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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114861390B
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202210288829.0
申请日：2022-03-22
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: G06F30/20 , G01C21/16 , G06F119/08
Abstract: 本发明提出了一种惯性微系统输出误差建模方法，该方法基于MEMS惯性仪表输出误差与输出稳定性之间的相关特性，建立输出误差关于输出稳定性的多项式模型，采用最小二乘法，识别模型的参数，采用模型显著性分析方法进行模型优化。当模型的显著性和模型参数的显著性均满足理论值要求时，得到惯性微系统的输出误差模型。本发明有别于以往的基于温度等因素的零偏建模方法，丰富了系统误差建模的方法与手段，具有较强的工程实用价值，可以用于MEMS陀螺仪、MEMS加速度计的输出误差建模与补偿，能够显著提升惯性微系统的精度。
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公开(公告)号：CN116588892A
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202310307234.X
申请日：2023-03-27
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 本发明公开了一种MEMS气体传感器晶圆级封装微加热板，包括上层硅片和下层硅片；上层硅片和下层硅片相互键合，上层硅片和下层硅片之间形成气敏反应腔；上层硅片设有气体通路，气体通路连通外部环境和气敏反应腔；下层硅片的正面设有微加热板，微加热板位于气敏反应腔中，下层硅片的背面设有背面植球。本发明还公开上述微加热板的其制造方法，本发明方法简单，能够有效减小气体传感器晶圆级封装微加热板尺寸。
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公开(公告)号：CN114861390A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210288829.0
申请日：2022-03-22
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: G06F30/20 , G01C21/16 , G06F119/08
Abstract: 本发明提出了一种惯性微系统输出误差建模方法，该方法基于MEMS惯性仪表输出误差与输出稳定性之间的相关特性，建立输出误差关于输出稳定性的多项式模型，采用最小二乘法，识别模型的参数，采用模型显著性分析方法进行模型优化。当模型的显著性和模型参数的显著性均满足理论值要求时，得到惯性微系统的输出误差模型。本发明有别于以往的基于温度等因素的零偏建模方法，丰富了系统误差建模的方法与手段，具有较强的工程实用价值，可以用于MEMS陀螺仪、MEMS加速度计的输出误差建模与补偿，能够显著提升惯性微系统的精度。
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公开(公告)号：CN113916255B
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202111015153.X
申请日：2021-08-31
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 用于辐照试验的MEMS惯性器件精确定位结构制作方法，先制作衬底，然后制作敏感结构，最后制作盖板，盖板上采用氢氧化钾湿法腐蚀硅片的方式形成辐照窗口，得到辐照屏蔽结构，该辐照屏蔽结构的位置需要正对着要进行辐照试验的敏感结构。本发明能够实现MEMS惯性器件微机械结构的精确定位，并通过硅片自身厚度差异实现不同剂量辐照实验。
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公开(公告)号：CN113916255A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111015153.X
申请日：2021-08-31
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 用于辐照试验的MEMS惯性器件精确定位结构制作方法，先制作衬底，然后制作敏感结构，最后制作盖板，盖板上采用氢氧化钾湿法腐蚀硅片的方式形成辐照窗口，得到辐照屏蔽结构，该辐照屏蔽结构的位置需要正对着要进行辐照试验的敏感结构。本发明能够实现MEMS惯性器件微机械结构的精确定位，并通过硅片自身厚度差异实现不同剂量辐照实验。
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