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公开(公告)号：CN108780770B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN201780015069.3
申请日：2017-02-28
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/22
Abstract: 控制器，使用从第一光传感器及至少一个的第二光传感器中选择的一个光传感器，使基板搬送手往光传感器的光路位于基板载置部的上方且不会与柱部干涉的检测开始位置移动，从检测开始位置使基板搬送手往下方移动至以光传感器检测到物体的检测位置，将基板搬送手位于检测位置时的光传感器距离光路的规定位置基准的高度，作为基板载置部的高度位置加以储存。
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公开(公告)号：CN112585739A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN201980055082.0
申请日：2019-11-05
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/08
Abstract: 一种机器人手，用于与基板的边缘上的至少2个部位抵接从而把持前述基板，其特征在于，具备：基座体，其被规定有使得基板的中心位于沿长度方向延伸的中心线上的把持位置；滑动面，其设置于较前述中心线上的第2抵接部靠基端侧的位置，并能够与第2抵接部一体地移动；以及可动体，其具有设置于较前述中心线上的滑动面靠基端侧的被滑动面，在把持基板时，在前述中心线上向前端侧移动，由此利用被滑动面推压滑动面从而使滑动面和第2抵接部向前端侧移动，在把持基板时，第2抵接部从基板受到反作用力，因此伴随着滑动面在被滑动面上滑动，第2抵接部向基座体侧移动。
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公开(公告)号：CN106104785B
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201480074387.3
申请日：2014-06-27
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/08
Abstract: 本发明涉及一种末端执行器及基板搬送机器人。本发明的末端执行器(700)包括：机器手基部(701)，至少一部分进入至收容在基板收容部的多片基板中的最下段的基板的下方或最上段的基板的上方；基板保持器件(702)，设置在机器手基部(701)，且用以支撑包含最下段的基板或最上段的基板的两片以上的基板；以及突出量变更器件(703)，用以变更基板保持器件(702)从包含与最下段的基板或最上段的基板对向的机器手基部(701)的表面的基准面的突出量。突出量变更器件(703)具有对基板保持器件(702)的整体赋予驱动力的单一的驱动源(706)。
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公开(公告)号：CN108604567A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201780011239.0
申请日：2017-02-20
Applicant: 川崎重工业株式会社
Inventor： 福岛崇行
IPC: H01L21/677 , B25J15/08 , B65G49/07
Abstract: 基板把持手，具备：基座板，规定有中心线和把持位置；设置在基座板的梢端侧的至少一个固定爪，能与位于把持位置的基板的边缘卡合；可动爪，具有能对位于把持位置的基板的边缘作用的作用部，且在比把持位置更靠近基端侧处在中心线上往返移动；推动器，具有能对比垂直姿势的基板的中心更下方的边缘作用的作用部，且在比把持位置更靠近基端侧处与中心线平行地往返移动；致动器，使可动爪及推动器一体地往返移动。以藉由朝向梢端侧进行往动的推动器对基板抬高至把持位置后，藉由进行往动的可动爪及固定爪的协动把持基板的方式，推动器的作用部位于比可动爪的作用部更靠近梢端侧处。
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公开(公告)号：CN105981155B
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201480068130.7
申请日：2014-12-15
Applicant: 川崎重工业株式会社
Inventor： 福岛崇行
IPC: H01L21/68
Abstract: 基板对准装置(1)，具备：多个旋转台(4)，将多片基板水平且上下保持，且绕轴线旋转；旋转驱动装置(2)，使多个旋转台(4)同步旋转；传感器(13)，检测分别保持在多个旋转台(4)的基板的切口(90)；多个支承爪(50)，支承旋转台(4)上的基板的周缘部；支承爪驱动构造体(70)，使多个支承爪(50)在内方位置与外方位置之间个别地水平移动；以及升降装置(30)，使多个支承爪驱动构造体在高位置与低位置之间一起升降。基板对准装置(1)根据由传感器(13)分别检测的切口(90)的位置使旋转驱动装置(2)、支承爪驱动构造体(70)、及升降装置(30)进行既定的动作，该既定的动作包括仅将完成对准的基板从所述旋转台举起的基板举起动作，藉此使多个基板的切口(90)位于基准旋转角度位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103959454B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201280060127.1
申请日：2012-12-18
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67742 , B25J9/0084 , B25J9/009 , B25J15/0052 , H01L21/67781 , H01L21/68707
Abstract: 具备：改变多个基板保持体（10）的间距的支持机构（12）；设置于各基板保持体（10），并以使可动保持构件（24）推压把持基板的形式对可动体（16）施力的施力机构（18）；以及解除由可动保持构件（24）进行的基板的推压把持的推回机构（20）；形成为可以使推回机构（20）的推回部（60）位于与可动体（16）不接触的待机位置的结构。
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公开(公告)号：CN113165189A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980079455.8
申请日：2019-12-04
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J13/08 , H01L21/677 , H01L21/67
Abstract: 本发明涉及基板输送装置及其运行方法，基板输送装置(101)保持并输送基板(1)。该基板输送装置(101)具备保持基板(1)的机械手(20)、安装有机械手(20)的操纵装置(30)、以及配置于机械手(20)并探测距基板(1)的主面的距离的基板检测器(60)。优选基板检测器(60)配置于机械手(20)的前端部。优选基板检测器(60)是静电电容传感器。
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公开(公告)号：CN113056815A
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN201980071498.1
申请日：2019-11-05
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/08
Abstract: 本发明是用于与基板的边缘上的至少两个部位抵接来把持上述基板的机械手，其特征在于，上述机械手具备：基座体，规定基板的中心位于在长度方向上延伸的中心线上那样的把持位置；和旋转部，能够以存在于比上述中心线上的第2抵接部靠基端侧的位置的被支承点为中心，在长度方向与厚度方向相交的平面上与第2抵接部一体地旋转，并且能够与上述第2抵接部一体地移动，在把持基板时，由于第2抵接部从基板受到反作用力，因此旋转部和第2抵接部以被支承点为中心在长度方向与厚度方向相交的平面上向基座体侧一体地旋转。
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公开(公告)号：CN110383453A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201880018228.X
申请日：2018-03-14
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/00 , B65G49/07
Abstract: 一种基板搬送装置，其具备：基板握持手（3）；第一保持构件（4A），其设于基板握持手（3）的梢端部，且具有多个第一爪部；第二保持构件（4B），其设于基板握持手（3）的基端部，且具有多个第二爪部；第一传感器（11A），其设于基板握持手（3）的基端部，且以照射光或超声波并检测基板（9）的形式构成；以及控制装置（200），其使第一传感器（11A）朝向相邻的基板（9）之间的空间照射光或超声波，并判定基板（9）是否受到正常保持。
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公开(公告)号：CN106062943B
公开(公告)日：2018-12-14
申请号：CN201480071011.7
申请日：2014-12-19
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/08
Abstract: 本申请案涉及一种末端执行器及衬底搬送机器人。所述末端执行器(2)具备：多个托板主体(5)；及衬底保持机构(6)，设置在多个托板主体(5)各自的托板末端侧。衬底保持机构(6)具有：衬底载置部，供载置衬底的背面缘部；及衬底抵接部，从衬底载置部的托板末端侧朝上方延伸，并供所述衬底的侧端部抵接。以使衬底不能进入至下侧的托板主体(5)的衬底抵接部的上端与上侧的托板主体(5)的背面之间的方式设定衬底抵接部的高度。在具备能够变更上下方向间距的多个托板的末端执行器中，能够顺利地保持高密度搭载的衬底。
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