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公开(公告)号：CN109470229A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201811252581.2
申请日：2018-10-25
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: G01C19/5719 , G01C19/5769
Abstract: 本发明公开了一种硅微惯性传感器抗冲击过载的面外止挡结构，通过在传感器敏感结构上、下基底上设置若干个凸点结构作为面外止挡结构，上、下基底上的面外止挡结构位置对应于中间质量块和梁结构在面外冲击时的最大位移处，且以质量块和梁结构为对称分布。本发明的面外止挡结构与质量块和梁结构存在一定间隙，既不影响质量块和梁结构的正常工作，又保证了面外强冲击下质量块在Z轴不会发生大形变，提高了抗冲击过载能力。
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公开(公告)号：CN108346963A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201810093874.4
申请日：2018-01-31
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 球形气室，涉及原子气室制备技术领域；包括主球壳、毛细管和4个通光圆片；其中，主球壳为中空球状结构；毛细管从顶部伸入主球壳的内部；通光圆片为扁柱形结构；4个通光圆片固定安装在主球壳的侧壁内；所述的主球壳的顶部中心位置设置有圆形小孔；毛细管通过圆形小孔深入主球壳内部；所述主球壳的侧壁中心处，均匀环绕设置有4个圆形通光孔；4个通光圆片固定安装在4个通光孔中；本发明提供了高质量的二维通光路径，并有效减缓原子与气室内壁的碰撞弛豫，从而提升原子气室的极化率和宏观自旋弛豫时间。
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公开(公告)号：CN107526092A
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201710599265.1
申请日：2017-07-21
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
CPC classification number: G01S19/47 , G01C21/005 , G01C21/165 , G01S19/49 , G04F5/14 , G04R20/02
Abstract: 本发明提出了一种卫星用微型自主时空确定单元，包括MEMS陀螺、MEMS加速度计、双核处理器、微型原子钟、GNSS射频芯片、通讯接口单元芯片；本发明采用微型自主时空确定单元/卫星导航/星敏感器三种信息融合导航方式,互为补充，联合完成定位、导航和时间同步等功能。实现三轴MEMS陀螺、三轴加速计的正交安装和终端的高度集成，提高终端设备的抗振性，采用刚挠结合板技术，进行终端的三维组装。针对空间使用环境，为了降低过热影响，对显著热源双核处理器采用柔性导热片与结构壳体紧密相连，便于快速传导散热。本发明提出的微型自主时空确定单元，具有精度高、实时性好、抗冲击能力强等优良特性。
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公开(公告)号：CN107298428A
公开(公告)日：2017-10-27
申请号：CN201710511844.6
申请日：2017-06-27
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00206 , B81C1/00865
Abstract: 本发明公开了一种用于SOG-MEMS芯片单元分离的方法，采用背面划切的方案，可动结构不需要进行涂胶保护，避免碎屑的引入，提高成品率；在芯片分离过程中不需要制备复杂的工装，划切后采用圆球在芯片背面滚动按压即可完成，操作过程简单；采SOG-MEMS晶圆片正面粘贴保护陪片，在划切过程中不与了冷却水接触，可有效避免砂轮划切过程中冷却水对可动结构造成损伤。
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公开(公告)号：CN107228979A
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201710399996.1
申请日：2017-05-31
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 一种基于时钟移相的全数字频率测量系统，包括参考时钟模块、计数器模块、触发器模块、时分复用模块、寄存器模块、状态解码模块以及计算模块。参考时钟模块提供多路频率相同，但存在相位差的高频时钟信号，计数器模块对输入信号和一路高频时钟信号进行脉冲值计数。触发器模块、时分复用模块以及寄存器模块，用于锁定、存储在对输入信号进行计数的起始时刻、结束时刻时各路高频时钟的状态向量。状态解码模块对多路高频时钟的状态向量解码，再通过计算模块得到输入信号频率测量值。本发明避免了传统频率测量单纯追求提高时钟频率，来提高频率分辨率的技术方案，将提高时钟频率转换为存在相位差的多路时钟，实现时钟细分，提高频率测量分辨率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107526092B
