公开(公告)号：CN119040988A

公开(公告)日：2024-11-29

申请号：CN202411263977.2

申请日：2024-09-10

Applicant: 华南理工大学

Inventor： 肖舒 ,  叶子硕 ,  赵升 ,  张虎 ,  江赛华

IPC: C25D11/12 ,  C25D11/06

Abstract: 一种铝合金表面耐氟腐蚀微弧氧化涂层的制备方法，包括以下步骤：在铝合金基体的表面形成钝化膜；冲洗并干燥；在钝化膜的表面形成耐氟腐蚀微弧氧化涂层。本发明采用两步微弧氧化法，第一步微弧氧化在铝合金表面形成一层钝化膜，通过钝化膜避免高电导率掺杂Y3+电解液中无法起弧导致微弧氧化失败；第二步微弧氧化通过在电解液中掺杂Y3+，以影响涂层的等离子体放电的效率，减小涂层氧空位的形成，从而形成更稳定的电子和离子传输放电通道，提高MAO涂层表面致密度，减小缺陷裂纹，同时，钇掺杂改变MAO氧化铝的表面结构，且腐蚀产物具有更高的失配程度及界面稳定性，从而提高MAO涂层在氟环境下的抗腐蚀性，且具有良好的耐磨损性能。

公开(公告)号：CN119729979A

公开(公告)日：2025-03-28

申请号：CN202411930201.1

申请日：2024-12-26

Applicant: 华南理工大学

Inventor： 肖舒 ,  赵升 ,  陈梓铭 ,  张曦月 ,  李思毅 ,  江赛华

IPC: H05H1/00 ,  H04Q9/00 ,  H01J37/34 ,  H02J50/00 ,  C23C14/35 ,  C23C14/54

Abstract: 一种无线自供电等离子体密度测试系统及测试方法，该测试系统包括无线自供电装置，langmuir探针，以及接收终端；无线自供电装置包括阴极电子收集元件以及电路板；langmuir探针的一端安装在电路板的探针接口中，另一端延伸至待测试的等离子体中；电路板中依序设有电性连接的滤波稳压模块、降压模块、主控芯片、增压模块、运算放大模块以及电流电压监测模块；电流电压监测模块的输入端与运算放大模块的输出端连接，同时该输入端通过采样电阻和排针与langmuir探针连接。本发明通过在磁控溅射腔体内部实现无源自供电，且电压不需要在外部进行调节，同时通过无线传输方式将测得的电流值和电压值传给外部的接收终端，整个过程无需布线以及定制真空腔体，以节约成本。

公开(公告)号：CN119615062A

公开(公告)日：2025-03-14

申请号：CN202411878116.5

申请日：2024-12-19

Applicant: 华南理工大学 ,  广东钇芯微半导体技术有限公司

Inventor： 肖舒 ,  陈茵婷 ,  刘建诚 ,  赵升 ,  李强

IPC: C23C14/08 ,  C23C14/35 ,  C23C14/02

Abstract: 一种具有自修复性能的铜基氧化钇涂层的制备方法，包括以下步骤：将采用脉冲直流磁控溅射方式在无氧铜基体表面溅射沉积形成氧化钇涂层；将含有氧化钇涂层的无氧铜基体传输至冷却室内，进行静置冷形成涂层基体；将涂层基体送入管式炉内，并向管式炉内通入氩氢混合保护气体，进行高温退火后随炉冷却，以形成自修复性能的铜基氧化钇涂层。本发明自修复性能的铜基氧化钇涂层在开裂后，基底的无氧铜与环境中的氧原子结合生成的氧化铜填补裂缝，形成“镶嵌式”涂层结构，实现了涂层的自修复，阻止了氧化钇涂层的进一步开裂，裂纹处的氧化铜保护层可以有效防止氧气继续渗透到涂层下层和基底，从而减缓涂层的进一步氧化和损伤，提高涂层的使用寿命。