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公开(公告)号：CN116398421B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202310603958.9
申请日：2023-05-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种高真空泵抽速测试装置及其使用方法，高真空泵抽速测试装置包括进气管路、测试管路和对比管路，测试管路包括顺序连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵、第一前级泵，第一测试罩还连接有第二真空计；对比管路包括顺序连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、流导抽气机组，第二测试罩还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为相同的真空容器。本发明，克服了传统测量抽速等效氮气的不足，提高测试精度，减小测量不确定度，提高测试效率，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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公开(公告)号：CN116398421A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202310603958.9
申请日：2023-05-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种高真空泵抽速测试装置及其使用方法，高真空泵抽速测试装置包括进气管路、测试管路和对比管路，测试管路包括顺序连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵、第一前级泵，第一测试罩还连接有第二真空计；对比管路包括顺序连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、流导抽气机组，第二测试罩还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为相同的真空容器。本发明，克服了传统测量抽速等效氮气的不足，提高测试精度，减小测量不确定度，提高测试效率，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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公开(公告)号：CN112304804A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN202011169846.X
申请日：2020-10-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N7/14
Abstract: 本发明公开了一种材料放气率测试系统及其测试方法，包含第一真空室、第二真空室、第三真空室、第一小孔元件、第二小孔元件、第一真空计、第二真空计、第三真空计、机械泵、第一分子泵、第二分子泵、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门、第五真空阀门、第六真空阀门，第七真空阀门、第八真空阀门、第九真空阀门、第十真空阀门、第十一真空阀门、一个气体流量控制器、一个减压阀门、离子泵、一个标准气瓶和一个恒温箱，一方面减小了两次分别测量过程中由于暴露大气对装置本底放气影响；另一方面可以实现样品和本底同时测量，将原有的测量过程缩短了一半时间，提高了测量效率。
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公开(公告)号：CN118566330A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410787824.1
申请日：2024-06-18
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N27/623
Abstract: 本发明涉及一种基于质谱计比较法测量(10‑8～10‑11)m3/s分子流导的装置及方法，包括进气管路、比较管路、待测管路、质谱分析管路和抽真空管路。进气管路包括气源、与气源连接的第一阀门和第二阀门；比较管路包括第一稳压室、第一真空计、第三真空计和参考流导元件；待测管路包括第二稳压室、第二真空计、第四真空计、第五真空计和待测流导元件；质谱分析管路包括质谱分析室、限流元件、四极质谱计和第六真空计；抽真空管路包括第一分子泵、第二分子泵、第一干泵和第二干泵。本发明，利用四极质谱计的线性，通过已知相对较大分子流导值的流导元件作为参考标准，实现(10‑8～10‑11)m3/s的流导元件的分子流导值的测量。
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公开(公告)号：CN117419996B
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202311355171.1
申请日：2023-10-18
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及采用真空条件下流量计配制标准混合气体的装置及方法，所述装置包括：微量气体取样管路，包括第一气瓶、第一阀门、第二阀门、第一真空室、第三阀门、第一高真空泵机组、第一真空计和第二真空计；其他气体取样管路，包括第二气瓶、第十一阀门、第九阀门、第三真空室、第十阀门、第二高真空泵机组、第五真空计和第六真空计；混合气体管路，包括第四阀门、标准流导元件、第五阀门、第六阀门、第二真空室、第七阀门、第八阀门、第十二阀门、第三真空计和第四真空计；第一真空室与第四阀门连接，第三真空室相与第七阀门、第八阀门和第十二阀门连接。本发明设备简单、成本低、操作方便，可将配制标准混合气体的配制比下限延伸至2×10‑10。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118129979A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410457443.7
申请日：2024-04-16
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01L27/00
Abstract: 本发明涉及一种基于差分法的真空计校准装置及校准方法，校准装置包括校准室、第一流导元件、第一真空计、被校准真空计、差分管道、差分组件和供气检测组件，差分管道的三个端口分别用于与校准室、抽气管道和供气管道连接，差分组件设置在抽气管道上，包括第二真空计和第二流导元件，供气检测组件设置在供气管道上，包括供气检测真空计和第三流导元件。本发明，通过设置在校准室抽进气口上的差分组件，实现对进气流量的有效差分，将校准下限延伸到10‑7Pa，简化了校准装置的结构和操作方法，减小了装置的体积和重量。
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公开(公告)号：CN117419996A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202311355171.1
申请日：2023-10-18
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及采用真空条件下流量计配制标准混合气体的装置及方法，所述装置包括：微量气体取样管路，包括第一气瓶、第一阀门、第二阀门、第一真空室、第三阀门、第一高真空泵机组、第一真空计和第二真空计；其他气体取样管路，包括第二气瓶、第十一阀门、第九阀门、第三真空室、第十阀门、第二高真空泵机组、第五真空计和第六真空计；混合气体管路，包括第四阀门、标准流导元件、第五阀门、第六阀门、第二真空室、第七阀门、第八阀门、第十二阀门、第三真空计和第四真空计；第一真空室与第四阀门连接，第三真空室相与第七阀门、第八阀门和第十二阀门连接。本发明设备简单、成本低、操作方便，可将配制标准混合气体的配制比下限延伸至2×10‑10。
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公开(公告)号：CN117212121A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311127210.2
申请日：2023-09-04
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及高真空泵抽速测试装置及其使用方法，包括进气管路、与进气管路相连接的测试管路以及与测试管路相连接的校准管路；进气管路包括依次连接的流量系统和第五阀门；测试管路包括依次连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵和第一前级泵，第一测试罩上还连接有第二真空计；校准管路包括依次连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、抽气机组，第二测试罩上还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为结构和尺寸均不相同的真空容器。本发明可提高测试精度，减小测量不确定度，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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公开(公告)号：CN112304804B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202011169846.X
申请日：2020-10-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N7/14
Abstract: 本发明公开了一种材料放气率测试系统及其测试方法，包含第一真空室、第二真空室、第三真空室、第一小孔元件、第二小孔元件、第一真空计、第二真空计、第三真空计、机械泵、第一分子泵、第二分子泵、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门、第五真空阀门、第六真空阀门，第七真空阀门、第八真空阀门、第九真空阀门、第十真空阀门、第十一真空阀门、一个气体流量控制器、一个减压阀门、离子泵、一个标准气瓶和一个恒温箱，一方面减小了两次分别测量过程中由于暴露大气对装置本底放气影响；另一方面可以实现样品和本底同时测量，将原有的测量过程缩短了一半时间，提高了测量效率。
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公开(公告)号：CN117212121B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311127210.2
申请日：2023-09-04
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及高真空泵抽速测试装置及其使用方法，包括进气管路、与进气管路相连接的测试管路以及与测试管路相连接的校准管路；进气管路包括依次连接的流量系统和第五阀门；测试管路包括依次连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵和第一前级泵，第一测试罩上还连接有第二真空计；校准管路包括依次连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、抽气机组，第二测试罩上还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为结构和尺寸均不相同的真空容器。本发明可提高测试精度，减小测量不确定度，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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