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公开(公告)号：CN115968124B
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202210228991.3
申请日：2022-07-21
Applicant: 华南理工大学
IPC: H05K3/28
Abstract: 本发明提供了利用氮化铝制备电路板防护层的装置及其工艺，包括底座，所述底座的一端设有电路板定位机构，所述电路板定位机构的一侧、所述底座的中部设有流延加注机构，所述流延加注机构的一端设于注射机构的输出端，所述注射机构固定连接于所述底座的另一端，该发明通过注射机构将真空除泡后的流延浆料宋哲软管送入流延加注针管中，在流延加注机构的滑动控制下将流延浆料均匀地铺设在电路板表面，并且在电路板定位机构的夹持中流延浆料不会流至电路板的另一面，减少了物料的浪费，提高了流延质量，大大方便了下一步的工序。
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公开(公告)号：CN119615062A
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202411878116.5
申请日：2024-12-19
Applicant: 华南理工大学 , 广东钇芯微半导体技术有限公司
Abstract: 一种具有自修复性能的铜基氧化钇涂层的制备方法，包括以下步骤：将采用脉冲直流磁控溅射方式在无氧铜基体表面溅射沉积形成氧化钇涂层；将含有氧化钇涂层的无氧铜基体传输至冷却室内，进行静置冷形成涂层基体；将涂层基体送入管式炉内，并向管式炉内通入氩氢混合保护气体，进行高温退火后随炉冷却，以形成自修复性能的铜基氧化钇涂层。本发明自修复性能的铜基氧化钇涂层在开裂后，基底的无氧铜与环境中的氧原子结合生成的氧化铜填补裂缝，形成“镶嵌式”涂层结构，实现了涂层的自修复，阻止了氧化钇涂层的进一步开裂，裂纹处的氧化铜保护层可以有效防止氧气继续渗透到涂层下层和基底，从而减缓涂层的进一步氧化和损伤，提高涂层的使用寿命。
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公开(公告)号：CN119320930A
公开(公告)日：2025-01-17
申请号：CN202411487651.8
申请日：2024-10-24
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 一种耐热冲击氧化铝涂层的制备方法，包括以下步骤：将经过气体离子源轰击清洗后的无氧铜基体送入第一镀膜工艺腔室内，采用双靶材通过脉冲直流磁控溅射方式进行同步溅射，以在无氧铜基体表面形成从纯镍层过渡到纯铬层的镍、铬复合梯度过渡层；将表面沉积镍、铬复合梯度过渡层的无氧铜基体传输至冷却室内，进行静置冷却至预设温度；将冷却后的表面沉积镍、铬复合梯度过渡层的无氧铜基体传输至第二镀膜工艺腔室内，采用中频磁控溅射方式进行溅射，以在镍、铬复合梯度过渡层的表面沉积形成氧化铝涂层。本发明通过在无氧铜基体的表面沉积由纯镍层过渡到纯铬层的复合梯度过渡层，减小了无氧铜基体与氧化铝涂层之间热膨胀系数的变化梯度，降低了在温度升降过程中二者在交界面处的热应力累积，从而提升氧化铝涂层的耐热冲击性能。
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公开(公告)号：CN119031678A
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202411417494.3
申请日：2024-10-11
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于形状记忆效应的主动响应散热型软体驱动器及其制备方法与应用，该主动响应散热型软体驱动器包括以阵列形式排列在一起的多个液晶弹性体腔室，相邻两个液晶弹性体腔室的侧壁粘结在一起，每个液晶弹性体腔室内含有液体散热介质；每个液晶弹性体腔室包括位于底部的液晶弹性体膜，以及倒扣在所述液晶弹性体膜上且与所述液晶弹性体膜紧密贴合在一起的液晶弹性体皿。在受热时，液晶弹性体从永久形状变形为临时形状，液晶弹性体膜的中间部位会凸起变为锥形，对液晶弹性体腔室的内部空间进行挤压，使得液体散热介质从液晶弹性体和液晶弹性皿的贴合处，流到液晶弹性体腔室外，从而实现快速散热；在降温后，液晶弹性体从临时形状恢复成永久形状，可以将液晶弹性体和液晶弹性皿再次通过压力组装，以重新形成液晶弹性体腔室，然后再注入液体散热介质，再次形成主动响应散热型软体驱动器，从而可以重复使用。
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公开(公告)号：CN118308699A
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202410423728.9
申请日：2024-04-09
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 一种超低应力金属薄膜的制备方法，包括以下步骤：将超声清洗干燥后的非金属基底放入磁控溅射镀膜机的样品台上，进行等离子体清洗；在等离子体清洗后的非金属基底的表面上，通过第一阴极电源沉积多层厚度相同的单金属过渡层，以得到预设厚度的金属过渡层；在金属过渡层的表面上，通过第二阴极电源沉积多层单金属膜层，以得到预设厚度的金属薄膜，且相邻的三层单金属膜层中，有两层单金属膜层采用的溅射功率相等。本发明通过将金属过渡层设计为多层纳米单金属过渡层，可以降低非金属基底与金属过渡层界面处的残余应力梯度，从而增强界面处的相互作用，通过混合功率将金属薄膜设计为多层纳米单金属膜层，可以分散金属薄膜的热应力变形，有效降低金属薄膜的残余应力，从而实现残余应力的可控性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117265480B
