公开(公告)号：CN119729979A

公开(公告)日：2025-03-28

申请号：CN202411930201.1

申请日：2024-12-26

Applicant: 华南理工大学

Inventor： 肖舒 ,  赵升 ,  陈梓铭 ,  张曦月 ,  李思毅 ,  江赛华

IPC: H05H1/00 ,  H04Q9/00 ,  H01J37/34 ,  H02J50/00 ,  C23C14/35 ,  C23C14/54

Abstract: 一种无线自供电等离子体密度测试系统及测试方法，该测试系统包括无线自供电装置，langmuir探针，以及接收终端；无线自供电装置包括阴极电子收集元件以及电路板；langmuir探针的一端安装在电路板的探针接口中，另一端延伸至待测试的等离子体中；电路板中依序设有电性连接的滤波稳压模块、降压模块、主控芯片、增压模块、运算放大模块以及电流电压监测模块；电流电压监测模块的输入端与运算放大模块的输出端连接，同时该输入端通过采样电阻和排针与langmuir探针连接。本发明通过在磁控溅射腔体内部实现无源自供电，且电压不需要在外部进行调节，同时通过无线传输方式将测得的电流值和电压值传给外部的接收终端，整个过程无需布线以及定制真空腔体，以节约成本。