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公开(公告)号：CN113514912A
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN202110613851.3
申请日：2021-06-02
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G02B5/18 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本申请涉及一种梯度渐变微纳米光学结构制备方法及其结构。梯度渐变微纳米光学结构制备方法包括：提供衬底；于衬底表面旋涂光刻胶膜层；根据光刻掩模版，对光刻胶膜层进行第一次光刻，形成多个光刻胶结构；采用回流工艺对多个光刻胶结构进行处理，形成多个梯度渐变光刻胶结构；对多个梯度渐变光刻胶结构进行第二次光刻，形成多个梯度光刻胶微结构；采用压印工艺，将多个梯度光刻胶微结构的结构形状进行转移，形成多个梯度渐变微结构模具；根据多个梯度渐变微结构模具，制备形成梯度渐变微纳米光学结构，可以满足梯度渐变高分辨率微纳米结构的加工需求，解决了梯度渐变的纳米光栅、梯度渐变的超表面、梯度等效折射率的纳米光电器件加工难题。
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公开(公告)号：CN113514912B
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202110613851.3
申请日：2021-06-02
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G02B5/18 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本申请涉及一种梯度渐变微纳米光学结构制备方法及其结构。梯度渐变微纳米光学结构制备方法包括：提供衬底；于衬底表面旋涂光刻胶膜层；根据光刻掩模版，对光刻胶膜层进行第一次光刻，形成多个光刻胶结构；采用回流工艺对多个光刻胶结构进行处理，形成多个梯度渐变光刻胶结构；对多个梯度渐变光刻胶结构进行第二次光刻，形成多个梯度光刻胶微结构；采用压印工艺，将多个梯度光刻胶微结构的结构形状进行转移，形成多个梯度渐变微结构模具；根据多个梯度渐变微结构模具，制备形成梯度渐变微纳米光学结构，可以满足梯度渐变高分辨率微纳米结构的加工需求，解决了梯度渐变的纳米光栅、梯度渐变的超表面、梯度等效折射率的纳米光电器件加工难题。
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公开(公告)号：CN111864535B
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202010575729.7
申请日：2020-06-22
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: H01S5/0683
Abstract: 本发明涉及一种光频梳器件和光频梳器件的制作方法，所述介质层设置于所述衬底层的表面。所述光频梳层设置于所述介质层远离所述衬底的表面。所述介质层与所述光频梳层接触的表面设置有应力释放单元。所述应力释放单元包括V形结构。所述V形结构较大程度上阻挡了应力产生的方向和路径，从所述氮化硅薄膜传递到所述介质层表面的应力会被所述V形结构阻挡，从而可以避免所述介质层和所述氮化硅薄膜开裂，进而可以提高产品良率。
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公开(公告)号：CN108917655B
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201810818139.5
申请日：2018-07-24
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明公开一种旋转平台，包括固定基座、转台和两个驱动器，固定基座的上表面开设有与转台形状相匹配的凹槽，转台可转动嵌置安装在凹槽内；转台包括中心圆形转子，中心圆形转子的两侧对称设置有两个旋转臂，两个驱动器以中心圆形转子的圆心为中心呈中心对称分布，两个驱动器用于同时驱动两个旋转臂同向旋转；该旋转平台在转动时可避免中心产生平移。本发明还提供一种结构紧凑、受环境影响小、角度分辨率高的多倍程平面干涉角度测量系统，包括上述旋转平台、被测平面镜和测角干涉仪，被测平面镜放置在中心圆形转子的上表面，测角干涉仪设置在旋转平台的一侧。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110967527A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201811161314.4
申请日：2018-09-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本申请提供一种扫描探针针尖的制备装置，通过所述第一密封板与所述第二密封板对所述反应器进行密封，可以为制备扫描探针提供一个密闭环境。并且，所述反应器的管壁周围设置有冷淋结构，用以确保所述反应器内的温度恒定。所述扫描探针针尖的制备装置通过所述电极、所述电源控制模块以及所述采样电阻，可以实时监测腐蚀时的电解电流，直至腐蚀电流响应跳变，将腐蚀后的所述探针前躯体移出所述电腐蚀液，即可获得扫描探针。通过实时监测腐蚀时的电解电流是否发生突变，可以更加精准的获得所需扫描探针，重现性好，针尖形貌及关键尺寸精确可控。
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公开(公告)号：CN110967526A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201811161139.9
申请日：2018-09-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本申请提供一种扫描探针针尖的制备方法，将探针前驱体以倾斜角度浸入电腐蚀液中，并可依据针尖面型需求驱动探针前驱体在电腐蚀液中做不同方向纳米级移动。在电腐蚀液中静态腐蚀探针前驱体，并实时监测腐蚀时的电解电流，直至腐蚀电流响应跳变，将腐蚀后的探针前躯体以一定倾斜角度移出电腐蚀液。通过扫描探针针尖的制备方法制备扫描探针方便快捷、成本低，特征尺寸及探针针尖几何面型可控。通过实时监测腐蚀时的电解电流是否发生突变，可以更加精准的获得所需纳米功能化的扫描探针，重现性好。
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公开(公告)号：CN110967330A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201811162987.1
申请日：2018-09-30
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01N21/65
Abstract: 本申请提供一种微区共焦拉曼光谱探测系统，通过第一分光单元以及第二分光单元实现了透射式的光路结构，使得拉曼散射光经过透射，传输至第一光谱探测单元与第二光谱探测单元进行拉曼光谱探测。经第一分光单元与第二分光单元可以分离出的第一路散射光与第二路散射光沿原路返回，沿光路传输至第一棱镜。并且，通过扫描探针可以增强拉曼散射，用以激发出样品的散射光，使得样品表面或近表面的电磁场的增强导致吸附分子的拉曼散射信号比普通拉曼散射信号大大增强，实现了在微区拉曼光谱中精确共焦、高空间分辨率以及高拉曼光谱分辨率的探测。
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公开(公告)号：CN110967526B
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN201811161139.9
申请日：2018-09-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本申请提供一种扫描探针针尖的制备方法，将探针前驱体以倾斜角度浸入电腐蚀液中，并可依据针尖面型需求驱动探针前驱体在电腐蚀液中做不同方向纳米级移动。在电腐蚀液中静态腐蚀探针前驱体，并实时监测腐蚀时的电解电流，直至腐蚀电流响应跳变，将腐蚀后的探针前躯体以一定倾斜角度移出电腐蚀液。通过扫描探针针尖的制备方法制备扫描探针方便快捷、成本低，特征尺寸及探针针尖几何面型可控。通过实时监测腐蚀时的电解电流是否发生突变，可以更加精准的获得所需纳米功能化的扫描探针，重现性好。
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公开(公告)号：CN108917655A
公开(公告)日：2018-11-30
申请号：CN201810818139.5
申请日：2018-07-24
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明公开一种旋转平台，包括固定基座、转台和两个驱动器，固定基座的上表面开设有与转台形状相匹配的凹槽，转台可转动嵌置安装在凹槽内；转台包括中心圆形转子，中心圆形转子的两侧对称设置有两个旋转臂，两个驱动器以中心圆形转子的圆心为中心呈中心对称分布，两个驱动器用于同时驱动两个旋转臂同向旋转；该旋转平台在转动时可避免中心产生平移。本发明还提供一种结构紧凑、受环境影响小、角度分辨率高的多倍程平面干涉角度测量系统，包括上述旋转平台、被测平面镜和测角干涉仪，被测平面镜放置在中心圆形转子的上表面，测角干涉仪设置在旋转平台的一侧。
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