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公开(公告)号:CN102944171B
公开(公告)日:2015-05-20
申请号:CN201210405133.8
申请日:2012-10-22
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种芯片位置和倾角检测装置,包括光源组件、光路传输组件、摄像组件以及自准直仪,其中光源组件由分别对应于芯片和基板的第一、第二光源构成;光路传输组件由第一、第二和第三半透半反棱镜以及第一、第二反射镜共同构成,由此在同一光路系统中实现对芯片和基板位置的检测;摄像组件由具备不同视野的第一和第二摄像单元构成,其中第一摄像单元用于采集芯片或基板的大视野图像,根据MARK点实现初步定位,第二摄像单元用于采集其具体位置图像;自准直仪用于获取代表芯片水平倾角信息的法线倾斜量。本发明还公开了相应的检测方法。通过本发明,能够以结构紧凑、便于操作的方式同时实现对准和调平功能,因此尤其适用于芯片贴片等用途。
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公开(公告)号:CN103604947A
公开(公告)日:2014-02-26
申请号:CN201310626331.1
申请日:2013-11-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01P5/22
Abstract: 本发明公开了一种时间分辨率自适应调整的流场状态测量方法,该方法包括如下步骤:首先,根据第k+1时刻图像与第k时刻图像之间的时间间隔Δtk,采集第k+1时刻图像,并对第k时刻和第k+1时刻的图像进行降噪处理;然后,据k时刻图像和第k+1时刻的图像,采用粒子图像测速方法,计算第k+1时刻的流场状态X(k+1),包括:位移场x(k+1)、速度场x′(k+1)、加速度场a(k+1),并输出显示;最后,更新第k+2时刻与第k+1时刻图像采集时间之间的时间差Δtk+1,根据Δtk+1采集第k+2时刻的图像。本发明提供的流场状态测量方法,突破现有技术的单项计算模式,根据流场动态变化,做时间分辨率自适应调整,鲁棒性好,测量精度高。
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公开(公告)号:CN103367208A
公开(公告)日:2013-10-23
申请号:CN201310275947.9
申请日:2013-07-02
Applicant: 华中科技大学
Inventor: 陈建魁 , 李宏举 , 尹周平 , 蔡伟林 , 钟强龙 , 孙湘成 , 陈伟 , 张步阳 , 谢俊 , 马亮 , 吴沛然 , 温雯 , 杨航 , 张前 , 于明浩 , 王冠 , 史明辉
IPC: H01L21/67 , H01L21/603
Abstract: 本发明公开了一种用于高密度芯片的倒装键合平台,包括基座、芯片剥离和翻转单元、XY向运动单元、多自由度键合头和贴装台单元,其中芯片剥离和翻转单元用于将晶圆盘上的芯片分别执行剥离和翻转,并将其送至待拾取位置;多自由度键合头以悬臂形式安装在XY向运动单元的支撑导轨上,并具有主动调平和对准功能;贴装台单元用于吸附基板并与键合头相配合,由此实现芯片与基板之间的相互定位。此外,为了保证各单元高精度的运动或配合,该倒装键合平台中还配置有多套视觉定位系统。通过本发明,能够达到微米级的对准精度,平行调整精度优于0.01度,同时具备结构紧凑、便于操控等优点,因而尤其适用于高密度芯片的倒装键合用途。
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公开(公告)号:CN103018261B
公开(公告)日:2015-03-04
申请号:CN201210498896.1
申请日:2012-11-29
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/956
Abstract: 本发明公开了一种用于RFID天线的外观缺陷检测方法,包括:摄像装置的预标定步骤;将摄像装置移动至所需位置,并通过与条形光源或背光光源之间的配合,对待检测的天线拍摄其图像;采集所拍摄的图像并对其执行边缘检测,由此获得检测图像内的天线数量并分别记录其长、宽和中心点坐标值等信息;以及根据需求,选择性执行线宽检测、图案断线/粘连检测和毛刺/印刷污染检测等项目中的至少一项,由此获知所检测天线的质量结论。本发明还公开了相应的检测系统。通过本发明,能够以结构紧凑、便于操作的方式来对RFID天线执行质量检测,并高效率、高准确性地获知检测结果,同时便于实时反馈和质量控制,因而尤其适用于工业化RFID的加工制造过程。
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公开(公告)号:CN102706887B
公开(公告)日:2014-09-24
申请号:CN201210155932.4
申请日:2012-05-18
