用于制造侧向绝缘的集成电路芯片的方法

    公开(公告)号:CN109256334A

    公开(公告)日:2019-01-22

    申请号:CN201810771205.8

    申请日:2018-07-13

    Abstract: 本公开的实施例涉及一种用于制造侧向绝缘的集成电路芯片的方法。侧向绝缘的集成电路芯片从半导体晶圆制得。外围沟槽被形成在晶圆中,所述外围沟槽侧向地界定待形成的所述集成电路芯片。所述外围沟槽的深度大于或等于所述集成电路芯片的期望最终厚度。外围沟槽通过重复下列相继步骤的过程而形成:a)使用六氟化硫等离子体进行离子蚀刻;以及b)使用八氟环丁烷等离子体进行钝化。在完成形成所述外围沟槽的步骤时,所述外围沟槽的侧向壁被聚氟乙烯的绝缘层所覆盖。在所述晶圆的较低表面上执行减薄步骤,直到到达所述外围沟槽的底部。所述绝缘层不被移除。

    过电压保护装置
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105990825A

    公开(公告)日:2016-10-05

    申请号:CN201510846197.5

    申请日:2015-11-26

    Abstract: 本申请涉及过电压保护装置。该装置可以用于供电线路中的过电压保护。该装置可以包括导通二极管、与所述导通二极管串联耦合的雪崩二极管以及与所述导通二极管和所述雪崩二极管并联耦合的开关。该装置还可以包括被跨所述雪崩二极管而耦合并被配置为控制所述开关的电路。

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