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公开(公告)号:CN102971236A
公开(公告)日:2013-03-13
申请号:CN201180031917.2
申请日:2011-06-10
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B65G1/00 , B65G49/06 , H01L21/677
CPC classification number: B65G1/04 , B65G49/062 , B65G49/063 , B65G49/067 , B65G49/068 , H01L21/67718 , H01L21/67736 , H01L21/67769
Abstract: 储备设备(1)具备以竖立的状态在前后方向上排列并收纳玻璃板(2)的支架(21)、和使玻璃板(2)向左右移动而在其与支架(21)之间接收玻璃板(2)的储备器(4)。储备器(4)具有基台(5)、翻动件(8)、滑动构件(16)、和驱动构件(18)。翻动件(8)形成为通过翻动件驱动机构(10)相对于基台(5)绕轴线(L1)转动,通过转动使装载于其上的玻璃板(2)竖立或者倾倒的结构。驱动构件(18)形成为在滑动构件(16)上可转动地设置,通过转动将玻璃板(2)运送至支架(21)内的结构。借助于此,提供不需在支架的基板容纳部中插入末端执行器,而在收纳间距紧密且隔着间隔设置的两个板状构件之间可搬入板状构件,并从排列的多个板状构件中可搬出任意的板状构件的板状构件移载设备。
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公开(公告)号:CN112673463B
公开(公告)日:2023-11-24
申请号:CN201980059035.3
申请日:2019-08-26
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明的靶体的边缘位置示教方法包含:光电传感器的光轴向规定的初始位置移动,该规定的初始位置规定在比以主面成为水平的姿势设置的靶体的边缘靠外侧、且比靶体靠上方或下方的位置;直到由光电传感器检测到靶体的边缘位置,反复进行光轴的规定的前进循环;以及基于在由光电传感器检测到靶体的边缘时的基板搬运机器人的姿势,求出靶体的边缘的被检测点的位置,并存储该位置。移动循环包含:通过靶体的高度位面进行上升或下降、向朝向靶体的水平的扫描方向前进第一移动量、通过靶体的高度位面进行下降或上升、以及向扫描方向前进第一移动量的一系列的移动。
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公开(公告)号:CN110249420B
公开(公告)日:2023-11-07
申请号:CN201880009264.X
申请日:2018-01-29
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/08 , B65G49/07
Abstract: 本发明的基板把持手装设于机械手的手梢部且把持垂直或倾斜姿势的圆板状的基板,具备:底板,从固定于手梢部的基端侧向梢端侧扩展,且规定有把持位置;卡合爪,设置于底板的梢端侧,能与垂直或倾斜姿势的基板的比中心靠下方的缘卡合;移动部,在比把持位置靠基端侧处朝向梢端侧移动;及多个旋转体,设置于移动部的梢端侧,藉由移动部的移动,按压处于在比把持位置靠下方的位置与卡合爪卡合的状态的基板的缘,从而一边沿着基板的缘旋转,一边将基板向把持位置推升。
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公开(公告)号:CN109564888B
公开(公告)日:2023-03-31
申请号:CN201780050257.X
申请日:2017-09-08
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B65G49/07
Abstract: 一种基板搬送手,具备基部,连结于机器人手臂;基板保持部,与基部结合,保持基板。此基板搬送手,从垂直贯穿保持于基板保持部的基板的方向亦即基板垂线方向观察,在基部与基板保持部的结合部或其附近折弯,基部与基板保持部作为整体呈现V字形状。
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公开(公告)号:CN112673462A
公开(公告)日:2021-04-16
申请号:CN201980056597.2
申请日:2019-08-23
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 一种基板搬运机器人,相对于在装载口的第一侧与该装载口的开口部结合的基板的载体,经由装载口从与第一侧相反的第二侧通过开口部来进行基板的交接,其中,基板搬运机器人具备:手部,其保持基板;机器人臂,其与手部连结并使该手部位移;拍摄装置,其安装于手部或者机器人臂;以及控制器,其控制机器人臂和拍摄装置的动作。控制器获取由拍摄装置从第二侧拍摄到的包含开口部的周缘和与该开口部结合的载体的拍摄图像,并对拍摄图像进行图像处理,由此检测载体的结合位置相对于规定的基准结合位置的偏差。
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公开(公告)号:CN109791908A
公开(公告)日:2019-05-21
