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公开(公告)号:CN117265480A
公开(公告)日:2023-12-22
申请号:CN202311432105.X
申请日:2023-10-31
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 一种低粗糙度氧化钇涂层的制备方法,包括以下步骤:步骤S10,将经过气体离子源轰击清洗后的高纯烧结氧化铝基体送入第一镀膜工艺腔室内,采用中频磁控溅射方式在高纯烧结氧化铝基体的表面沉积形成非晶态氧化铝过渡层;步骤S11,将含有非晶态氧化铝过渡层的高纯烧结氧化铝基体传输至冷却室内,进行静置冷却至预设温度;步骤S12,将冷却后的高纯烧结氧化铝基体传输至第二镀膜工艺腔室内,采用中频磁控溅射方式在非晶态氧化铝过渡层的表面沉积形成氧化钇涂层。本发明通过在高纯烧结氧化铝基体的表面沉积非晶态氧化铝过渡层,以降低高纯烧结氧化铝基体的表面粗糙度,使得后续沉积的氧化钇涂层的表面粗糙度降低,从而提高氧化钇涂层的耐等离子体刻蚀性能。
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公开(公告)号:CN114318309A
公开(公告)日:2022-04-12
申请号:CN202111583567.2
申请日:2021-12-22
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开一种基于旋涂法制备的MXene涂层及其在阻氢过程中的应用。该方法为:将MXene悬浮液稀释为MXene胶体溶液;将线切割获得的基体抛光清洁后置于匀胶机托片上,在其表面滴加MXene胶体溶液进行旋涂,在空气中风干得到涂层;将涂层放入电化学氢渗透测试装置中,阳极池无涂层侧加入瓦特镀镍液镀镍;镀镍后将阳极池的溶液更换为NaOH溶液,施加正恒定电位记录阴极侧的电流密度变化;电流稳定后,在阴极池加入电解液,加载电流开始充氢。本发明采用旋涂法制备MXene涂层,该方法操作简单、重复性高、可用于工业化大规模生产,制备的MXene涂层厚度可控、具有良好的阻氢性能,在阻氢涂层领域具有工业应用潜力。
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公开(公告)号:CN113402945A
公开(公告)日:2021-09-17
申请号:CN202110572470.5
申请日:2021-05-25
Applicant: 华南理工大学
IPC: C09D163/00 , C09D7/62 , C09D5/18 , C09D5/08
Abstract: 本发明提供了一种改性绢云母‑环氧树脂复合涂料及制备方法,该复合涂料包括质量配比如下的组分:环氧树脂10~15份,改性绢云母1~15份,去离子水70~89份,所述环氧树脂为水基阴极环氧树脂电泳乳液,所述改性绢云母为经过KH550修饰后的改性绢云母。同时还提供了一种改性绢云母‑环氧树脂复合涂料制备复合涂层的方法,通过该方法将改性绢云母片层的引入复合涂层中,可以弥补环氧树脂涂层结构中的缺陷同时,改性绢云母的二维片层结构与环氧树脂通过化学键合交联,在复合涂层中形成物理阻隔层,阻止腐蚀介质和氧气的渗透,从而提高复合涂层的力学性能、耐腐蚀性能和阻燃性能。
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公开(公告)号:CN119729979A
公开(公告)日:2025-03-28
申请号:CN202411930201.1
申请日:2024-12-26
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 一种无线自供电等离子体密度测试系统及测试方法,该测试系统包括无线自供电装置,langmuir探针,以及接收终端;无线自供电装置包括阴极电子收集元件以及电路板;langmuir探针的一端安装在电路板的探针接口中,另一端延伸至待测试的等离子体中;电路板中依序设有电性连接的滤波稳压模块、降压模块、主控芯片、增压模块、运算放大模块以及电流电压监测模块;电流电压监测模块的输入端与运算放大模块的输出端连接,同时该输入端通过采样电阻和排针与langmuir探针连接。本发明通过在磁控溅射腔体内部实现无源自供电,且电压不需要在外部进行调节,同时通过无线传输方式将测得的电流值和电压值传给外部的接收终端,整个过程无需布线以及定制真空腔体,以节约成本。
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公开(公告)号:CN118326354B
公开(公告)日:2024-09-17
申请号:CN202410488059.3
申请日:2024-04-23
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 一种无线自供电装置、无线测温系统及无线测温方法,该无线自供电装置,包括阴极电子收集元件以及电路板;电路板安装在接地基台上,电路板的负极与阴极电子收集元件电性连接,电路板的正极与接地基台电性连接;电路板中设有滤波稳压电路。本发明通过无线自供电装置在镀膜腔体内部收集电子以形成自供电电源,无需电池供电,避免了在真空等离子体环境使用锂电池的风险;无线自供电装置安装在接地基台上且正对溅射阴极设置,同时还可以随着接地基台进行移动,使得测温精度较高;通过无线控制传输模块将温度传感器监测的温度数据信号,以无线方式传输至接收终端进行呈现,无需布线,从而简化测温结构;整个装置结构简单,安装和维护成本低。
