公开(公告)号：CN106796906A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201480082530.3

申请日：2014-10-10

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 福岛崇行 ,  金丸亮介

IPC: H01L21/677 ,  B25J9/16 ,  B25J15/08

Abstract: 使用晶圆握持手将圆板状的晶圆向纵放置槽搬运的晶圆搬运方法包括：晶圆握持手以晶圆的边缘上的至少三个支点握持晶圆；握持住晶圆的晶圆握持手以使晶圆以纵姿势位于纵放置槽的上方的形式移动；晶圆握持手解除晶圆的握持，以晶圆的边缘上的两个支点支承晶圆；以及支承晶圆的晶圆握持手向下方移动，直至晶圆的边缘进入至纵放置槽为止。

公开(公告)号：CN106104785A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201480074387.3

申请日：2014-06-27

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 桥本康彦 ,  福岛崇行 ,  金丸亮介 ,  木下真也 ,  宮川大辉

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08

CPC classification number: H01L21/67766 ,  H01L21/67207 ,  H01L21/67265 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明的末端执行器(700)包括：机器手基部(701)，至少一部分进入至收容在基板收容部的多片基板中的最下段的基板的下方或最上段的基板的上方；基板保持器件(702)，设置在机器手基部(701)，且用以支撑包含最下段的基板或最上段的基板的两片以上的基板；以及突出量变更器件(703)，用以变更基板保持器件(702)从包含与最下段的基板或最上段的基板对向的机器手基部(701)的表面的基准面的突出量。突出量变更器件(703)具有对基板保持器件(702)的整体赋予驱动力的单一的驱动源(706)。

公开(公告)号：CN106062943A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201480071011.7

申请日：2014-12-19

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 福岛崇行 ,  宮川大辉

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08

CPC classification number: H01L21/67781 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明的末端执行器(2)具备：多个托板主体(5)；及衬底保持机构(6)，设置在多个托板主体(5)各自的托板末端侧。衬底保持机构(6)具有：衬底载置部，供载置衬底的背面缘部；及衬底抵接部，从衬底载置部的托板末端侧朝上方延伸，并供所述衬底的侧端部抵接。以使衬底不能进入至下侧的托板主体(5)的衬底抵接部的上端与上侧的托板主体(5)的背面之间的方式设定衬底抵接部的高度。在具备能够变更上下方向间距的多个托板的末端执行器中，能够顺利地保持高密度搭载的衬底。

公开(公告)号：CN103688348B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201280035993.5

申请日：2012-08-09

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 桥本康彦 ,  小野茂树 ,  福岛崇行

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/677 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明涉及安装于机械手臂的梢端部上的末端作用器装置（1），在托板（10）上具备多个支持单元（3、3）。支持单元（3）具备以使多个半导体晶圆（9）相互平行且上下隔着间隔的方式支持各半导体晶圆（9）的周缘部的多个爪片（30、30）、和变更爪片（30）的上下间隔的间距变更机构（4）。间距变更机构（4）具备上下隔着间隔支持多个爪片（30、30），且在上下方向上弹性变形的螺旋弹簧（40）、和使该螺旋弹簧（40）在上下弹性变形的工作机构（5）。工作机构（5）具备嵌入于螺旋弹簧（40）中并升降的活塞轴（50）。

公开(公告)号：CN105473290A

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201480048301.X

申请日：2014-09-04

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 稻田隆浩 ,  后藤博彦 ,  齐藤雅行 ,  芝田武士 ,  福岛崇行

IPC: B25J19/00 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/68707 ,  B25J9/0021 ,  B25J19/0079 ,  F16C29/02 ,  F16C29/088 ,  H01L21/67766

Abstract: 密封带（4）包含内侧带区间（41）及外侧带区间（42），内侧带区间（41）以随着移动体（2）的移动而旋转的形式构成，外侧带区间（42）包含：在内侧带区间（41）与开口（10）之间的第一部分（43），该第一部分（43）的一端（43a）保持于移动体（2）的内在部（21a）的下端（10b）侧部分，其他部分沿着开口（10）延伸，且保持于第三空间位置（P3）；以及在内侧带区间（41）与开口（10）之间的第二部分（44），该第二部分（44）的一端（44a）保持于内在部（21a）的下端（10b）侧部分，其他部分沿着开口（10）延伸至第四空间位置（P4）为止，且保持于第四空间位置（P4）；且随着移动体（2）的移动，第一部分（43）的长度及第二部分（44）的长度相辅相成地发生变化，驱动机构（3）位于由内侧带区间包围的空间。

