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公开(公告)号：CN119936953A
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202510095165.X
申请日：2025-01-21
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01T1/29
Abstract: 本发明涉及一种用于原位测量离子能量和通量的装置，该装置包括一维传动机构和固定于一维传动机构的底端的测量探头，测量探头设置于用于传输离子束的传输通道内；测量探头包括探头壳体、可拆卸地套装在探头壳体上的盖板和用于收集离子的收集极，收集极与盖板设置于探头壳体相对的两端，探头壳体的内壁设置有绝缘套筒；盖板开设有中心通孔，用于控制进入测量探头的离子流通量；沿中心通孔至收集极的方向，探头壳体内依次排列设置有第一栅网、第二栅网、第三栅网、第四栅网。本发明，通过在测量探头上施加不同的电压，实现了用一个探头测量离子能量和通量的效果，大大降低了实验成本，提高了实验效率，节省了所需的测量空间。
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公开(公告)号：CN117212121B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311127210.2
申请日：2023-09-04
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及高真空泵抽速测试装置及其使用方法，包括进气管路、与进气管路相连接的测试管路以及与测试管路相连接的校准管路；进气管路包括依次连接的流量系统和第五阀门；测试管路包括依次连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵和第一前级泵，第一测试罩上还连接有第二真空计；校准管路包括依次连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、抽气机组，第二测试罩上还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为结构和尺寸均不相同的真空容器。本发明可提高测试精度，减小测量不确定度，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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公开(公告)号：CN116697177A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310818990.9
申请日：2023-07-05
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及用于高真空泵抽速测试进气散流机构，包括连接法兰、连接于所述连接法兰一侧的进气管、以及依次连接于所述连接法兰另一侧的平面散流板、第一连接杆、第一锥形散流版、第二连接杆和第二锥形散流版。本发明基于双级锥形散流结构的散流板可以保证气体分子在进入后至少发生两次碰撞，实现良好的平衡态，还具有放气量小的优点，同避免了传统弯管进气引起的束流效应，减小了本底真空的测量不确定度，可以提高测试效率和测试结果的可靠性。
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公开(公告)号：CN117490783B
公开(公告)日：2025-01-17
申请号：CN202311352968.6
申请日：2023-10-18
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种下限为5×10‑18Pa·m3/s的流量计及其使用方法，所述标准气体流量计包括：分子流导取气模块，包括第一气瓶、第一阀门、第二阀门、第一真空室、第三阀门和第一高真空泵机组、第四阀门、第一标准流导元件、第五阀门、第一真空计和第二真空计；压力取气模块，包括第二气瓶、第八阀门、第七阀门、第六阀门、第三真空室、第九阀门和第二高真空泵机组、第五真空计和第六真空计；分子流导供气模块，包括第二真空室、第十阀门、第二标准流导元件、第十一阀门、第四真空室、第十二阀门、第三高真空泵机组、第十三阀门、第三真空计、第四真空计和第七真空计。本发明设备简单、成本低、操作方便，可将标准气体流量下限延伸至10‑18数量级。
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公开(公告)号：CN117490783A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311352968.6
申请日：2023-10-18
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种下限为5×10‑18Pa·m3/s的流量计及其使用方法，所述标准气体流量计包括：分子流导取气模块，包括第一气瓶、第一阀门、第二阀门、第一真空室、第三阀门和第一高真空泵机组、第四阀门、第一标准流导元件、第五阀门、第一真空计和第二真空计；压力取气模块，包括第二气瓶、第八阀门、第七阀门、第六阀门、第三真空室、第九阀门和第二高真空泵机组、第五真空计和第六真空计；分子流导供气模块，包括第二真空室、第十阀门、第二标准流导元件、第十一阀门、第四真空室、第十二阀门、第三高真空泵机组、第十三阀门、第三真空计、第四真空计和第七真空计。本发明设备简单、成本低、操作方便，可将标准气体流量下限延伸至10‑18数量级。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119893815A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202510095167.9
申请日：2025-01-21
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种高速定向分子流发生装置及其应用，该装置包括供气系统、离子源、栅极组件、中性化孔板及带电粒子吞食器；所述供气系统通过管道与所述离子源的进气端连通，为所述离子源提供中性气体；所述离子源用于将所述中性气体电离为等离子体，所述离子源的出气端依次串接所述栅极组件、所述中性化孔板、所述带电粒子吞食器；所述栅极组件用于引出离子、加速离子、聚焦离子；所述中性化孔板接地，用于使经过的离子束流发生俄歇过程，将离子转化为中性分子；所述带电粒子吞食器用于吸收未被转换的离子和漂移电子。本发明，复杂度较低，产生的高速定向分子流具有良好的准直度，为空间真空测量仪器的开发与地面校准提供了重要实验基础。
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公开(公告)号：CN116398421B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202310603958.9
申请日：2023-05-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种高真空泵抽速测试装置及其使用方法，高真空泵抽速测试装置包括进气管路、测试管路和对比管路，测试管路包括顺序连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵、第一前级泵，第一测试罩还连接有第二真空计；对比管路包括顺序连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、流导抽气机组，第二测试罩还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为相同的真空容器。本发明，克服了传统测量抽速等效氮气的不足，提高测试精度，减小测量不确定度，提高测试效率，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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公开(公告)号：CN116398421A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202310603958.9
申请日：2023-05-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种高真空泵抽速测试装置及其使用方法，高真空泵抽速测试装置包括进气管路、测试管路和对比管路，测试管路包括顺序连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵、第一前级泵，第一测试罩还连接有第二真空计；对比管路包括顺序连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、流导抽气机组，第二测试罩还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为相同的真空容器。本发明，克服了传统测量抽速等效氮气的不足，提高测试精度，减小测量不确定度，提高测试效率，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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公开(公告)号：CN117419996B
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202311355171.1
申请日：2023-10-18
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及采用真空条件下流量计配制标准混合气体的装置及方法，所述装置包括：微量气体取样管路，包括第一气瓶、第一阀门、第二阀门、第一真空室、第三阀门、第一高真空泵机组、第一真空计和第二真空计；其他气体取样管路，包括第二气瓶、第十一阀门、第九阀门、第三真空室、第十阀门、第二高真空泵机组、第五真空计和第六真空计；混合气体管路，包括第四阀门、标准流导元件、第五阀门、第六阀门、第二真空室、第七阀门、第八阀门、第十二阀门、第三真空计和第四真空计；第一真空室与第四阀门连接，第三真空室相与第七阀门、第八阀门和第十二阀门连接。本发明设备简单、成本低、操作方便，可将配制标准混合气体的配制比下限延伸至2×10‑10。
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公开(公告)号：CN118129979A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410457443.7
申请日：2024-04-16
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01L27/00
Abstract: 本发明涉及一种基于差分法的真空计校准装置及校准方法，校准装置包括校准室、第一流导元件、第一真空计、被校准真空计、差分管道、差分组件和供气检测组件，差分管道的三个端口分别用于与校准室、抽气管道和供气管道连接，差分组件设置在抽气管道上，包括第二真空计和第二流导元件，供气检测组件设置在供气管道上，包括供气检测真空计和第三流导元件。本发明，通过设置在校准室抽进气口上的差分组件，实现对进气流量的有效差分，将校准下限延伸到10‑7Pa，简化了校准装置的结构和操作方法，减小了装置的体积和重量。
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