一种基于轨道支撑的真空装置门结构组件及其使用方法

    公开(公告)号:CN119641209A

    公开(公告)日:2025-03-18

    申请号:CN202411697253.9

    申请日:2024-11-26

    Abstract: 本申请提供了一种基于轨道支撑的真空装置门结构组件,门结构组件包括:封头大门,封头大门包括封头和封头边缘固定连接的法兰;门支撑架,门支撑架与封头大门通过连接组件和第一调整组件连接,连接组件实现门支撑架对封头大门的支撑,连接组件和第一调整组件共同实现封头大门与门支撑架间的第一相对倾斜调整;门调整单元,门调整单元实现门支撑架和轨道车间的第二相对倾斜调整;轨道车,轨道车与门调整单元连接,且轨道车远离门调整单元一侧设置有滑动组件,能够实现门结构组件沿垂直于封头大门水平轴线方向滑动。当地基发生沉降,上述组件可以通过第一调整组件和第二调整组件进行调整,使得真空腔体和封头大门位置恢复。

    一种真空玻璃窗口组件及其设计方法

    公开(公告)号:CN119781129A

    公开(公告)日:2025-04-08

    申请号:CN202411778851.9

    申请日:2024-12-05

    Abstract: 本申请提供了一种真空玻璃窗口组件,用于具有非圆形开孔的真空容器,包括:转接法兰,用于安装在真空容器的非圆形开孔上,转接法兰的形状被设计成与真空容器的非圆形开孔的形状相匹配,以覆盖该非圆形开孔;圆形的高颈法兰,安装在转接法兰上,高颈法兰开有窗口,并具有围绕窗口的玻璃安装座,玻璃安装座上具有安装面;环形的玻璃压盖,安装于高颈法兰的玻璃安装座上;真空玻璃,安装于高颈法兰的玻璃安装座的安装面与玻璃压盖之间;防护板,安装在玻璃压盖上,以覆盖真空玻璃。本申请通提供的真空玻璃窗口组件能够解决真空容器非圆形窗口安装真空玻璃的安全性问题,满足高真空下真空腔室的密封。

    真空计校准装置及校准方法

    公开(公告)号:CN113310626A

    公开(公告)日:2021-08-27

    申请号:CN202110578312.0

    申请日:2021-05-26

    Abstract: 本发明涉及一种真空计校准装置及校准方法,包括依次相连通的供气源、流量流量计、第一真空阀门、校准室、限流孔、第三阀真空阀、分子泵抽气机组、第四真空阀和前级泵,所述校准室具有赤道平面,所述赤道平面上开设有法兰接口分别连接有第一真空计、第二真空计和第二真空阀门,所述第二真空阀门的另一端分别与第三真空计、第五真空阀门、第六真空阀门、第七真空阀门相连接,所述第五真空阀门的另一端连接有真空室,第六真空阀门另一端连接有第四真空计,所述第七真空阀门的另一端与所述前级泵相连接,所述赤道平面上还设有校准接口用于连接待校准真空计。本发明的真空计校准装置校准操作方便,校准精度高。

    一种真空密封阀门漏率测试系统及方法

    公开(公告)号:CN109269742A

    公开(公告)日:2019-01-25

    申请号:CN201811438437.8

    申请日:2018-11-28

    Abstract: 本发明一种真空密封阀门漏率测试系统及方法,包括第一和第二真空泵组、检漏仪、真空腔室、真空阀门测试罩、压力计、标准漏孔、真空规、气源及第一至第七真空阀门,其中第一真空泵组通过第一真空阀门、检漏仪通过第二真空阀门分别连接真空腔室;真空腔室分别与真空规、第三第五真空阀门的一端连接;所述第五真空阀门的另一端连接标准漏孔;将被测真空阀门安装在真空阀门测试罩内,且被测真空阀门的一端与第三真空阀门另一端连接,及其另一端分别与第四真空阀门、压力计连接;气源通过第六真空阀门、第二真空泵组通第七真空阀门分别与真空阀门测试罩连接。本发明实现了真空阀门局部漏率和全漏率的定量测试,大大提高真空密封阀门漏率测量不确定度。

    一种基于接口为CF400的分子泵抽速测试系统及方法

    公开(公告)号:CN109026804B

    公开(公告)日:2020-07-31

    申请号:CN201810772557.5

    申请日:2018-07-13

    Abstract: 本发明涉及一种基于接口为CF400的分子泵抽速测试系统及方法,该系统仅采用流量法一种方法测量抽速,研制了满足CF400分子泵测试需求的超高真空测试罩,采用复合型标准气体流量计在一套系统上实现了真空罩内处于10‑1Pa~10‑7Pa的压力范围下,能够对分子泵抽速范围实现3000L/s~5000L/s内的测量。真空系统的机械泵通过第一阀门与分子泵的抽气出口连接,分子泵的入口与第一真空室连接,第一真空室上面接了副标准电离真空计、监测真空计和第三阀门,第三阀门的另一端与第二真空室连接,第二真空室上面连接了第三阀门、复合型标准气体流量计的出气口,复合型标准气体流量计的进气口与第二阀门连接,第二阀门的另一端与气瓶连接。

