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公开(公告)号:CN102801471A
公开(公告)日:2012-11-28
申请号:CN201210236374.4
申请日:2012-07-09
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: H04B10/10 , H04B10/155 , H04B10/158
Abstract: 本发明公开了一种可见光通信系统,用于便携装置之间的数据传输,该系统包括至少一个第一便携装置(1)和至少一个第二便携装置(2),其中所述第一便携装置至少包括一个LED灯(3),该LED灯在时序上的亮灭状态表示所要传送的数据;所述第二便携装置至少包括一个光感应器(4),该光感应器能够感应所述LED灯在时序上的亮灭状态,从而接收该亮灭状态表示的数据。所述LED灯可由白光LED构成。本发明无须增加便携装置的配置,且其数据传输速度最高可达到1Gbits/s,因此具有成本低和效率高的优点。
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公开(公告)号:CN102409406A
公开(公告)日:2012-04-11
申请号:CN201110332793.3
申请日:2011-10-28
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种低位错氮化镓的生长方法,包括如下步骤:步骤1:取一基板,该基板包括一衬底和制作在其上的氮化镓模板;步骤2:用腐蚀液腐蚀氮化镓模板的表面,在氮化镓模板的表面形成六角微坑;步骤3:在具有六角微坑的氮化镓模板的表面涂覆二氧化硅凝胶,将六角微坑覆盖,用甩胶机进行甩胶处理;步骤4:采用高温烧结使氮化镓模板上的二氧化硅凝胶固化;步骤5:用NaOH溶液处理,除去氮化镓模板11上微坑以外的二氧化硅凝胶;步骤6:再采用高温烧结,使六角微坑内的二氧化硅凝胶变成晶体;步骤7:在处理后的氮化镓模板上外延氮化镓材料,完成低位错氮化镓的生长。
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公开(公告)号:CN102130230A
公开(公告)日:2011-07-20
申请号:CN201010610360.5
申请日:2010-12-28
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种发光二极管的制备方法,包括如下步骤:步骤1:在衬底上外延N型GaN薄膜;步骤2:在N型GaN薄膜上沉积掩膜;步骤3:通过刻蚀或腐蚀工艺,在掩膜上制备SiO2网格,形成基片;步骤4:对基片进行清洗;步骤5:将清洗后的基片放入MOCVD设备,在SiO2网格内依次外延生长N型GaN层、量子阱层、AlGaN电子阻挡层和P型GaN层;步骤6:腐蚀去掉SiO2网格;步骤7:在P型GaN层上形成ITO层;步骤8:在ITO层上形成P电极;步骤9:在N型GaN层上形成N电极,完成器件的制备。
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公开(公告)号:CN119486316A
公开(公告)日:2025-02-18
申请号:CN202411618173.X
申请日:2024-11-13
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: H10F71/00 , C30B25/18 , C30B29/40 , H10F77/124 , H10F30/21
Abstract: 本公开提供了一种AlGaN薄膜生长方法及AlGaN薄膜,涉及半导体材料外延技术领域,用以解决现有技术中基于碳化硅衬底生长的AlGaN薄膜存在缺陷密度高的技术问题。该方法包括:准备一衬底,并对衬底进行清洗处理;将清洗后的衬底放入高温MOCVD设备中,通入指定时间的金属有机源,使金属原子吸附在衬底的生长面;对吸附金属原子后的衬底进行指定时间的金属原子解吸附处理,得到目标衬底;在目标衬底的生长面上,生长AlGaN薄膜。该方法通过金属原子吸附和解吸附过程来降低衬底表面的台阶密度,有效去除表面的氧化层,从而提升了AlGaN薄膜的晶体质量和表面光滑程度。
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公开(公告)号:CN113539791B
公开(公告)日:2024-02-27
申请号:CN202110716091.9
申请日:2021-06-25
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本公开提供了一种极性交替AlN模板的制备方法,包括:在衬底表面沉积氮极性AlN;在所述氮极性AlN上沉积掩膜层;对所述掩膜层图形化,以暴露部分所述氮极性AlN;对氮极性AlN进行热处理,诱使所述掩膜层覆盖的所述氮极性AlN的极性反转,保持暴露的所述氮极性AlN的极性不变;去除所述掩膜层,得到表面极性交替的AlN结构;在表面极性交替的AlN结构上继续沉积AlN至预设厚度,得到所述极性交替AlN模板。
