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公开(公告)号：CN118326354B
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202410488059.3
申请日：2024-04-23
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 一种无线自供电装置、无线测温系统及无线测温方法，该无线自供电装置，包括阴极电子收集元件以及电路板；电路板安装在接地基台上，电路板的负极与阴极电子收集元件电性连接，电路板的正极与接地基台电性连接；电路板中设有滤波稳压电路。本发明通过无线自供电装置在镀膜腔体内部收集电子以形成自供电电源，无需电池供电，避免了在真空等离子体环境使用锂电池的风险；无线自供电装置安装在接地基台上且正对溅射阴极设置，同时还可以随着接地基台进行移动，使得测温精度较高；通过无线控制传输模块将温度传感器监测的温度数据信号，以无线方式传输至接收终端进行呈现，无需布线，从而简化测温结构；整个装置结构简单，安装和维护成本低。
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公开(公告)号：CN118326354A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410488059.3
申请日：2024-04-23
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 一种无线自供电装置、无线测温系统及无线测温方法，该无线自供电装置，包括阴极电子收集元件以及电路板；电路板安装在接地基台上，电路板的负极与阴极电子收集元件电性连接，电路板的正极与接地基台电性连接；电路板中设有滤波稳压电路。本发明通过无线自供电装置在镀膜腔体内部收集电子以形成自供电电源，无需电池供电，避免了在真空等离子体环境使用锂电池的风险；无线自供电装置安装在接地基台上且正对溅射阴极设置，同时还可以随着接地基台进行移动，使得测温精度较高；通过无线控制传输模块将温度传感器监测的温度数据信号，以无线方式传输至接收终端进行呈现，无需布线，从而简化测温结构；整个装置结构简单，安装和维护成本低。
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