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公开(公告)号：CN108981866A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810771203.9
申请日：2018-07-13
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01F25/00
Abstract: 一种基于航空发动机涡轮生产喷涂设备的气体流量校准系统及方法，真空系统的机械泵经第一真空阀门与分子泵抽气出口连接，分子泵入口与第三阀门、第二阀门连接，第三阀门另一端与第一真空室连接，第二阀门另一端与第二真空室连接，第一真空室上面接了第四真空计、第五真空计与第六真空阀门、第六真空阀门与第六真空计连接，第二真空室上面连接第一真空计和第二真空计以及第五阀门，第五阀门与第三真空计连接，第三真空室与第九阀门和第七真空计连接，第四阀门一端与第九阀门、第三真空室和第七真空计连接，另一端与第八阀门、第七阀门及第一真空室连接，流量计通过第八阀门、第九阀门连接，活塞安装在真空室内部，位置测量仪用于测量活塞运动情况。
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公开(公告)号：CN115718133A
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN202211516431.4
申请日：2022-11-29
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N27/62
Abstract: 本发明涉及一种测量密封真空管中气体成分的装置及方法，所述装置包括：取样腔，所述取样腔内设有样品夹具；第一分子泵，入气口与所述取样腔连接；第一机械泵，与所述第一分子泵的抽气口连接；第一全量程真空计，与所述取样腔连接；质谱分析腔，与所述取样腔通过流导组件和压电陶瓷阀连接；第二分子泵，入气口与所述质谱分析腔连接；第二机械泵，与所述第二分子泵的抽气口连接；第二全量程真空计，与所述质谱分析腔连接；机械刺穿机构，设置于所述取样腔上；以及四极质谱仪，设置于所述质谱分析腔上。本发明可用于密封真空管中气体成分的检测，具备极高的通用性、便捷性和可控性。
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公开(公告)号：CN115718133B
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202211516431.4
申请日：2022-11-29
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N27/62
Abstract: 本发明涉及一种测量密封真空管中气体成分的装置及方法，所述装置包括：取样腔，所述取样腔内设有样品夹具；第一分子泵，入气口与所述取样腔连接；第一机械泵，与所述第一分子泵的抽气口连接；第一全量程真空计，与所述取样腔连接；质谱分析腔，与所述取样腔通过流导组件和压电陶瓷阀连接；第二分子泵，入气口与所述质谱分析腔连接；第二机械泵，与所述第二分子泵的抽气口连接；第二全量程真空计，与所述质谱分析腔连接；机械刺穿机构，设置于所述取样腔上；以及四极质谱仪，设置于所述质谱分析腔上。本发明可用于密封真空管中气体成分的检测，具备极高的通用性、便捷性和可控性。
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公开(公告)号：CN111473833A
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN202010300278.6
申请日：2020-04-16
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01F17/00
Abstract: 本发明公开了一种容积替代法真空腔体容积测试系统及其测试方法，属于真空腔体容积测试领域；利用内置标准体积、两次气体静态膨胀对非标真空腔体容积进行精确测量的方法：将气体膨胀室中气体膨胀到被测真空室，以测定两个真空腔室的体积比，在气体膨胀室置入标准体积的条件下，将气体膨胀室中气体膨胀到被测真空室，以测定被测真空腔室的准确体积；提出操作便捷的真空测量系统，其中气体膨胀室、阀门、标准体积经特殊高真空处理，具有较小的材料放气率，使气体静态膨胀过程中装置本底放气极小，保证测量的精确性。本发明的系统和方法能够快速、便捷地对各型真空腔体的容积进行精确测量。
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公开(公告)号：CN116046245A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202310017768.9
申请日：2023-01-06
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种密封真空电子器件内部压力的测量装置及方法，所述装置包括：取样腔，所述取样腔内设置有样品夹具；标准体积室，与所述取样腔通过管路连接；穿刺机构，设置于所述取样腔上；真空计，与所述取样腔通过管路连接；分子泵组，与所述取样腔通过管路连接；充气装置，与所述取样腔通过管路连接。本发明可有效提高测量密封真空电子器件内部压力的精确度。
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