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201710599265.1
申请日：2017-07-21
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 本发明提出了一种卫星用微型自主时空确定单元，包括MEMS陀螺、MEMS加速度计、双核处理器、微型原子钟、GNSS射频芯片、通讯接口单元芯片；本发明采用微型自主时空确定单元/卫星导航/星敏感器三种信息融合导航方式,互为补充，联合完成定位、导航和时间同步等功能。实现三轴MEMS陀螺、三轴加速计的正交安装和终端的高度集成，提高终端设备的抗振性，采用刚挠结合板技术，进行终端的三维组装。针对空间使用环境，为了降低过热影响，对显著热源双核处理器采用柔性导热片与结构壳体紧密相连，便于快速传导散热。本发明提出的微型自主时空确定单元，具有精度高、实时性好、抗冲击能力强等优良特性。
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公开(公告)号：CN107228979B
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201710399996.1
申请日：2017-05-31
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 一种基于时钟移相的全数字频率测量系统，包括参考时钟模块、计数器模块、触发器模块、时分复用模块、寄存器模块、状态解码模块以及计算模块。参考时钟模块提供多路频率相同，但存在相位差的高频时钟信号，计数器模块对输入信号和一路高频时钟信号进行脉冲值计数。触发器模块、时分复用模块以及寄存器模块，用于锁定、存储在对输入信号进行计数的起始时刻、结束时刻时各路高频时钟的状态向量。状态解码模块对多路高频时钟的状态向量解码，再通过计算模块得到输入信号频率测量值。本发明避免了传统频率测量单纯追求提高时钟频率，来提高频率分辨率的技术方案，将提高时钟频率转换为存在相位差的多路时钟，实现时钟细分，提高频率测量分辨率。
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公开(公告)号：CN108529550B
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201810401013.8
申请日：2018-04-28
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于晶圆键合工艺的圆片级封装MEMS芯片结构及其制造方法，MEMS芯片包括衬底层、器件层、盖帽层三层结构，三层结构键合在一起，形成一个可供器件层上的梳齿微结构移动的空腔结构；衬底层上布有电极图形，并采用共面电极实现空腔结构内的器件层结构与空腔外电极焊盘的互联；在器件层与衬底的键合面上，具有阵列凹坑结构。并且在器件层的键合密封环上有贯通于密封腔内外的凹槽结构，凹槽结构在晶圆键合后将被键合介质与硅的共晶体所填充。该结构有助于提高金‑硅键合强度，并能够有助于提高真空密封的真空度。在该结构的制造工艺中，使用气态HF对键合表面进行处理，去除表面的二氧化硅，保障金‑硅键合强度的同时避免微结构的粘连。
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公开(公告)号：CN109399549A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201811196917.8
申请日：2018-10-15
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 一种微机械静电驱动的直线型梳齿结构，涉及微机械静电驱动技术领域；包括n组相同的直线形梳齿组；n组直线形梳齿组水平均匀分布在外部器件的水平侧壁上；每组直线形梳齿组包括静梳齿和动梳齿；静梳齿和动梳齿为交错配合的E型结构；在外部静电的驱动下；动梳齿沿外部器件的水平侧壁，相对静梳齿进行靠近或远离的直线运动；静梳齿与动梳齿配合时，第一动电极伸入第一定电极和第二定电极之间；第二动电极伸入第二定电极和第三定电极之间；第三动电极设置在第三定电极之间外侧；本发明实现了在于传统技术同样的真空环境和驱动电压下，得到更大的驱动行程，且未增加工艺难度。
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公开(公告)号：CN108328570A
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201810093882.9
申请日：2018-01-31
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: B81C99/00
Abstract: 本发明公开了一种带有薄膜背腔结构的MEMS芯片裂片方法及支撑工装，所述方法包括以下步骤：1)在晶圆正面进行MEMS芯片加工工艺，完成MEMS芯片正面工艺的制备；2)将晶圆正面与玻璃陪片贴在一起，在晶圆背面进行背腔的刻蚀，刻蚀的同时完成刻蚀槽的制备；3)将刻蚀完成的晶圆与玻璃陪片分离，然后将刻蚀完成的晶圆背面贴在UV膜，将晶圆正面朝下放置在支撑工装上，在UV膜面用球形滚动装置顺着刻蚀槽的方向按压滚动，使芯片沿刻蚀槽分开；4)对完成步骤3)的晶圆上粘贴的UV膜进行扩膜，得到MEMS芯片单元。本发明具有成品率高、成本低、效率高、操作简单的特点。
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