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公开(公告)号：CN111473833A
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN202010300278.6
申请日：2020-04-16
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01F17/00
Abstract: 本发明公开了一种容积替代法真空腔体容积测试系统及其测试方法，属于真空腔体容积测试领域；利用内置标准体积、两次气体静态膨胀对非标真空腔体容积进行精确测量的方法：将气体膨胀室中气体膨胀到被测真空室，以测定两个真空腔室的体积比，在气体膨胀室置入标准体积的条件下，将气体膨胀室中气体膨胀到被测真空室，以测定被测真空腔室的准确体积；提出操作便捷的真空测量系统，其中气体膨胀室、阀门、标准体积经特殊高真空处理，具有较小的材料放气率，使气体静态膨胀过程中装置本底放气极小，保证测量的精确性。本发明的系统和方法能够快速、便捷地对各型真空腔体的容积进行精确测量。
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公开(公告)号：CN109519407A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811490232.4
申请日：2018-12-06
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: F04D27/00
Abstract: 本发明提供一种宽量程高精度分子泵压缩比测试装置及方法，该装置包括：前级泵、分子泵、测试罩、第一～第五真空规、第一～第四阀门、流量计和气源，其中前级泵与第四阀门连接，第四阀门分别于前级泵、第三阀门、第四和第五真空规及分子泵连接；第四和第五真空规连接在分子泵和第四阀门之间的管路处；分子泵的出气口与第四阀门连接，抽气口与测试罩连接，测试罩的测试口与分子泵抽气口连接。利用本发明的测试装置，解决了传统测量范围较小的问题，延伸了压力测量范围并且提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN109443983A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811431933.0
申请日：2018-11-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N7/00
Abstract: 本发明一种基于对称结构的材料放气率测试系统及方法，包括第一至第四真空室、第一和第二小孔元件、第一至第三真空计、机械泵、分子泵、第一至第八真空阀门、第一和第二进样阀门、恒温箱；机械泵通过第一真空阀门与分子泵的抽气出口连接，其抽气入口分别与第一真空计、第二第三第四真空阀门的一端连接；所述第三、第四真空阀门的另一端分别与第二、第四真空室连接；第二第四真空室分别通过第一、第二小孔元件与一三真空室相连通；第二真空计分别通过第五、第六真空阀门连接至第二、第四真空室，第三真空计分别通过第七、第八真空阀门连接至第一、第三真空室；第一、第三真空室上分别设置第一、第二进样阀门。本发明可大幅提高测量精度和测试效率。
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公开(公告)号：CN113310626A
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN202110578312.0
申请日：2021-05-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01L27/00
Abstract: 本发明涉及一种真空计校准装置及校准方法，包括依次相连通的供气源、流量流量计、第一真空阀门、校准室、限流孔、第三阀真空阀、分子泵抽气机组、第四真空阀和前级泵，所述校准室具有赤道平面，所述赤道平面上开设有法兰接口分别连接有第一真空计、第二真空计和第二真空阀门，所述第二真空阀门的另一端分别与第三真空计、第五真空阀门、第六真空阀门、第七真空阀门相连接，所述第五真空阀门的另一端连接有真空室，第六真空阀门另一端连接有第四真空计，所述第七真空阀门的另一端与所述前级泵相连接，所述赤道平面上还设有校准接口用于连接待校准真空计。本发明的真空计校准装置校准操作方便，校准精度高。
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公开(公告)号：CN113310626B
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202110578312.0
申请日：2021-05-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01L27/00
Abstract: 本发明涉及一种真空计校准装置及校准方法，包括依次相连通的供气源、流量流量计、第一真空阀门、校准室、限流孔、第三阀真空阀、分子泵抽气机组、第四真空阀和前级泵，所述校准室具有赤道平面，所述赤道平面上开设有法兰接口分别连接有第一真空计、第二真空计和第二真空阀门，所述第二真空阀门的另一端分别与第三真空计、第五真空阀门、第六真空阀门、第七真空阀门相连接，所述第五真空阀门的另一端连接有真空室，第六真空阀门另一端连接有第四真空计，所述第七真空阀门的另一端与所述前级泵相连接，所述赤道平面上还设有校准接口用于连接待校准真空计。本发明的真空计校准装置校准操作方便，校准精度高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109323817A
