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公开(公告)号：CN102959684A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201180030788.5
申请日：2011-06-24
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: H01L21/225 , C03C8/18 , H01L31/04
CPC classification number: H01L21/2225 , C03C3/16 , C03C8/04 , C03C8/08 , C03C8/16 , H01L21/2255 , H01L31/0288 , H01L31/1804 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 一种杂质扩散层形成组合物，其含有：含施主元素或受主元素的玻璃粉末和分散介质，其中，上述玻璃粉末的含有比率为1质量％以上且90质量％以下的范围。在杂质扩散层形成组合物为n型扩散层形成组合物时，上述玻璃粉末含有施主元素，在杂质扩散层形成组合物为p型扩散层形成组合物时，上述玻璃粉末含有受主元素。通过涂布该杂质扩散层形成组合物并进行热扩散处理，从而制造n型扩散层或p型扩散层，并且制造具有n型扩散层或p型扩散层的太阳能电池元件。
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公开(公告)号：CN101903959B
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN200880121523.4
申请日：2008-12-17
Applicant: 日立化成工业株式会社
CPC classification number: H05K3/182 , C23C18/1601 , C23C18/1603 , C23C18/1633 , C23C18/1635 , C23C18/1637 , C23C18/1824 , C23C18/1872 , C23C18/30 , C23C18/40 , H01L24/29 , H01L2224/29 , H01L2224/2919 , H01L2224/29294 , H01L2224/29347 , H01L2224/8384 , H01L2924/00013 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01019 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01044 , H01L2924/01045 , H01L2924/01046 , H01L2924/01047 , H01L2924/0105 , H01L2924/0106 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/0665 , H01L2924/09701 , H01L2924/12042 , H01L2924/19043 , H01L2924/203 , H05K3/105 , H05K3/1241 , H05K2203/0315 , H05K2203/0709 , H05K2203/1157 , H05K2203/125 , Y10T428/12014 , Y10T428/12903 , H01L2924/00 , H01L2924/00014 , H01L2224/29099 , H01L2224/29199 , H01L2224/29299 , H01L2224/2929 , H01L2924/0002
Abstract: 本发明提供一种导电性及布线图案形成优良的、即使布线宽度及布线间空间变窄电路间的绝缘也不降低的铜导体膜及其制造方法、以及图案形成的铜导体布线。是采用在同一溶液中含有使铜氧化物离子化或络合化的药剂、和将铜离子或铜络合物还原成金属铜的还原剂的处理液，对同时含有相对于还原剂具有催化活性的金属、和铜氧化物而成的含铜系粒子层进行处理而成的导体膜及其制造方法，并且是通过印刷图案形成有含铜系粒子层、并通过采用同时在同一溶液中含有使铜氧化物离子化或络合化的药剂、和将铜离子或铜络合物还原成金属铜的还原剂的溶液的处理方法对该图案形成的含粒子层进行处理而得到的铜导体布线。
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公开(公告)号：CN102834898A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201180018428.3
申请日：2011-04-22
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: H01L21/225 , C03C8/18 , H01L31/04
CPC classification number: H01L31/1804 , C03C3/06 , C03C3/062 , C03C3/074 , C03C3/097 , C03C3/16 , C03C8/08 , C03C8/16 , H01L21/2225 , H01L21/2255 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 本发明提供一种n型扩散层形成组成物，其构成含有包含施主元素且软化温度为300℃～950℃的玻璃粉末和分散介质。通过涂布该n型扩散层形成组成物，实施热扩散处理，可制造n型扩散层及具有n型扩散层的太阳能电池元件。
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公开(公告)号：CN1290162C
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN02800353.5
申请日：2002-02-20
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: H01L21/304 , C09K3/14 , B24B37/00
CPC classification number: C09K3/1454 , C01F17/0043 , C01G25/00 , C01P2004/62 , C01P2004/64 , C01P2006/10 , C01P2006/12 , C09G1/02 , C09K3/1436 , C09K3/1463 , H01L21/31053
Abstract: 本发明涉及半导体制造工序等中适于基片表面平坦化用CMP技术的抛光剂和抛光方法。抛光剂是含有粒子和将上述粒子至少部分分散的介质的抛光剂，上述粒子是下列之一：(1)从氧化铈、卤化铈和硫化铈中选择的，密度为3～6克/立方厘米而且次级粒子平均粒径为1～300纳米的铈化合物，(2)四价金属氧化物。使用这种抛光剂抛光的抛光方法，活用抛光剂中粒子的化学作用并且尽量减小机械作用，藉此能够兼容粒子引起的抛光损伤减少和抛光速度提高。
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公开(公告)号：CN1795543A
