工艺加工的双自由度运动的微结构，四个质量块在受力情况下沿平面内X和Y方向运动；控制电路由C/V变换电路、驱动轴自激回路、检测轴力平衡回路、MCU控制电路等组成；封装壳体将微结构和控制电路板封装在一起，并通过壳体四个安装孔形成外部机械接口；减振器组件是电路板与封装壳体之间的连接机构。本发明是一种高精度振动非敏感硅微机电陀螺，测量精度高、抗振动冲击，可广泛应用于制导炸弹、便携防空导弹、智能炮弹、无人机、导航设备等系统，用于测量载体绕固定轴相对惯性空间的的旋转角速率。
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公开(公告)号：CN115571845A
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202211035006.3
申请日：2022-08-26
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: B81B7/02
Abstract: 本发明涉及一种MEMS器件电极布局结构，属于微机电系统制造技术领域。包括MEMS敏感结构、MEMS敏感结构固定锚区、MEMS电极引线、MEMS电极铺地区、MEMS绝缘层接触孔、MEMS电极引出焊盘和MEMS电极铺地引出焊盘，MEMS敏感结构通过MEMS敏感结构固定锚区与衬底片固定，并与分布于衬底片上的MEMS电极引线连接；衬底片上制备有多层金属层，在各层金属层间有绝缘层；在各金属层中制备MEMS电极引线，各层MEMS电极引线通过MEMS绝缘层接触孔穿通绝缘层实现电学连接；在各层金属层中MEMS电极引线以外的区域铺设MEMS电极铺地区。本发明有效降低电磁干扰与信号串扰，降低信号噪声水平。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112551474B
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN202011449368.8
申请日：2020-12-09
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 本发明涉及一种具有面内止挡的MEMS可动结构，包括固定锚区、可动结构弹性梁、质量块框架、质量块、止挡弹性梁、止挡块、质量块梳齿、驱动梳齿以及驱动梳齿锚点。采用弹性梁支撑止挡块，当质量块位移过大与弹性梁碰撞时，弹性梁形变提供缓冲，避免结构损伤。止挡块与质量块连接在相同的固定锚区上，具有相同的电位，不会发生电学短路。在弹性梁不同位置设计不同尺寸的止挡块，质量块位移过大时首先与伸长量最大的止挡块接触，位移继续增大时，质量块才与其他止挡块接触，使大冲击下止挡块弹性梁刚度提高，降低冲击位移，满足不同大小冲击止挡需求，避免结构损伤。降低止挡结构与质量块间接触面积，避免结构在清洗过程中由于液体表面张力造成吸附粘连。
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公开(公告)号：CN109387225B
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN201811196958.7
申请日：2018-10-15
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 本发明提供了一种MEMS惯性器件及其无应力电装方法，其中电装方法将封装有MEMS表头敏感结构的陶瓷管壳通过硅橡胶粘在印制电路板上，实现陶瓷管壳的固定，通过金丝引线键合将陶瓷管壳和印制电路板上对应的引脚进行电气连接，并在金丝周围用灌封胶进行固定和保护。本发明取代原有的焊接方法，实现了MEMS表头与印制电路板的应力隔离，有效的降低了由于印制电路板的形变对MEMS表头的应力影响，同时具有可靠性高、成本低等优点。
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公开(公告)号：CN107504950B
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201710633118.1
申请日：2017-07-28
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: G01C9/00
Abstract: 一种基于三明治式角度敏感器的高精度双轴倾斜测量装置，包括双轴倾角传感器电路、电连接器和封装壳体；双轴倾角传感器电路包括X轴MEMS角度敏感器、Y轴MEMS角度敏感器、调理电路、A/D转换电路、单片机电路、串口电路，MEMS角度敏感器敏感到安装载体倾斜角度的变化，后经调理电路、A/D转换电路、单片机电路、串口输出与倾斜角度成比例的数字量连续信号；电连接器焊接在双轴倾角传感器电路上并安装在金属封装壳体上形成电气接口；封装壳体将双轴倾角传感器电路和电连接器封装在一起，并通过安装法兰形成机械接口。本发明可广泛应用于无人机、舰载设备、卫星通讯、工程机械、铁塔智能监测、太阳能追踪系统等平台的倾斜角度测量。
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公开(公告)号：CN109387225A
公开(公告)日：2019-02-26
申请号：CN201811196958.7
申请日：2018-10-15
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 本发明提供了一种MEMS惯性器件及其无应力电装方法，其中电装方法将封装有MEMS表头敏感结构的陶瓷管壳通过硅橡胶粘在印制电路板上，实现陶瓷管壳的固定，通过金丝引线键合将陶瓷管壳和印制电路板上对应的引脚进行电气连接，并在金丝周围用灌封胶进行固定和保护。本发明取代原有的焊接方法，实现了MEMS表头与印制电路板的应力隔离，有效的降低了由于印制电路板的形变对MEMS表头的应力影响，同时具有可靠性高、成本低等优点。
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公开(公告)号：CN107478198A
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201710633123.2
申请日：2017-07-28
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
CPC classification number: G01C9/00 , B81B7/02 , B81B2201/0228 , B81C3/001 , G01C25/00
Abstract: 一种高精度MEMS角度传感器敏感结构及加工方法，该敏感结构包括上玻璃极板、中间硅极板、下玻璃极板，及金丝引线；上玻璃极板和下玻璃极板上淀积有金属电极区域和介质膜区域形成电容的上极板和下极板；中间硅极板由两根悬臂梁连接一个方形质量块形成电容的中间极板；上玻璃极板、中间硅极板、下玻璃极板采用双电场静电键合方式形成“三明治”式敏感结构，再用金丝球焊机压焊金丝引出电容信号。本发明采用对称电容结构形式，采用湿法体硅加工方法，可以获得较大的质量块，提高角度分辨率和测量精度，可广泛应用于无人机、舰载设备、卫星通讯、工程机械、铁塔智能监测、太阳能追踪系统等平台的倾斜角度测量。
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