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公开(公告)号：CN118225795A
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202410649644.7
申请日：2024-05-24
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开一种用于探测亚表面深度的标定板及其制备方法，涉及光学标定领域，该标定板包括：楔形玻璃、样品颗粒和固定装置；其中，楔形玻璃包括相互平行的第一侧面和第二侧面，相互垂直的第一平面和第二平面，以及一个斜面；第一侧面和第二侧面分别与第一平面、第二平面和斜面连接；斜面分别与第一平面和第二平面连接；第二平面与固定装置固定连接；第一平面与水平面平行；样品颗粒均匀附着在斜面上；样品颗粒为微球颗粒。本发明能够提高对光学元件亚表面探测深度标定的可靠性。
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公开(公告)号：CN115574722B
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202211374220.1
申请日：2022-11-04
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明涉及一种自溯源干涉式位移传感器，涉及位移传感器领域，包括：光源、第一分束器、反射模块、分析器、光电探测器和信号处理器；所述第一分束器用于将光源产生的光进行分束，得到第一衍射光和第二衍射光；所述反射模块设置在所述第一分束器和所述分析器之间；所述反射模块用于将所述第一衍射光和所述第二衍射光反射至所述分析器；所述第一分束器与所述分析器平行；待测物固定在所述分析器上；所述分析器用于将所述反射模块的反射光进行劳厄衍射，得到干涉光；所述光电探测器用于将所述分析器产生的干涉光转换为电信号；所述信号处理器与所述光电探测器连接；所述信号处理器用于根据所述电信号确定位移。本发明能够增大待测物的安装空间。
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公开(公告)号：CN113432961B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202110647765.4
申请日：2021-06-10
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明涉及一种微纳涂层多功能力学试验机及其使用方法，其中微纳涂层多功能力学试验机包括工作台和工件固定装置，工作台上固设有支撑座和液体储存箱，支撑座上设有移动块和驱动移动块沿横向往复移动的横向驱动装置，工件固定装置上方设有摩擦组件以及给摩擦组件提供恒加载力的竖向驱动装置，竖向驱动装置与移动块相对固定设置。本发明通过加载力闭环控制，实现摩擦测试过程中的恒加载力加载实现了精确力度输出；通过摩擦组件与安装杆的插设连接，可以根据测试需求更换不同类型的摩擦组件，提高了试验机的通用性；通过加热装置对工件进行加热，满足了工件在不同温度下的摩擦测试要求；通过设置供液泵和液体储存箱，方便精确控制滴液速度。
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公开(公告)号：CN110967526B
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN201811161139.9
申请日：2018-09-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本申请提供一种扫描探针针尖的制备方法，将探针前驱体以倾斜角度浸入电腐蚀液中，并可依据针尖面型需求驱动探针前驱体在电腐蚀液中做不同方向纳米级移动。在电腐蚀液中静态腐蚀探针前驱体，并实时监测腐蚀时的电解电流，直至腐蚀电流响应跳变，将腐蚀后的探针前躯体以一定倾斜角度移出电腐蚀液。通过扫描探针针尖的制备方法制备扫描探针方便快捷、成本低，特征尺寸及探针针尖几何面型可控。通过实时监测腐蚀时的电解电流是否发生突变，可以更加精准的获得所需纳米功能化的扫描探针，重现性好。
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公开(公告)号：CN114234818A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111552361.3
申请日：2021-12-17
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种激光干涉位移测量系统和方法，利用光纤跳线的出射端面和被测物表面构成开放式法布里珀罗腔，将激光光束在光纤跳线的出射端面与空气端面发生后向菲涅尔反射的部分作为参考光，将透射至被测物表面并反射耦合进光纤跳线的部分作为测量光，使参考光与测量光在光纤跳线内部发生干涉。当被测物发生位移时，法布里珀罗腔的腔长发生相应改变，相当于改变了测量光和参考光之间的光程差，从而导致测量光和参考光的相位差发生变化，最终影响二者的干涉信号，通过干涉信号调理模块和信号解调模块对干涉信号进行处理，计算得到被测物的位移量，从而实现了对位移的非接触、高精度测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113621926A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202110930166.3
