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公开(公告)号:CN108918026B
公开(公告)日:2020-12-25
申请号:CN201811054584.5
申请日:2018-09-11
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明公开了一种热阴极电离真空计电参数校准装置及方法,该装置包括了电离规热阴极灯丝模拟电阻、模拟发射电流源、模拟离子电流源和保护二极管,其特征在于,电离规热阴极灯丝模拟电阻和保护二极管模拟电离规电阻特性,模拟发射电流源和模拟离子电流源模拟电离规电离特性。本发明设计的一种热阴极电离真空计电参数校准装置方法,对传统热阴极电离真空计电参数校准装置进行改进,利用电路模拟热阴极电离规管的电特性,从而实现热阴极电离真空计电参数校准过程中不用外接真空规管。
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公开(公告)号:CN119781129A
公开(公告)日:2025-04-08
申请号:CN202411778851.9
申请日:2024-12-05
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本申请提供了一种真空玻璃窗口组件,用于具有非圆形开孔的真空容器,包括:转接法兰,用于安装在真空容器的非圆形开孔上,转接法兰的形状被设计成与真空容器的非圆形开孔的形状相匹配,以覆盖该非圆形开孔;圆形的高颈法兰,安装在转接法兰上,高颈法兰开有窗口,并具有围绕窗口的玻璃安装座,玻璃安装座上具有安装面;环形的玻璃压盖,安装于高颈法兰的玻璃安装座上;真空玻璃,安装于高颈法兰的玻璃安装座的安装面与玻璃压盖之间;防护板,安装在玻璃压盖上,以覆盖真空玻璃。本申请通提供的真空玻璃窗口组件能够解决真空容器非圆形窗口安装真空玻璃的安全性问题,满足高真空下真空腔室的密封。
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公开(公告)号:CN113310626A
公开(公告)日:2021-08-27
申请号:CN202110578312.0
申请日:2021-05-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01L27/00
Abstract: 本发明涉及一种真空计校准装置及校准方法,包括依次相连通的供气源、流量流量计、第一真空阀门、校准室、限流孔、第三阀真空阀、分子泵抽气机组、第四真空阀和前级泵,所述校准室具有赤道平面,所述赤道平面上开设有法兰接口分别连接有第一真空计、第二真空计和第二真空阀门,所述第二真空阀门的另一端分别与第三真空计、第五真空阀门、第六真空阀门、第七真空阀门相连接,所述第五真空阀门的另一端连接有真空室,第六真空阀门另一端连接有第四真空计,所述第七真空阀门的另一端与所述前级泵相连接,所述赤道平面上还设有校准接口用于连接待校准真空计。本发明的真空计校准装置校准操作方便,校准精度高。
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公开(公告)号:CN119641209A
公开(公告)日:2025-03-18
申请号:CN202411697253.9
申请日:2024-11-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本申请提供了一种基于轨道支撑的真空装置门结构组件,门结构组件包括:封头大门,封头大门包括封头和封头边缘固定连接的法兰;门支撑架,门支撑架与封头大门通过连接组件和第一调整组件连接,连接组件实现门支撑架对封头大门的支撑,连接组件和第一调整组件共同实现封头大门与门支撑架间的第一相对倾斜调整;门调整单元,门调整单元实现门支撑架和轨道车间的第二相对倾斜调整;轨道车,轨道车与门调整单元连接,且轨道车远离门调整单元一侧设置有滑动组件,能够实现门结构组件沿垂直于封头大门水平轴线方向滑动。当地基发生沉降,上述组件可以通过第一调整组件和第二调整组件进行调整,使得真空腔体和封头大门位置恢复。
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公开(公告)号:CN116398421B
公开(公告)日:2023-12-19
申请号:CN202310603958.9
申请日:2023-05-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种高真空泵抽速测试装置及其使用方法,高真空泵抽速测试装置包括进气管路、测试管路和对比管路,测试管路包括顺序连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵、第一前级泵,第一测试罩还连接有第二真空计;对比管路包括顺序连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、流导抽气机组,第二测试罩还连接有第三真空计;第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接,第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计;第一测试罩与第二测试罩为相同的真空容器。本发明,克服了传统测量抽速等效氮气的不足,提高测试精度,减小测量不确定度,提高测试效率,降低测试成本,避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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公开(公告)号:CN116398421A
