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公开(公告)号:CN114088188A
公开(公告)日:2022-02-25
申请号:CN202111401909.4
申请日:2021-11-19
Applicant: 中国计量科学研究院 , 深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明公开了一种振动测量系统,包括:激光器、准直透镜、多象限光电探测器及信号调理电路。其中,激光器用于发射激光光束;准直透镜设置在激光器的输出光路上,用于将激光光束转换成准直光束;多象限光电探测器设置在激光器的输出光路上,且固定在被测物上,用于根据接收的准直光束产生各象限对应的光电流信号;信号调理电路与多象限光电探测器连接,用于根据各象限对应的光电流信号确定被测物的振动信号。本发明结合电测法和光测法的优势,采用多象限光电探测器探测各象限对应的光电流信号,利用信号调理电路对光电流信号进行处理,从而确定被测物的振动信号,测量准确度高、灵敏度高,频率响应范围大。
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公开(公告)号:CN114088188B
公开(公告)日:2024-11-26
申请号:CN202111401909.4
申请日:2021-11-19
Applicant: 中国计量科学研究院 , 深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明公开了一种振动测量系统,包括:激光器、准直透镜、多象限光电探测器及信号调理电路。其中,激光器用于发射激光光束;准直透镜设置在激光器的输出光路上,用于将激光光束转换成准直光束;多象限光电探测器设置在激光器的输出光路上,且固定在被测物上,用于根据接收的准直光束产生各象限对应的光电流信号;信号调理电路与多象限光电探测器连接,用于根据各象限对应的光电流信号确定被测物的振动信号。本发明结合电测法和光测法的优势,采用多象限光电探测器探测各象限对应的光电流信号,利用信号调理电路对光电流信号进行处理,从而确定被测物的振动信号,测量准确度高、灵敏度高,频率响应范围大。
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公开(公告)号:CN114234818A
公开(公告)日:2022-03-25
申请号:CN202111552361.3
申请日:2021-12-17
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种激光干涉位移测量系统和方法,利用光纤跳线的出射端面和被测物表面构成开放式法布里珀罗腔,将激光光束在光纤跳线的出射端面与空气端面发生后向菲涅尔反射的部分作为参考光,将透射至被测物表面并反射耦合进光纤跳线的部分作为测量光,使参考光与测量光在光纤跳线内部发生干涉。当被测物发生位移时,法布里珀罗腔的腔长发生相应改变,相当于改变了测量光和参考光之间的光程差,从而导致测量光和参考光的相位差发生变化,最终影响二者的干涉信号,通过干涉信号调理模块和信号解调模块对干涉信号进行处理,计算得到被测物的位移量,从而实现了对位移的非接触、高精度测量。
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公开(公告)号:CN112902826B
公开(公告)日:2023-01-06
申请号:CN202110441050.3
申请日:2021-04-23
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B7/28
Abstract: 本发明公开一种杠杆式表面轮廓测量传感器,涉及零件几何轮廓测量技术领域,包括杠杆测量模块、测量力恒定控制模块、测量范围调整模块和数据处理模块;杠杆测量模块包括触针、杠杆和支点,杠杆转动安装于支点上,触针安装于杠杆的第一端,用于与被测样品接触,被测样品放置在载物台上;测量力恒定控制模块包括力传感器、力补偿装置和连接杆,力传感器以及力补偿装置均与数据处理模块连接,力传感器安装于载物台的下方,连接杆与杠杆的第二端连接,力补偿装置与连接杆连接;测量范围调整模块与数据处理模块连接,实现测量范围的调整。本发明在测量过程中控制测量力恒定,增加测量结果的真实性与可信度,并且实现对不同范围的轮廓进行高精度测量。
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公开(公告)号:CN112902826A
公开(公告)日:2021-06-04
申请号:CN202110441050.3
申请日:2021-04-23
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B7/28
Abstract: 本发明公开一种杠杆式表面轮廓测量传感器,涉及零件几何轮廓测量技术领域,包括杠杆测量模块、测量力恒定控制模块、测量范围调整模块和数据处理模块;杠杆测量模块包括触针、杠杆和支点,杠杆转动安装于支点上,触针安装于杠杆的第一端,用于与被测样品接触,被测样品放置在载物台上;测量力恒定控制模块包括力传感器、力补偿装置和连接杆,力传感器以及力补偿装置均与数据处理模块连接,力传感器安装于载物台的下方,连接杆与杠杆的第二端连接,力补偿装置与连接杆连接;测量范围调整模块与数据处理模块连接,实现测量范围的调整。本发明在测量过程中控制测量力恒定,增加测量结果的真实性与可信度,并且实现对不同范围的轮廓进行高精度测量。
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公开(公告)号:CN114234818B
公开(公告)日:2023-09-22
申请号:CN202111552361.3
申请日:2021-12-17
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种激光干涉位移测量系统和方法,利用光纤跳线的出射端面和被测物表面构成开放式法布里珀罗腔,将激光光束在光纤跳线的出射端面与空气端面发生后向菲涅尔反射的部分作为参考光,将透射至被测物表面并反射耦合进光纤跳线的部分作为测量光,使参考光与测量光在光纤跳线内部发生干涉。当被测物发生位移时,法布里珀罗腔的腔长发生相应改变,相当于改变了测量光和参考光之间的光程差,从而导致测量光和参考光的相位差发生变化,最终影响二者的干涉信号,通过干涉信号调理模块和信号解调模块对干涉信号进行处理,计算得到被测物的位移量,从而实现了对位移的非接触、高精度测量。
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