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公开(公告)号:CN116046245A
公开(公告)日:2023-05-02
申请号:CN202310017768.9
申请日:2023-01-06
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种密封真空电子器件内部压力的测量装置及方法,所述装置包括:取样腔,所述取样腔内设置有样品夹具;标准体积室,与所述取样腔通过管路连接;穿刺机构,设置于所述取样腔上;真空计,与所述取样腔通过管路连接;分子泵组,与所述取样腔通过管路连接;充气装置,与所述取样腔通过管路连接。本发明可有效提高测量密封真空电子器件内部压力的精确度。
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公开(公告)号:CN115718133B
公开(公告)日:2024-07-26
申请号:CN202211516431.4
申请日:2022-11-29
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N27/62
Abstract: 本发明涉及一种测量密封真空管中气体成分的装置及方法,所述装置包括:取样腔,所述取样腔内设有样品夹具;第一分子泵,入气口与所述取样腔连接;第一机械泵,与所述第一分子泵的抽气口连接;第一全量程真空计,与所述取样腔连接;质谱分析腔,与所述取样腔通过流导组件和压电陶瓷阀连接;第二分子泵,入气口与所述质谱分析腔连接;第二机械泵,与所述第二分子泵的抽气口连接;第二全量程真空计,与所述质谱分析腔连接;机械刺穿机构,设置于所述取样腔上;以及四极质谱仪,设置于所述质谱分析腔上。本发明可用于密封真空管中气体成分的检测,具备极高的通用性、便捷性和可控性。
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公开(公告)号:CN117967997A
公开(公告)日:2024-05-03
申请号:CN202410052082.8
申请日:2024-01-12
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及检漏工装密封机构,包括:外壳;支撑架,固定设置于所述外壳内;驱动机构,设置于所述支撑架上;密封腔压板,活动设置于所述外壳内且与所述驱动机构连接;检漏工装,设置于所述外壳内且与所述密封腔压板连接,所述检漏工装的一侧具有凹槽,在所述凹槽中设置有柔性密封条;所述驱动机构被配置为受控驱动所述密封腔压板运动,带动所述检漏工装运动,所述外壳上具有供所述检漏工装伸出的通孔,使得所述检漏工装伸出后贴合在被检测件上,且所述柔性密封条紧密接触被检测件。通过驱动机构调节检漏工装,即可实现检漏工装与被测位置之间的连接和分离,并通过柔性密封条进行密封,无需对被测位置进行处理,也无需采用真空封泥,提高检测效率。
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公开(公告)号:CN118603438A
公开(公告)日:2024-09-06
申请号:CN202410682221.5
申请日:2024-05-29
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种微小气体流量计流导元件入口微量氦气的获得装置,微小气体流量计流导元件入口微量氦气的获得装置包括配置有第一测试室的氦气配气管路和配置有第二测试室的氢气配气管路,氢气配气管路和氦气配气管路并联后通过第七阀门依次连接有第三测试室、第十五阀门、高真空泵、第十六阀门和前级泵,前级泵通过第十三阀门连接至氢气配气管路和氦气配气管路的并联节点;第三测试室通过第十二阀门与吸气剂泵连接、通过第十一阀门与流导元件连接、通过第八阀门与第三真空计连接、通过第九阀门与第四真空计连接、通过第十阀门与第四测试室连接;第三测试室还通过第十四阀门与前级泵连接。本发明,能够获取极微小的氦气气体流量Qs。
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公开(公告)号:CN117948426A
公开(公告)日:2024-04-30
申请号:CN202410144825.4
申请日:2024-02-01
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种超高压容器的密封装置,包括撬装平台(1);设置于所述撬装平台(1)上的下支撑架(2)和超高压容器(3);活动设置于所述下支撑架(2)上的上支撑架(4);活动设置于所述上支撑架(4)上的拆装机构,所述拆装机构包括连杆(7)和开合环(8),所述连杆(7)被配置为受控运动带动所述开合环(8)相对于所述超高压容器(3)运动,以通过所述开合环(8)将密封体(9)安装或拆卸于所述超高压容器(3)。本发明的超高压容器的密封装置,通过拆装机构实现对超高压容器(3)的密封,可实现高压、超高压釜试验在安全性、操作便捷性、可靠性上的有效提高。
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公开(公告)号:CN115718133A
公开(公告)日:2023-02-28
申请号:CN202211516431.4
申请日:2022-11-29
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N27/62
Abstract: 本发明涉及一种测量密封真空管中气体成分的装置及方法,所述装置包括:取样腔,所述取样腔内设有样品夹具;第一分子泵,入气口与所述取样腔连接;第一机械泵,与所述第一分子泵的抽气口连接;第一全量程真空计,与所述取样腔连接;质谱分析腔,与所述取样腔通过流导组件和压电陶瓷阀连接;第二分子泵,入气口与所述质谱分析腔连接;第二机械泵,与所述第二分子泵的抽气口连接;第二全量程真空计,与所述质谱分析腔连接;机械刺穿机构,设置于所述取样腔上;以及四极质谱仪,设置于所述质谱分析腔上。本发明可用于密封真空管中气体成分的检测,具备极高的通用性、便捷性和可控性。
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