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公开(公告)号:CN114146317A
公开(公告)日:2022-03-08
申请号:CN202111302851.8
申请日:2021-11-04
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本公开提供了一种可穿戴式无创光疗装置,包括:光动力模块,包括至少一个主动发光单元,用于辐射光子束,为光疗装置提供初始光动力,其中,至少一个主动发光单元为发光二极管、有机发光二极管、超辐射二极管、半导体激光器中的一种或多种;驱动显示模块,用于控制、显示和记录光动力模块的工作状态。本发明中所公开的可穿戴式无创光疗装置,通过将主动发光单元与荧光转换材料相结合,使得主动发光单元入射光子束的光谱成分得以调整和改变。装置结构简单合理,使用范围广,穿戴舒适度和便携性较好。
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公开(公告)号:CN113445130A
公开(公告)日:2021-09-28
申请号:CN202110716151.7
申请日:2021-06-25
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明提供一种AlGaN基紫外激光器的生长方法,通过原位热处理的方法粗化AlGaN赝晶层的表面,来缓解AlGaN厚膜的应力,显著改善晶体质量;由于表面粗化结构尺寸更小,后续AlGaN厚膜生长过程更容易合并,形成原子级平整表面,进而生长得到高质量的紫外激光器结构。
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公开(公告)号:CN113437186A
公开(公告)日:2021-09-24
申请号:CN202110715925.4
申请日:2021-06-25
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本公开提供了一种AlGaN薄膜的制备方法,包括:对衬底进行热处理,以使所述衬底的生长面转变为岛状起伏结构;在所述生长面上生长多孔AlN薄膜;在所述多孔AlN薄膜上生长表面合并的AlGaN薄膜。该方法不仅可以提高外延层的晶体质量,而且可以通过多孔结构有效缓解外延层应力,进而制备高质量的AlGaN薄膜。
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公开(公告)号:CN110808319B
公开(公告)日:2021-08-17
申请号:CN201911099376.1
申请日:2019-11-11
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种反极性垂直发光二极管及其制备方法,该反极性垂直发光二极管包括:基板;n型电极,位于所述基板之上;n型GaN基半导体层,位于所述n型电极之上;发光层,位于所述n型GaN基半导体层之上;p型GaN基半导体层,位于所述发光层之上;p型电极,位于所述p型GaN基半导体层之上;其中,所述n型GaN基半导体层、发光层和p型GaN基半导体层在自下而上的方向上均表现为氮极性,在自上而下的方向上均表现为金属极性。本发明综合反极性和垂直结构的优势,可有效提高p型GaN基半导体层的空穴浓度,抑制量子阱有源区的量子限制斯塔克效应,从而提高LED的辐射复合效率和内量子效率,改善LED的发光性能和可靠性。
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公开(公告)号:CN111463334A
公开(公告)日:2020-07-28
申请号:CN202010302475.1
申请日:2020-04-16
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种陶瓷基板,用于封装紫外LED芯片(6),包括:凹槽形陶瓷外壳,其凹槽底部设有:第一电极(1),第二电极(2),以及第三电极(3),之间相互隔离;凹槽(5),用于封装稳压管芯片(7),凹槽(5)包括第四电极(51)以及第五电极(52),其中,第四电极(51)与第一电极(1)连接,第五电极(52)与所述第三电极(3)连接;凹槽形陶瓷外壳的外表面设有:第一背部电极(8)以及第二背部电极(9),且分别与第一电极(1)和第二电极(2)连接。该陶瓷基板使得稳压管芯片和紫外LED芯片不在同一平面内,保护紫外LED芯片发出的紫外光不被稳压管芯片和胶粘剂吸收,保证了其出光率,同时设置稳压管芯片,保证紫外LED芯片不被损坏。
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