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公开(公告)号：CN108918026A
公开(公告)日：2018-11-30
申请号：CN201811054584.5
申请日：2018-09-11
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01L27/00
Abstract: 本发明公开了一种热阴极电离真空计电参数校准装置及方法，该装置包括了电离规热阴极灯丝模拟电阻、模拟发射电流源、模拟离子电流源和保护二极管，其特征在于，电离规热阴极灯丝模拟电阻和保护二极管模拟电离规电阻特性，模拟发射电流源和模拟离子电流源模拟电离规电离特性。本发明设计的一种热阴极电离真空计电参数校准装置方法，对传统热阴极电离真空计电参数校准装置进行改进，利用电路模拟热阴极电离规管的电特性，从而实现热阴极电离真空计电参数校准过程中不用外接真空规管。
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公开(公告)号：CN117419996B
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202311355171.1
申请日：2023-10-18
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及采用真空条件下流量计配制标准混合气体的装置及方法，所述装置包括：微量气体取样管路，包括第一气瓶、第一阀门、第二阀门、第一真空室、第三阀门、第一高真空泵机组、第一真空计和第二真空计；其他气体取样管路，包括第二气瓶、第十一阀门、第九阀门、第三真空室、第十阀门、第二高真空泵机组、第五真空计和第六真空计；混合气体管路，包括第四阀门、标准流导元件、第五阀门、第六阀门、第二真空室、第七阀门、第八阀门、第十二阀门、第三真空计和第四真空计；第一真空室与第四阀门连接，第三真空室相与第七阀门、第八阀门和第十二阀门连接。本发明设备简单、成本低、操作方便，可将配制标准混合气体的配制比下限延伸至2×10‑10。
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公开(公告)号：CN115718133B
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202211516431.4
申请日：2022-11-29
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N27/62
Abstract: 本发明涉及一种测量密封真空管中气体成分的装置及方法，所述装置包括：取样腔，所述取样腔内设有样品夹具；第一分子泵，入气口与所述取样腔连接；第一机械泵，与所述第一分子泵的抽气口连接；第一全量程真空计，与所述取样腔连接；质谱分析腔，与所述取样腔通过流导组件和压电陶瓷阀连接；第二分子泵，入气口与所述质谱分析腔连接；第二机械泵，与所述第二分子泵的抽气口连接；第二全量程真空计，与所述质谱分析腔连接；机械刺穿机构，设置于所述取样腔上；以及四极质谱仪，设置于所述质谱分析腔上。本发明可用于密封真空管中气体成分的检测，具备极高的通用性、便捷性和可控性。
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公开(公告)号：CN118129979A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410457443.7
申请日：2024-04-16
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01L27/00
Abstract: 本发明涉及一种基于差分法的真空计校准装置及校准方法，校准装置包括校准室、第一流导元件、第一真空计、被校准真空计、差分管道、差分组件和供气检测组件，差分管道的三个端口分别用于与校准室、抽气管道和供气管道连接，差分组件设置在抽气管道上，包括第二真空计和第二流导元件，供气检测组件设置在供气管道上，包括供气检测真空计和第三流导元件。本发明，通过设置在校准室抽进气口上的差分组件，实现对进气流量的有效差分，将校准下限延伸到10‑7Pa，简化了校准装置的结构和操作方法，减小了装置的体积和重量。
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公开(公告)号：CN117967997A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410052082.8
申请日：2024-01-12
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及检漏工装密封机构，包括：外壳；支撑架，固定设置于所述外壳内；驱动机构，设置于所述支撑架上；密封腔压板，活动设置于所述外壳内且与所述驱动机构连接；检漏工装，设置于所述外壳内且与所述密封腔压板连接，所述检漏工装的一侧具有凹槽，在所述凹槽中设置有柔性密封条；所述驱动机构被配置为受控驱动所述密封腔压板运动，带动所述检漏工装运动，所述外壳上具有供所述检漏工装伸出的通孔，使得所述检漏工装伸出后贴合在被检测件上，且所述柔性密封条紧密接触被检测件。通过驱动机构调节检漏工装，即可实现检漏工装与被测位置之间的连接和分离，并通过柔性密封条进行密封，无需对被测位置进行处理，也无需采用真空封泥，提高检测效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117419996A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202311355171.1
