公开(公告)号：CN115574722A

公开(公告)日：2023-01-06

申请号：CN202211374220.1

申请日：2022-11-04

Applicant: 中国计量科学研究院

Inventor： 施玉书 ,  张树 ,  阎晗

IPC: G01B11/02 ,  G01B9/02

Abstract: 本发明涉及一种自溯源干涉式位移传感器，涉及位移传感器领域，包括：光源、第一分束器、反射模块、分析器、光电探测器和信号处理器；所述第一分束器用于将光源产生的光进行分束，得到第一衍射光和第二衍射光；所述反射模块设置在所述第一分束器和所述分析器之间；所述反射模块用于将所述第一衍射光和所述第二衍射光反射至所述分析器；所述第一分束器与所述分析器平行；待测物固定在所述分析器上；所述分析器用于将所述反射模块的反射光进行劳厄衍射，得到干涉光；所述光电探测器用于将所述分析器产生的干涉光转换为电信号；所述信号处理器与所述光电探测器连接；所述信号处理器用于根据所述电信号确定位移。本发明能够增大待测物的安装空间。

公开(公告)号：CN115574722B

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202211374220.1

申请日：2022-11-04

Applicant: 中国计量科学研究院

Inventor： 施玉书 ,  张树 ,  阎晗

IPC: G01B11/02 ,  G01B9/02

Abstract: 本发明涉及一种自溯源干涉式位移传感器，涉及位移传感器领域，包括：光源、第一分束器、反射模块、分析器、光电探测器和信号处理器；所述第一分束器用于将光源产生的光进行分束，得到第一衍射光和第二衍射光；所述反射模块设置在所述第一分束器和所述分析器之间；所述反射模块用于将所述第一衍射光和所述第二衍射光反射至所述分析器；所述第一分束器与所述分析器平行；待测物固定在所述分析器上；所述分析器用于将所述反射模块的反射光进行劳厄衍射，得到干涉光；所述光电探测器用于将所述分析器产生的干涉光转换为电信号；所述信号处理器与所述光电探测器连接；所述信号处理器用于根据所述电信号确定位移。本发明能够增大待测物的安装空间。