申请日：2021-08-13
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明属于耐磨涂层材料制备领域，具体涉及一种低应力类金刚石耐磨涂层及其制备方法。本发明提供的低应力类金刚石耐磨涂层，包括依次层叠的含金属过渡层、纳米金刚石过渡层和类金刚石涂层。本发明利用纳米金刚石过渡层与类金刚石涂层的近同质外延作用，增加类金刚石中碳元素的过饱和度，降低类金刚石涂层沉积难度，同时降低了类金刚石沉积过程中的残余应力，提高类金刚石涂层与纳米金刚石过渡层结合强度。而且，由于引入了纳米金刚石过渡层，在基体和类金刚石涂层之间形成桥梁作用，提升了类金刚石涂层的承载能力。
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公开(公告)号：CN108287126B
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN201810243972.1
申请日：2018-03-23
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01N15/02
Abstract: 本申请提供一种纳米颗粒粒径测量系统，激光光源将激光从入射装置中发出，入射光通过入射光通孔射入散射发生装置。散射发生装置设置有多个入射光通孔与多个出射光通孔。多个入射光通孔与多个所述出射光通孔设置于同一水平面。每个信号探测接收器对应一个所述出射光通孔，用于接收出射光通孔发出的出射光。纳米颗粒粒径测量系统在多个角度上对待测纳米颗粒的同一散射中心进行同时测量，能获得散射中心纳米颗粒的更多有效信息，尤其对于双峰分布的颗粒体系，测量更加准确。此外，纳米颗粒粒径测量系统内设置有偏振光路，通过测量偏振入射光经过散射体后偏振方向的改变，实现对棒状纳米颗粒的长径比的测量求解。
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公开(公告)号：CN111351451A
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN202010298447.7
申请日：2020-04-16
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开一种表面微观形貌测量传感器，用于测量待测工件表面的形貌，包括：触针，用于测量微观形貌；触针轴，一端与所述触针连接，用于在所述触针测量微观形貌时跟随所述触针进行上下移动；磁恒力模块，与所述触针轴的另一端连接，用于调节所述触针与待测工件之间的测量力；触针轴气浮模块，环绕在所述触针轴外围，用于使所述触针轴悬浮；位移测量模块，设置在所述触针轴的正上方，用于测量所述触针轴在垂直方向上的位移。本发明通过触针轴气浮模块在触针轴外表面形成气隙，保证触针轴悬浮且摩擦最小，提高了触针测量的精度。通过磁恒力模块可调整触针与待测工件之间的测量力，以使触针将工件表面形貌更真实的传递给传感器。
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公开(公告)号：CN108917655A
公开(公告)日：2018-11-30
申请号：CN201810818139.5
申请日：2018-07-24
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明公开一种旋转平台，包括固定基座、转台和两个驱动器，固定基座的上表面开设有与转台形状相匹配的凹槽，转台可转动嵌置安装在凹槽内；转台包括中心圆形转子，中心圆形转子的两侧对称设置有两个旋转臂，两个驱动器以中心圆形转子的圆心为中心呈中心对称分布，两个驱动器用于同时驱动两个旋转臂同向旋转；该旋转平台在转动时可避免中心产生平移。本发明还提供一种结构紧凑、受环境影响小、角度分辨率高的多倍程平面干涉角度测量系统，包括上述旋转平台、被测平面镜和测角干涉仪，被测平面镜放置在中心圆形转子的上表面，测角干涉仪设置在旋转平台的一侧。
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公开(公告)号：CN106052570A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610657239.5
申请日：2016-08-11
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于分光激光干涉的六自由度纳米位移台的校准装置，属于激光精密测距技术领域；所述装置包括支撑平台、分光测量装置系统及纳米位移台；这种设计，保证了纳米移动平台6自由度姿态的测量，解决了任意姿态纳米尺度位移测量难题，适用于X轴、Y轴、Z轴和旋转角度的纳米位移台同时变化的全姿态识别与超精密测量校准。
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