公开(公告)号：CN103959454A

公开(公告)日：2014-07-30

申请号：CN201280060127.1

申请日：2012-12-18

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 桥本康彦 ,  福岛崇行

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742 ,  B25J9/0084 ,  B25J9/009 ,  B25J15/0052 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/68707

Abstract: 具备：改变多个基板保持体（10）的间距的支持机构（12）；设置于各基板保持体（10），并以使可动保持构件（24）推压把持基板的形式对可动体（16）施力的施力机构（18）；以及解除由可动保持构件（24）进行的基板的推压把持的推回机构（20）；形成为可以使推回机构（20）的推回部（60）位于与可动体（16）不接触的待机位置的结构。

公开(公告)号：CN108604567B

公开(公告)日：2022-07-22

申请号：CN201780011239.0

申请日：2017-02-20

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 福岛崇行

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08 ,  B65G49/07

Abstract: 基板把持手，具备：基座板，规定有中心线和把持位置；设置在基座板的梢端侧的至少一个固定爪，能与位于把持位置的基板的边缘卡合；可动爪，具有能对位于把持位置的基板的边缘作用的作用部，且在比把持位置更靠近基端侧处在中心线上往返移动；推动器，具有能对比垂直姿势的基板的中心更下方的边缘作用的作用部，且在比把持位置更靠近基端侧处与中心线平行地往返移动；致动器，使可动爪及推动器一体地往返移动。以藉由朝向梢端侧进行往动的推动器对基板抬高至把持位置后，藉由进行往动的可动爪及固定爪的协动把持基板的方式，推动器的作用部位于比可动爪的作用部更靠近梢端侧处。

公开(公告)号：CN112368819A

公开(公告)日：2021-02-12

申请号：CN201980043224.1

申请日：2019-06-27

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 福岛崇行 ,  木下真也 ,  松冈翔吾 ,  冈田拓之

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08

Abstract: 一种基板搬送装置，具备机械臂（30）；基板把持手（20）；执行器（40），使基板把持手（20）绕横摇轴旋转；以及控制装置（110），构成为执行：（A）以使基板（10）以基板把持手（20）的第一卡合构件（51）与第二卡合构件（52）保持的方式，使机械臂（30）动作；（B）在（A）之后，以基板（10）的第一主面（10A）位于比基座构件（50）上方，且第一主面（10A）的法线朝向比水平面（H）下方的方式，使执行器（40）动作；及（C）藉由可动导引构件（60）往基座构件（50）的梢端部侧移动，使得通过第二卡合构件（52）与第三卡合构件（53）与可动导引构件（60）把持基板（10）。

公开(公告)号：CN111108587A

公开(公告)日：2020-05-05

申请号：CN201880060936.X

申请日：2018-07-30

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 福岛崇行

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08

Abstract: 一种基板搬运装置，其具备：基板握持手；以及设置于基板握持手上，且具有保持基板（9）的爪部（41）及支持爪部（41）的支柱部的保持构件（4）；并且支柱部在对爪部（41）施加力时，以使施加于爪部（41）的力减少的形式屈曲。

公开(公告)号：CN110249420A

公开(公告)日：2019-09-17

申请号：CN201880009264.X

申请日：2018-01-29

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 吉田哲也 ,  金丸亮介 ,  木下真也 ,  福岛崇行

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08 ,  B65G49/07

Abstract: 本发明的基板把持手装设于机械手的手梢部且把持垂直或倾斜姿势的圆板状的基板，具备：底板，从固定于手梢部的基端侧向梢端侧扩展，且规定有把持位置；卡合爪，设置于底板的梢端侧，能与垂直或倾斜姿势的基板的比中心靠下方的缘卡合；移动部，在比把持位置靠基端侧处朝向梢端侧移动；及多个旋转体，设置于移动部的梢端侧，藉由移动部的移动，按压处于在比把持位置靠下方的位置与卡合爪卡合的状态的基板的缘，从而一边沿着基板的缘旋转，一边将基板向把持位置推升。