申请号:CN201780059358.3
申请日:2017-09-26
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/22 , B25J13/08 , G05B19/42
Abstract: 一种机器人的控制装置,具备:影像数据获取部,其获取由相机拍摄到的、配置于成为教示对象的基板的目标位置的教示用基板及手的基板载置部的影像数据;虚拟基板信息生成部,其在影像数据中生成虚拟配置在基板载置部上的虚拟基板的信息;距离信息算出部,其基于影像数据计算出从基板载置部至教示用基板为止的距离信息;动作控制部,其基于从基板载置部至教示用基板为止的距离信息,以使虚拟基板与教示用基板一致的形式控制机器臂的动作;及存储部,其将一致时的手的位置作为教示数据存储。
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公开(公告)号:CN105415346B
公开(公告)日:2017-08-01
申请号:CN201510663580.7
申请日:2010-01-29
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J9/00 , B25J9/14 , H01L21/677
CPC classification number: B25J15/0014 , B25J9/042 , B25J9/10 , B25J11/0095 , B25J15/0052 , B25J15/0616 , H01L21/67742 , H01L21/68707 , Y10S414/137 , Y10S414/141 , Y10T74/20305
Abstract: 本发明的末端执行器构成为安装在机器人的机械臂上,其特征在于,具备:多个托板部件,构成为能够分别保持基板,并能够改变托板部件彼此的托板间隔;托板支撑部,支撑多个托板部件,与多个托板部件一体地被机器人驱动;以及托板驱动单元,使多个托板部件中的至少一个相对于其它的托板部件移动,改变托板间隔。
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公开(公告)号:CN114174015B
公开(公告)日:2024-04-19
申请号:CN202080055822.3
申请日:2020-05-28
Applicant: 川崎重工业株式会社
Abstract: 机器人(1)的控制装置(3)包括:存储部(5),其存储用于使所述机器人进行规定动作的信息作为保存动作信息;以及处理部(4),其使用所述保存动作信息作为使所述机器人自动地进行用于作业的动作的自动动作信息,来控制所述机器人的动作,所述处理部从用于操作所述机器人的操作装置(2),接受用于对正在使用所述自动动作信息自动地进行用于作业的动作的所述机器人的动作进行修正的操作信息,并以进行相对于与所述自动动作信息相关的动作而被修正了的动作的方式,控制所述机器人,并且使所述存储部存储用于使所述机器人进行所述被修正了的动作的修正动作信息作为所述保存动作信息,所述操作装置将基于表示所述操作装置的动作的第一动作信息的所述操作信息输出至所述处理部。
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公开(公告)号:CN112673462B
公开(公告)日:2023-12-26
申请号:CN201980056597.2
申请日:2019-08-23
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 一种基板搬运机器人,相对于在装载口的第一侧与该装载口的开口部结合的基板的载体,经由装载口从与第一侧相反的第二侧通过开口部来进行基板的交接,其中,基板搬运机器人具备:手部,其保持基板;机器人臂,其与手部连结并使该手部位移;拍摄装置,其安装于手部或者机器人臂;以及控制器,其控制机器人臂和拍摄装置的动作。控制器获取由拍摄装置从第二侧拍摄到的包含开口部的周缘和与该开口部结合的载体的拍摄图像,并对拍摄图像进行图像处理,由此检测载体的结合位置相对于规定的基准结合位置的偏差。
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公开(公告)号:CN111052337B
公开(公告)日:2023-08-22
申请号:CN201880050570.8
申请日:2018-07-02
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
Inventor: 吉田哲也 , 曾铭 , 中原一 , 安东尼奥·约翰·洛萨诺 , 在田智一
IPC: H01L21/677 , B25J9/10 , B25J9/22 , H01L21/68
Abstract: 一种机器人的诊断方法,特征在于,是用于检测由无效运动引起的偏离量的机器人的诊断方法,具备:第一步骤,准备具备具有至少一个关节部的机器手臂的机器人、由上述机器人搬运的工件以及具备检测上述工件的中心位置的处理部的预对准器;以及第六步骤,在进行上述第一步骤至上述第五步骤之后,以上述第二步骤中检测的上述工件的中心位置以及基于上述第四步骤中来自上述机器人控制部的指令值的工件的中心位置和上述第五步骤中检测的工件的中心位置为基础,检测上述一个关节部中由无效运动引起的偏离量。
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