公开(公告)日：2019-02-12
申请号：CN201811090584.0
申请日：2018-09-13
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01M3/20
Abstract: 本发明是一种下限为10-16 Pam3/s的超灵敏度检漏装置及方法。该检漏装置包括干泵(RP1)、分子泵(TMP1)、吸气剂泵(NEG1)、真空规(G1)、四级质谱计(QMS)、第一至第五真空阀门、检测室(VC1)、固定流导法流量计(FM)、气源、真空管道。本发明基于累积比较的方法，采用固定流导法流量计提供下限为1.3×10-16 Pam3/s的标准气体流量，从而将检漏装置的检漏下限延伸至10-16Pam3/s。
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公开(公告)号：CN112304804B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202011169846.X
申请日：2020-10-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N7/14
Abstract: 本发明公开了一种材料放气率测试系统及其测试方法，包含第一真空室、第二真空室、第三真空室、第一小孔元件、第二小孔元件、第一真空计、第二真空计、第三真空计、机械泵、第一分子泵、第二分子泵、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门、第五真空阀门、第六真空阀门，第七真空阀门、第八真空阀门、第九真空阀门、第十真空阀门、第十一真空阀门、一个气体流量控制器、一个减压阀门、离子泵、一个标准气瓶和一个恒温箱，一方面减小了两次分别测量过程中由于暴露大气对装置本底放气影响；另一方面可以实现样品和本底同时测量，将原有的测量过程缩短了一半时间，提高了测量效率。
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公开(公告)号：CN109026804B
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201810772557.5
申请日：2018-07-13
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: F04D27/00
Abstract: 本发明涉及一种基于接口为CF400的分子泵抽速测试系统及方法，该系统仅采用流量法一种方法测量抽速，研制了满足CF400分子泵测试需求的超高真空测试罩，采用复合型标准气体流量计在一套系统上实现了真空罩内处于10‑1Pa～10‑7Pa的压力范围下，能够对分子泵抽速范围实现3000L/s～5000L/s内的测量。真空系统的机械泵通过第一阀门与分子泵的抽气出口连接，分子泵的入口与第一真空室连接，第一真空室上面接了副标准电离真空计、监测真空计和第三阀门，第三阀门的另一端与第二真空室连接，第二真空室上面连接了第三阀门、复合型标准气体流量计的出气口，复合型标准气体流量计的进气口与第二阀门连接，第二阀门的另一端与气瓶连接。
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公开(公告)号：CN109026804A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201810772557.5
申请日：2018-07-13
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: F04D27/00
CPC classification number: F04D27/001
Abstract: 本发明涉及一种基于接口为CF400的分子泵抽速测试系统及方法，该系统仅采用流量法一种方法测量抽速，研制了满足CF400分子泵测试需求的超高真空测试罩，采用复合型标准气体流量计在一套系统上实现了真空罩内处于10‑1Pa～10‑7Pa的压力范围下，能够对分子泵抽速范围实现3000L/s～5000L/s内的测量。真空系统的机械泵通过第一阀门与分子泵的抽气出口连接，分子泵的入口与第一真空室连接，第一真空室上面接了副标准电离真空计、监测真空计和第三阀门，第三阀门的另一端与第二真空室连接，第二真空室上面连接了第三阀门、复合型标准气体流量计的出气口，复合型标准气体流量计的进气口与第二阀门连接，第二阀门的另一端与气瓶连接。
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公开(公告)号：CN108982021A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810772049.7
申请日：2018-07-13
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01M3/20
Abstract: 本发明是一种下限为10-10Pam3/s的正压漏孔校准系统与方法，该系统包括：分子泵抽气系统、一个高纯氦气瓶、一个高纯氮气瓶、一个气体采样阀门(V4)、十个真空阀门(V1，V2，V3，V5，V6，V7，V8，V9，V10，V11)、三个真空室(VC1，VC2，VC3)、三个真空计(G1，G2，G3)、一个四极质谱仪(G4)、一个分子流进样元件(C)、一个吸气剂泵(NEG)、一个被校正压漏孔和一个恒温箱。
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