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202311432105.X
申请日：2023-10-31
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 一种低粗糙度氧化钇涂层的制备方法，包括以下步骤：步骤S10，将经过气体离子源轰击清洗后的高纯烧结氧化铝基体送入第一镀膜工艺腔室内，采用中频磁控溅射方式在高纯烧结氧化铝基体的表面沉积形成非晶态氧化铝过渡层；步骤S11，将含有非晶态氧化铝过渡层的高纯烧结氧化铝基体传输至冷却室内，进行静置冷却至预设温度；步骤S12，将冷却后的高纯烧结氧化铝基体传输至第二镀膜工艺腔室内，采用中频磁控溅射方式在非晶态氧化铝过渡层的表面沉积形成氧化钇涂层。本发明通过在高纯烧结氧化铝基体的表面沉积非晶态氧化铝过渡层，以降低高纯烧结氧化铝基体的表面粗糙度，使得后续沉积的氧化钇涂层的表面粗糙度降低，从而提高氧化钇涂层的耐等离子体刻蚀性能。
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公开(公告)号：CN115957902B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202210356397.2
申请日：2022-04-06
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明提供了一种氮化铝防腐层制备用电喷设备，包括机箱，所述机箱的顶端安装有转动支撑机构，所述转动支撑机构的外部设有加工机构；所述机箱的内部设有支撑座，所述支撑座的上表面安装有旋转接头，所述旋转接头的一侧设有废料收集组件；所述加工机构包括安装于所述机箱上表面的防尘罩，安装于所述防尘罩内部的支撑板，以及安装于所述支撑板一侧表面的电喷喷头；所述转动支撑机构包括安装于所述机箱上表面的支撑环，以及与所述支撑环的上表面滑动连接、且与所述机箱转动连接的支撑盘，所述支撑盘的上表面安装有隔板，所述隔板的两侧均设有工件夹持组件。本发明能够快速将待加工工件挪动至指定的工作位置，以便于进行加工。
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公开(公告)号：CN115957902A
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN202210356397.2
申请日：2022-04-06
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明提供了一种氮化铝防腐层制备用电喷设备，包括机箱，所述机箱的顶端安装有转动支撑机构，所述转动支撑机构的外部设有加工机构；所述机箱的内部设有支撑座，所述支撑座的上表面安装有旋转接头，所述旋转接头的一侧设有废料收集组件；所述加工机构包括安装于所述机箱上表面的防尘罩，安装于所述防尘罩内部的支撑板，以及安装于所述支撑板一侧表面的电喷喷头；所述转动支撑机构包括安装于所述机箱上表面的支撑环，以及与所述支撑环的上表面滑动连接、且与所述机箱转动连接的支撑盘，所述支撑盘的上表面安装有隔板，所述隔板的两侧均设有工件夹持组件。本发明能够快速将待加工工件挪动至指定的工作位置，以便于进行加工。
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公开(公告)号：CN111676499A
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN202010754647.9
申请日：2020-07-30
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 一种基于阴极等离子体电解沉积的阻氢涂层及制备方法，该制备方法包括以下步骤：在电解槽中制备阴极等离子体电解沉积电解液；将表面进行逐级打磨抛光并清洗风干后的基体作为阴极浸入电解液中，与作为阳极的所述电解槽之间形成回路，进行阴极等离子体电解沉积处理，以在所述基体的表面形成含有ZrO2纳米颗粒物和SiC纳米颗粒物的陶瓷涂层；将含有陶瓷涂层的基体进行清洗干燥后，对所述陶瓷涂层的表面采用有机物封孔或溶胶-凝胶封孔，以在所述陶瓷涂层的表面形成封孔层。本发明制备的阻氢涂层与基底的结合强度高，涂层成分可控，基材适用性广，且能够在复杂的工件表面均匀沉积。
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公开(公告)号：CN118147604A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202410322744.9
申请日：2024-03-20
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 一种碳基复合涂层的制备方法，包括以下步骤：步骤S10，在工件基材的表面上依序形成金刚石涂层和催化层；步骤S11，在所述催化层的表面形成石墨烯涂层；步骤S12，去除残留的所述催化层，以在工件基材的表面形成含有金刚石涂层和石墨烯涂层相结合的碳基复合涂层。本发明中，由于采用磁控溅射技术有利于在金刚石涂层的表面均匀地沉积催化层，该催化层为生长更均匀且更完整的石墨烯涂层提供了理想的界面；而混合酸性溶液通过改变各组分比例，以及精细调节混合酸性溶液的腐蚀力度和速度，可以对催化层进行选择性刻蚀而不损伤金刚石和石墨烯涂层，进一步确保了金刚石涂层和石墨烯涂层之间的直接接触，增加了金刚石表面活性位点，有助于与石墨烯形成更多的共价键连接，从而增强碳基复合涂层界面的结合强度，和提高其在高温摩擦条件下的稳定性。
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