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：CN200480014467.6
申请日：2004-05-28
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: H01L21/304 , B24B37/00 , C09K3/14
CPC classification number: H01L21/31053 , C09G1/02 , C09K3/1454
Abstract: 本发明涉及一种研磨剂，其包含在介质中分散有4价金属氢氧化物粒子的研浆和添加剂，所述添加剂为含有从由通式(I)以及通式(II)所表示的单体中选出的至少一种单体成分的聚合物。通式(I)中R1表示氢、甲基、苯基、苯甲基、氯基、二氟甲基、三氟甲基、氰基，R2、R3分别表示独立的氢或C2～C18的烷基链、羟甲基、乙酰基、双丙酮基，但不包括两个均为氢的情况。通式(II)中，R1与通式(I)一样，R4表示吗啉基、硫化吗啉基、吡咯烷基、哌啶基。本发明提供的研磨剂，由粒子与被研磨膜形成化学反应层，由于粒子非常小的机械作用和研磨垫的机械除去而不产生研磨损伤，并通过添加剂来实现高平坦化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1457506A
公开(公告)日：2003-11-19
申请号：CN02800353.5
申请日：2002-02-20
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: H01L21/304 , C09K3/14 , B24B37/00
CPC classification number: C09K3/1454 , C01F17/0043 , C01G25/00 , C01P2004/62 , C01P2004/64 , C01P2006/10 , C01P2006/12 , C09G1/02 , C09K3/1436 , C09K3/1463 , H01L21/31053
Abstract: 本发明涉及半导体制造工序等中适于基片表面平坦化用CMP技术的抛光剂和抛光方法。抛光剂是含有粒子和将上述粒子至少部分分散的介质的抛光剂，上述粒子是下列之一：(1)从氧化铈、卤化铈和硫化铈中选择的，密度为3～6克/立方厘米而且次级粒子平均粒径为1～300纳米的铈化合物，(2)四价金属氧化物。使用这种抛光剂抛光的抛光方法，活用抛光剂中粒子的化学作用并且尽量减小机械作用，藉此能够兼容粒子引起的抛光损伤减少和抛光速度提高。
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公开(公告)号：CN104835724B
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201510193767.5
申请日：2011-01-25
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: H01L21/223 , H01L31/18 , H01L31/068 , H01L21/22
Abstract: 本发明提供一种用于形成p型扩散层的组合物和方法，以及一种用于制备光伏电池的方法。所述组合物在使用硅基板制备光伏电池的工艺过程中能够形成p型扩散层，而不引起硅基板中的内应力和基板的翘曲。根据本发明的用于形成p型扩散层的组合物含有含受体元素的玻璃粉末和分散介质。p型扩散层和具有p型扩散层的光伏电池通过下列方法制备：涂敷用于形成p型扩散层的组合物，随后进行热扩散处理。
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公开(公告)号：CN104835723B
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201510193563.1
申请日：2011-01-25
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: H01L21/22 , H01L31/0224 , H01L31/18 , C03C12/00 , H01B1/22
Abstract: 本发明提供一种用于形成p型扩散层的组合物和方法，以及一种用于制备光伏电池的方法。所述组合物在使用硅基板制备光伏电池的工艺过程中能够形成p型扩散层，而不引起硅基板中的内应力和基板的翘曲。根据本发明的用于形成p型扩散层的组合物含有含受体元素的玻璃粉末和分散介质。p型扩散层和具有p型扩散层的光伏电池通过下列方法制备：涂敷用于形成p型扩散层的组合物，随后进行热扩散处理。
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公开(公告)号：CN102859659B
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201180020188.0
申请日：2011-04-22
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: H01L21/22 , H01L21/225 , H01L31/18 , C03C8/16 , C03C8/18
CPC classification number: H01L31/1864 , C03C8/16 , C03C8/18 , H01L21/2225 , H01L21/2255 , H01L31/022425 , H01L31/032 , H01L31/1804 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 本发明的p型扩散层形成组合物含有：含受体元素并且寿命扼杀剂元素的总量为1000ppm以下的玻璃粉末；和分散介质。通过涂布该p型扩散层形成组合物，实施热扩散处理，从而制造p型扩散层和具有p型扩散层的太阳能电池元件。
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公开(公告)号：CN102870197A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201180020190.8
申请日：2011-04-22
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: H01L21/225 , C03C8/18 , H01L31/04
CPC classification number: H01L31/0288 , C03C3/097 , C03C8/18 , H01L21/04 , H01L21/22 , H01L21/2225 , H01L21/2255 , H01L31/022425 , H01L31/0236 , H01L31/068 , H01L31/18 , H01L31/1804 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 本发明的n型扩散层形成组合物含有：含给体元素并且寿命扼杀剂元素的总量为1000ppm以下的玻璃粉末；和分散介质。通过涂布该n型扩散层形成组合物，实施热扩散处理，从而制造n型扩散层和具有n型扩散层的太阳能电池元件。
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