    一种星载设备的测试系统及方法

    公开(公告)号:CN105510736B

    公开(公告)日:2019-03-12

    申请号:CN201510845838.5

    申请日:2015-11-26

    Abstract: 一种星载设备的测试系统及方法,包括:星载设备(1)、开关矩阵(2)、及测量端(3),其特征在于:开关矩阵(2)为由N路输入和M路输出组成全接点开关矩阵,具有N个输入端和M个输出端,星载设备(1)上设有与开关矩阵的每一路输入端连接的多个端口,在开关矩阵(2)的每一个回路上有两个继电器开关G、F,继电器G控制输入通路的接通和断开,继电器F控制输出通路的接通和断开,开关矩阵的M个输出分别连接一路共地信号端及M‑1路输出端接示波器测量信号,且该M‑1路输出的后面接第二级开关,对进行测量的类型进行,这样M‑1个通路可以同时并行进行信号检测工作。

    一种复合型比较法真空校准系统及方法

    公开(公告)号:CN109341946A

    公开(公告)日:2019-02-15

    申请号:CN201811432009.4

    申请日:2018-11-28

    Abstract: 本发明提供一种复合型比较法真空校准系统及方法,包括:机械泵、分子泵、第一真空室、第二真空室、第一至第三真空计、第一至第十真空阀门、气瓶、第一至第三开孔;所述分子泵的抽气出口通过第一真空阀门与机械泵连接,其抽气入口通过第二真空阀门、第三开孔与第一真空室连接且其通过第三真空阀门连接至机械泵;第一真空室与第三真空计连接、通过第四真空阀门连接第二真空计;所述第一开孔通过第五真空阀门、第二开孔通过第六真空阀门连接至第七真空阀门后与气瓶连接;所述第八真空阀门连接至第二真空室,及第二真空室上连接第一真空计且通过第十真空阀门连接至机械泵。本发明将多种检测技术集成在一台设备上,能够节约设备成本,扩大校准范围。

    一种基于接口为CF400的分子泵抽速测试系统及方法

    公开(公告)号:CN109026804A

    公开(公告)日:2018-12-18

    申请号:CN201810772557.5

    申请日:2018-07-13

    CPC classification number: F04D27/001

    Abstract: 本发明涉及一种基于接口为CF400的分子泵抽速测试系统及方法,该系统仅采用流量法一种方法测量抽速,研制了满足CF400分子泵测试需求的超高真空测试罩,采用复合型标准气体流量计在一套系统上实现了真空罩内处于10‑1Pa~10‑7Pa的压力范围下,能够对分子泵抽速范围实现3000L/s~5000L/s内的测量。真空系统的机械泵通过第一阀门与分子泵的抽气出口连接,分子泵的入口与第一真空室连接,第一真空室上面接了副标准电离真空计、监测真空计和第三阀门,第三阀门的另一端与第二真空室连接,第二真空室上面连接了第三阀门、复合型标准气体流量计的出气口,复合型标准气体流量计的进气口与第二阀门连接,第二阀门的另一端与气瓶连接。

    微小气体流量计流导元件入口微量氦气的获得装置

    公开(公告)号:CN118603438A

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN202410682221.5

    申请日:2024-05-29

    Abstract: 本发明涉及一种微小气体流量计流导元件入口微量氦气的获得装置,微小气体流量计流导元件入口微量氦气的获得装置包括配置有第一测试室的氦气配气管路和配置有第二测试室的氢气配气管路,氢气配气管路和氦气配气管路并联后通过第七阀门依次连接有第三测试室、第十五阀门、高真空泵、第十六阀门和前级泵,前级泵通过第十三阀门连接至氢气配气管路和氦气配气管路的并联节点;第三测试室通过第十二阀门与吸气剂泵连接、通过第十一阀门与流导元件连接、通过第八阀门与第三真空计连接、通过第九阀门与第四真空计连接、通过第十阀门与第四测试室连接;第三测试室还通过第十四阀门与前级泵连接。本发明,能够获取极微小的氦气气体流量Qs。

    真空计校准装置及校准方法

    公开(公告)号:CN113310626B

    公开(公告)日:2022-08-19

    申请号:CN202110578312.0

    申请日:2021-05-26

    Abstract: 本发明涉及一种真空计校准装置及校准方法,包括依次相连通的供气源、流量流量计、第一真空阀门、校准室、限流孔、第三阀真空阀、分子泵抽气机组、第四真空阀和前级泵,所述校准室具有赤道平面,所述赤道平面上开设有法兰接口分别连接有第一真空计、第二真空计和第二真空阀门,所述第二真空阀门的另一端分别与第三真空计、第五真空阀门、第六真空阀门、第七真空阀门相连接,所述第五真空阀门的另一端连接有真空室,第六真空阀门另一端连接有第四真空计,所述第七真空阀门的另一端与所述前级泵相连接,所述赤道平面上还设有校准接口用于连接待校准真空计。本发明的真空计校准装置校准操作方便,校准精度高。

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