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公开(公告)号：CN107299318B
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201710399984.9
申请日：2017-05-31
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 本发明涉及一种耐BOE腐蚀的金属掩膜制备方法，特别是在石英晶体上镀制耐BOE腐蚀的金属掩膜层的制备方法。本发明具体包括清洗步骤和镀膜步骤。本发明的显著效果是：①实现了用单层Cr/Au掩膜层进行耐BOE腐蚀工艺；②解决了现有Cr/Au掩膜层腐蚀后出现表面钻蚀，鼓包，甚至脱落等问题；③单层Cr/Au掩膜层转移光刻图形精度高，可以控制在1um以内；④制备工艺过程简单，易于控制，制备成本低廉，适合批量生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107299318A
公开(公告)日：2017-10-27
申请号：CN201710399984.9
申请日：2017-05-31
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
CPC classification number: C23C14/185 , C03C17/40 , C03C2217/255 , C03C2217/26 , C03C2218/156 , C03C2218/31 , C23C14/021 , C23C14/352
Abstract: 本发明涉及一种耐BOE腐蚀的金属掩膜制备方法，特别是在石英晶体上镀制耐BOE腐蚀的金属掩膜层的制备方法。本发明具体包括清洗步骤和镀膜步骤。本发明的显著效果是：①实现了用单层Cr/Au掩膜层进行耐BOE腐蚀工艺；②解决了现有Cr/Au掩膜层腐蚀后出现表面钻蚀，鼓包，甚至脱落等问题；③单层Cr/Au掩膜层转移光刻图形精度高，可以控制在1um以内；④制备工艺过程简单，易于控制，制备成本低廉，适合批量生产。
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公开(公告)号：CN111046578B
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN201911349527.4
申请日：2019-12-24
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: G06F30/20 , G01P15/097
Abstract: 本发明涉及一种石英振梁加速度计建立输出模型的方法，该方法建立几种石英振梁加速度计参数可调的输出模型，进行实验得到石英振梁加速度计测试数据，将实验数据带入给出的模型中，计算参数及性能指标，并进行评估分析，本发明方法在仪表稳定性方面表现优异，减小了二次项系数，提高了仪表模型的线性度；此外本发明石英振梁加速度计建立输出模型的方法，双梁不直接做差分，而是乘以权重α后再做差分，从而改善了二次项系数，最后找到能够控制偏值、标度因数的大小，并且精度不变或者改善的模型，本发明能够适用于各种类型的石英振梁加速度计，包括分体式和一体式结构。
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公开(公告)号：CN111046578A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911349527.4
申请日：2019-12-24
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: G06F30/20 , G01P15/097
Abstract: 本发明涉及一种石英振梁加速度计建立输出模型的方法，该方法建立几种石英振梁加速度计参数可调的输出模型，进行实验得到石英振梁加速度计测试数据，将实验数据带入给出的模型中，计算参数及性能指标，并进行评估分析，本发明方法在仪表稳定性方面表现优异，减小了二次项系数，提高了仪表模型的线性度；此外本发明石英振梁加速度计建立输出模型的方法，双梁不直接做差分，而是乘以权重α后再做差分，从而改善了二次项系数，最后找到能够控制偏值、标度因数的大小，并且精度不变或者改善的模型，本发明能够适用于各种类型的石英振梁加速度计，包括分体式和一体式结构。
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公开(公告)号：CN107228979A
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201710399996.1
申请日：2017-05-31
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 一种基于时钟移相的全数字频率测量系统，包括参考时钟模块、计数器模块、触发器模块、时分复用模块、寄存器模块、状态解码模块以及计算模块。参考时钟模块提供多路频率相同，但存在相位差的高频时钟信号，计数器模块对输入信号和一路高频时钟信号进行脉冲值计数。触发器模块、时分复用模块以及寄存器模块，用于锁定、存储在对输入信号进行计数的起始时刻、结束时刻时各路高频时钟的状态向量。状态解码模块对多路高频时钟的状态向量解码，再通过计算模块得到输入信号频率测量值。本发明避免了传统频率测量单纯追求提高时钟频率，来提高频率分辨率的技术方案，将提高时钟频率转换为存在相位差的多路时钟，实现时钟细分，提高频率测量分辨率。
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公开(公告)号：CN107228979B
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201710399996.1
申请日：2017-05-31
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 一种基于时钟移相的全数字频率测量系统，包括参考时钟模块、计数器模块、触发器模块、时分复用模块、寄存器模块、状态解码模块以及计算模块。参考时钟模块提供多路频率相同，但存在相位差的高频时钟信号，计数器模块对输入信号和一路高频时钟信号进行脉冲值计数。触发器模块、时分复用模块以及寄存器模块，用于锁定、存储在对输入信号进行计数的起始时刻、结束时刻时各路高频时钟的状态向量。状态解码模块对多路高频时钟的状态向量解码，再通过计算模块得到输入信号频率测量值。本发明避免了传统频率测量单纯追求提高时钟频率，来提高频率分辨率的技术方案，将提高时钟频率转换为存在相位差的多路时钟，实现时钟细分，提高频率测量分辨率。
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