公开(公告)日:2023-07-07
申请号:CN202310603958.9
申请日:2023-05-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种高真空泵抽速测试装置及其使用方法,高真空泵抽速测试装置包括进气管路、测试管路和对比管路,测试管路包括顺序连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵、第一前级泵,第一测试罩还连接有第二真空计;对比管路包括顺序连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、流导抽气机组,第二测试罩还连接有第三真空计;第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接,第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计;第一测试罩与第二测试罩为相同的真空容器。本发明,克服了传统测量抽速等效氮气的不足,提高测试精度,减小测量不确定度,提高测试效率,降低测试成本,避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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公开(公告)号:CN113310626B
公开(公告)日:2022-08-19
申请号:CN202110578312.0
申请日:2021-05-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01L27/00
Abstract: 本发明涉及一种真空计校准装置及校准方法,包括依次相连通的供气源、流量流量计、第一真空阀门、校准室、限流孔、第三阀真空阀、分子泵抽气机组、第四真空阀和前级泵,所述校准室具有赤道平面,所述赤道平面上开设有法兰接口分别连接有第一真空计、第二真空计和第二真空阀门,所述第二真空阀门的另一端分别与第三真空计、第五真空阀门、第六真空阀门、第七真空阀门相连接,所述第五真空阀门的另一端连接有真空室,第六真空阀门另一端连接有第四真空计,所述第七真空阀门的另一端与所述前级泵相连接,所述赤道平面上还设有校准接口用于连接待校准真空计。本发明的真空计校准装置校准操作方便,校准精度高。
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公开(公告)号:CN110865002A
公开(公告)日:2020-03-06
申请号:CN201911123671.6
申请日:2019-11-17
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明公开了一种高精度材料放气率测试系统及其测试方法,属于高精度材料放气率测试领域,包含第一真空室、第二真空室、第三真空室、第一小孔元件、第二小孔元件、第一真空计、第二真空计、第三真空计、机械泵、第一分子泵、第二分子泵、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门、第五真空阀门、第六真空阀门,第七真空阀门,第八真空阀门,第九真空阀门,本发明采用包含对称结构材料放气测试装置和温控单元的系统,采用两个结构和尺寸均相同的测量室,对称结构的材料放气测试系统实现了样品和测试系统本底放气的同时测量,不仅提高了测量精度,而且将原有的测量过程缩短了一半时间,提高了测量效率。
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公开(公告)号:CN108981866A
公开(公告)日:2018-12-11
申请号:CN201810771203.9
申请日:2018-07-13
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01F25/00
Abstract: 一种基于航空发动机涡轮生产喷涂设备的气体流量校准系统及方法,真空系统的机械泵经第一真空阀门与分子泵抽气出口连接,分子泵入口与第三阀门、第二阀门连接,第三阀门另一端与第一真空室连接,第二阀门另一端与第二真空室连接,第一真空室上面接了第四真空计、第五真空计与第六真空阀门、第六真空阀门与第六真空计连接,第二真空室上面连接第一真空计和第二真空计以及第五阀门,第五阀门与第三真空计连接,第三真空室与第九阀门和第七真空计连接,第四阀门一端与第九阀门、第三真空室和第七真空计连接,另一端与第八阀门、第七阀门及第一真空室连接,流量计通过第八阀门、第九阀门连接,活塞安装在真空室内部,位置测量仪用于测量活塞运动情况。
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公开(公告)号:CN108918026A
公开(公告)日:2018-11-30
申请号:CN201811054584.5
申请日:2018-09-11
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01L27/00
Abstract: 本发明公开了一种热阴极电离真空计电参数校准装置及方法,该装置包括了电离规热阴极灯丝模拟电阻、模拟发射电流源、模拟离子电流源和保护二极管,其特征在于,电离规热阴极灯丝模拟电阻和保护二极管模拟电离规电阻特性,模拟发射电流源和模拟离子电流源模拟电离规电离特性。本发明设计的一种热阴极电离真空计电参数校准装置方法,对传统热阴极电离真空计电参数校准装置进行改进,利用电路模拟热阴极电离规管的电特性,从而实现热阴极电离真空计电参数校准过程中不用外接真空规管。
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