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公开(公告)号:CN118308699B
公开(公告)日:2024-09-06
申请号:CN202410423728.9
申请日:2024-04-09
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 一种超低应力金属薄膜的制备方法,包括以下步骤:将超声清洗干燥后的非金属基底放入磁控溅射镀膜机的样品台上,进行等离子体清洗;在等离子体清洗后的非金属基底的表面上,通过第一阴极电源沉积多层厚度相同的单金属过渡层,以得到预设厚度的金属过渡层;在金属过渡层的表面上,通过第二阴极电源沉积多层单金属膜层,以得到预设厚度的金属薄膜,且相邻的三层单金属膜层中,有两层单金属膜层采用的溅射功率相等。本发明通过将金属过渡层设计为多层纳米单金属过渡层,可以降低非金属基底与金属过渡层界面处的残余应力梯度,从而增强界面处的相互作用,通过混合功率将金属薄膜设计为多层纳米单金属膜层,可以分散金属薄膜的热应力变形,有效降低金属薄膜的残余应力,从而实现残余应力的可控性。
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公开(公告)号:CN118326354A
公开(公告)日:2024-07-12
申请号:CN202410488059.3
申请日:2024-04-23
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 一种无线自供电装置、无线测温系统及无线测温方法,该无线自供电装置,包括阴极电子收集元件以及电路板;电路板安装在接地基台上,电路板的负极与阴极电子收集元件电性连接,电路板的正极与接地基台电性连接;电路板中设有滤波稳压电路。本发明通过无线自供电装置在镀膜腔体内部收集电子以形成自供电电源,无需电池供电,避免了在真空等离子体环境使用锂电池的风险;无线自供电装置安装在接地基台上且正对溅射阴极设置,同时还可以随着接地基台进行移动,使得测温精度较高;通过无线控制传输模块将温度传感器监测的温度数据信号,以无线方式传输至接收终端进行呈现,无需布线,从而简化测温结构;整个装置结构简单,安装和维护成本低。
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公开(公告)号:CN116555858A
公开(公告)日:2023-08-08
申请号:CN202310355507.8
申请日:2023-04-03
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于铝合金表面微弧氧化陶瓷复合涂层及制备方法。包括以下步骤:对铝合金表面进行打磨处理,以无水乙醇清洗打磨后的铝合金并室温干燥;电解液选取去离子水作为溶剂,硅酸钠和六偏磷酸钠作为基础电解质,不同浓度六方氮化硼作为复合的第二相颗粒;用机械搅拌和超声充分分散六方氮化硼;二维片状结构的六方氮化硼能够填充封堵由于微弧氧化技术本身的放电特性导致的微孔隙和微裂纹,迟滞延缓腐蚀介质对涂层的渗透。本发明制备的复合陶瓷涂层制备简单,可重复性强,是具有良好的耐蚀耐磨性能的复合功能性涂层,在铝合金防护和性能提升领域具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号:CN113463052B
公开(公告)日:2022-06-21
申请号:CN202110756278.1
申请日:2021-07-05
Applicant: 华南理工大学
IPC: C23C14/35
Abstract: 一种超声清洁高效散热型磁控溅射阴极,包括安装组件,以及设于安装组件上的屏蔽罩,屏蔽罩内由上至下依序安装靶材组件、超声清洁冷却组件、磁性组件以及磁短路组件;超声清洁冷却组件包括冷却元件和导热元件,以及设于冷却元件外侧壁上的多个超声振子;冷却元件的顶部内凹形成供冷却介质通过的冷却流道,导热元件的底部设有多个外凸且延伸至冷却流道中的导热柱。本发明通过导热元件将靶材组件的热量快速导出至导热柱中,冷却流道中的冷却介质迅速与导热柱中的热量进行热交换,从而提高散热效果,此外,可以通过超声振子对冷却流道中产生的水垢及靶材表面的颗粒物进行自动清洁,从而提高冷却效率、减少靶材打火,提高沉积涂层速率及质量。
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公开(公告)号:CN113072063A
公开(公告)日:2021-07-06
申请号:CN202010666175.1
申请日:2020-07-10
Applicant: 华南理工大学
IPC: C01B32/186
Abstract: 一种基于氢储运设备内表面的阻氢涂层及制备方法,该制备方法包括以下步骤:步骤S10,将基体的表面进行逐级打磨抛光并清洗风干后,通过PIII&D沉积技术在基体的表面上注入与沉积催化金属离子,以得到从下往上依序层叠的沉积催化金属层和注入层;步骤S11,采用PECVD方法在注入层的表面原位生长出石墨烯涂层。本发明制备的石墨烯涂层与膜基之间结合力高,阻氢效果良好,能够更好地实现低温常压大面积制备,降低生产成本,且在工件内外表面都可以实现均匀沉积,适用于氢储运设备内表面石墨烯涂层的工业制备。
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