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公开(公告)号：CN110967526B
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN201811161139.9
申请日：2018-09-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本申请提供一种扫描探针针尖的制备方法，将探针前驱体以倾斜角度浸入电腐蚀液中，并可依据针尖面型需求驱动探针前驱体在电腐蚀液中做不同方向纳米级移动。在电腐蚀液中静态腐蚀探针前驱体，并实时监测腐蚀时的电解电流，直至腐蚀电流响应跳变，将腐蚀后的探针前躯体以一定倾斜角度移出电腐蚀液。通过扫描探针针尖的制备方法制备扫描探针方便快捷、成本低，特征尺寸及探针针尖几何面型可控。通过实时监测腐蚀时的电解电流是否发生突变，可以更加精准的获得所需纳米功能化的扫描探针，重现性好。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110967528B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN201811166846.7
申请日：2018-09-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本申请涉及一种扫描探针。所述扫描探针包括第一延伸体、第二延伸体和第三延伸体。所述第一延伸体、所述第二延伸体和所述第三延伸体依次连接。所述第一延伸体的横截面积、所述第二延伸体的横截面积和所述第三延伸体的横截面积依次减小。所述第一延伸体、所述第二延伸体和所述第三延伸体依次连接，且所述第一延伸体的横截面积、所述第二延伸体的横截面积和所述第三延伸体的横截面积依次减小可以通过结构的几何级联获得纳米级联场增强。
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公开(公告)号：CN110967528A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201811166846.7
申请日：2018-09-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本申请涉及一种扫描探针。所述扫描探针包括第一延伸体、第二延伸体和第三延伸体。所述第一延伸体、所述第二延伸体和所述第三延伸体依次连接。所述第一延伸体的横截面积、所述第二延伸体的横截面积和所述第三延伸体的横截面积依次减小。所述第一延伸体、所述第二延伸体和所述第三延伸体依次连接，且所述第一延伸体的横截面积、所述第二延伸体的横截面积和所述第三延伸体的横截面积依次减小可以通过结构的几何级联获得纳米级联场增强。
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公开(公告)号：CN107102174A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201710344657.3
申请日：2017-05-16
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01Q70/16
CPC classification number: G01Q70/16
Abstract: 一种用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作方法，通过电化学反应使金属丝一端形成尖锐的针尖；阻止已形成的针尖继续被腐蚀；使金属丝其他部分形成特殊几何形貌的轮廓；其制备装置包括底座、支撑立柱、钨丝定位装置、安装基板和电解槽定位装置，在底座上垂直固定有两个相互平行的支撑立柱和电解槽定位装置，两个支撑立柱的上部固定有安装基板，在安装基板上装有金属丝定位装置；还配备有电解电源和控制装置。实现了精确地控制用于制备探针的金属丝的位移；对电化学反应状态和终点进行准确的探测与控制。具有低成本、高精度地批量制作各类具有特殊形貌轮廓的优点。
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公开(公告)号：CN110967526A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201811161139.9
申请日：2018-09-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本申请提供一种扫描探针针尖的制备方法，将探针前驱体以倾斜角度浸入电腐蚀液中，并可依据针尖面型需求驱动探针前驱体在电腐蚀液中做不同方向纳米级移动。在电腐蚀液中静态腐蚀探针前驱体，并实时监测腐蚀时的电解电流，直至腐蚀电流响应跳变，将腐蚀后的探针前躯体以一定倾斜角度移出电腐蚀液。通过扫描探针针尖的制备方法制备扫描探针方便快捷、成本低，特征尺寸及探针针尖几何面型可控。通过实时监测腐蚀时的电解电流是否发生突变，可以更加精准的获得所需纳米功能化的扫描探针，重现性好。
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公开(公告)号：CN206876728U
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201720540407.2
申请日：2017-05-16
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01Q70/16
Abstract: 一种用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作装置，包括底座、支撑立柱、钨丝定位装置、安装基板和电解槽定位装置，在底座上垂直固定有两个相互平行的支撑立柱和电解槽定位装置，两个支撑立柱的上部固定有安装基板，在安装基板上装有金属丝定位装置；还配备有电解电源和控制装置。本实用新型实现了精确地控制用于制备探针的金属丝的位移；对电化学反应状态和终点进行准确的探测与控制。具有低成本、高精度地批量制作各类具有特殊形貌轮廓的优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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