申请日：2023-10-18
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及采用真空条件下流量计配制标准混合气体的装置及方法，所述装置包括：微量气体取样管路，包括第一气瓶、第一阀门、第二阀门、第一真空室、第三阀门、第一高真空泵机组、第一真空计和第二真空计；其他气体取样管路，包括第二气瓶、第十一阀门、第九阀门、第三真空室、第十阀门、第二高真空泵机组、第五真空计和第六真空计；混合气体管路，包括第四阀门、标准流导元件、第五阀门、第六阀门、第二真空室、第七阀门、第八阀门、第十二阀门、第三真空计和第四真空计；第一真空室与第四阀门连接，第三真空室相与第七阀门、第八阀门和第十二阀门连接。本发明设备简单、成本低、操作方便，可将配制标准混合气体的配制比下限延伸至2×10‑10。
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公开(公告)号：CN117212121A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311127210.2
申请日：2023-09-04
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及高真空泵抽速测试装置及其使用方法，包括进气管路、与进气管路相连接的测试管路以及与测试管路相连接的校准管路；进气管路包括依次连接的流量系统和第五阀门；测试管路包括依次连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵和第一前级泵，第一测试罩上还连接有第二真空计；校准管路包括依次连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、抽气机组，第二测试罩上还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为结构和尺寸均不相同的真空容器。本发明可提高测试精度，减小测量不确定度，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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公开(公告)号：CN111473833A
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN202010300278.6
申请日：2020-04-16
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01F17/00
Abstract: 本发明公开了一种容积替代法真空腔体容积测试系统及其测试方法，属于真空腔体容积测试领域；利用内置标准体积、两次气体静态膨胀对非标真空腔体容积进行精确测量的方法：将气体膨胀室中气体膨胀到被测真空室，以测定两个真空腔室的体积比，在气体膨胀室置入标准体积的条件下，将气体膨胀室中气体膨胀到被测真空室，以测定被测真空腔室的准确体积；提出操作便捷的真空测量系统，其中气体膨胀室、阀门、标准体积经特殊高真空处理，具有较小的材料放气率，使气体静态膨胀过程中装置本底放气极小，保证测量的精确性。本发明的系统和方法能够快速、便捷地对各型真空腔体的容积进行精确测量。
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公开(公告)号：CN109519407A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811490232.4
申请日：2018-12-06
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: F04D27/00
Abstract: 本发明提供一种宽量程高精度分子泵压缩比测试装置及方法，该装置包括：前级泵、分子泵、测试罩、第一～第五真空规、第一～第四阀门、流量计和气源，其中前级泵与第四阀门连接，第四阀门分别于前级泵、第三阀门、第四和第五真空规及分子泵连接；第四和第五真空规连接在分子泵和第四阀门之间的管路处；分子泵的出气口与第四阀门连接，抽气口与测试罩连接，测试罩的测试口与分子泵抽气口连接。利用本发明的测试装置，解决了传统测量范围较小的问题，延伸了压力测量范围并且提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN109443983A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811431933.0
申请日：2018-11-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N7/00
Abstract: 本发明一种基于对称结构的材料放气率测试系统及方法，包括第一至第四真空室、第一和第二小孔元件、第一至第三真空计、机械泵、分子泵、第一至第八真空阀门、第一和第二进样阀门、恒温箱；机械泵通过第一真空阀门与分子泵的抽气出口连接，其抽气入口分别与第一真空计、第二第三第四真空阀门的一端连接；所述第三、第四真空阀门的另一端分别与第二、第四真空室连接；第二第四真空室分别通过第一、第二小孔元件与一三真空室相连通；第二真空计分别通过第五、第六真空阀门连接至第二、第四真空室，第三真空计分别通过第七、第八真空阀门连接至第一、第三真空室；第一、第三真空室上分别设置第一、第二进样阀门。本发明可大幅提高测量精度和测试效率。
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