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提供一种天线检测设备,用于对RFID天线进行检测,包括:开卷装置、收卷装置和依次布置在两者之间的静夹持组件、真空吸附组件、外观检测装置、电阻检测装置和动夹持组件,开卷装置开卷的天线基板通过动夹持组件输送到检测处,动夹持组件松开,静夹持组件将天线基板夹紧,真空吸附组件天线基板吸附在检测支撑面板上,外观检测装置和电阻检测装置分别进行检测,检测完成后,收卷装置将检测完成的天线基板成卷回收。本发明还公开了一种利用上述设备进行RFID天线检测的步骤。本发明可以实现对RFID天线外形尺寸和包括粘连、毛刺、断连、沙眼等在内的多种缺陷的检测,精度高、效率快,而且适应性强,针对不同种类和大小的RFID天线,均可实现检测。
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公开(公告)号:CN103698554A
公开(公告)日:2014-04-02
申请号:CN201310693222.1
申请日:2013-12-17
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01P5/22
Abstract: 本发明提供一种流场实时精确测量系统及方法。系统,包括示踪粒子发生器、图像处理子系统和PIV测量子系统,示踪粒子发生器设置在待测流场上游,图像处理子系统采集流场中示踪粒子图像,传递给PIV测量子系统。方法,根据前一次测量,计算空间分辨率调整信息和时间分辨率调整信息,调整查询窗口参数和图像采集速度,在后一次测量时,根据调整后的图像采集速度采集流场粒子图像,对该幅图像和上幅图像,采用调整后的查询窗口参数,通过粒子图像测速方法获得当前全流场速度矢量。本发明提供的流场实时精确测量系统及方法,对于流速高,尤其是高超音速流场、变化剧烈的流场进行实时测量,精确度高。
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公开(公告)号:CN103605637A
公开(公告)日:2014-02-26
申请号:CN201310626341.5
申请日:2013-11-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种空间分辨率自适应调整的粒子图像测速矢量估计方法。所述空间分辨率自适应调整的粒子图像测速矢量估计方法,首先对第n时刻和第n+1时刻的图像进行降噪处理,然后根据第n时刻的查询窗口参数更新第n+1时刻的查询窗口参数,最后根据第n+1时刻的查询窗口参数,对第n时刻和第n+1时刻图像进行PIV流场矢量估计,得到全场速度矢量,其中查询窗口参数由人工指定。本发明提供的空间分辨率自适应调整的粒子图像测量方法突破了传统的粒子图像测速方法单向计算的计算模式,能自动适应流畅局部流动的特点,自动调整查询窗口参数,无需人工干预地优化局部查询窗口尺寸和形状,计算的时间复杂度降低,能实现在线查询窗口参数调整,鲁棒性较好,测量精度高。
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公开(公告)号:CN103592766A
公开(公告)日:2014-02-19
申请号:CN201310514065.3
申请日:2013-10-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于增强激光亮度的光学组件及高频脉冲激光光源;光学组件包括用于将多路激光光线合成一束的棱镜组、用于将合束后的激光转换为片激光的柱面透镜组以及用于将片激光进行多次反射使得激光亮度增强的反射镜腔。高频脉冲激光光源包括第一激光器组、第二激光器组、第一组条纹镜、第二组条纹镜、偏振合束原件、半波片、准直透镜组、导光臂、聚焦透镜、柱面透镜组和反射镜腔;当所有的激光器同时激发发光,则能使发出的激光亮度急剧增强,当激光器依次轮流发出激光,则能使发出的激光工作在一个很高的频率。本发明结构简单,控制简单,多个激光器的合成脉冲使得其具有激光脉冲输出频率高,亮度大的优点,可应用于高速相机的照明光源。
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公开(公告)号:CN103021898B
公开(公告)日:2016-03-02
申请号:CN201210549042.1
申请日:2012-12-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种测量平面角度方法、芯片与基板相对倾角测量方法及系统,芯片和基板相对倾角的测量方法包括步骤S21采用标定的方式获得第一基准平面与第二基准平面之间的角度误差;S22根据测量平面角度的方法并结合第一高度传感器测得的高度距离获得芯片与第一基准平面的第一倾角,并根据测量平面角度的方法并结合第二高度传感器测得的高度距离获得基板与第二基准平面的第二倾角;S23将第二倾角、第一倾角和角度误差做向量减法运算获得芯片与基板之间的相对倾角。本发明利用高度传感器测量多点高度测量倾角,进而利用倾角标定的方式可方便、快速、精确的测量芯片与基板的相对倾角;该方法实现简单,测量精度高,测量与调平系统小巧。
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公开(公告)号:CN103465638B
公开(公告)日:2015-12-02
申请号:CN201310352832.5
申请日:2013-08-14
Applicant: 华中科技大学
IPC: B41J3/407
Abstract: 本发明公开了一种基于机器视觉的光栅立体图像平板打印机,用于实现光栅板基体上的立体打印,该打印机包括打印系统、视觉测量系统和纠偏处理系统,其中,所述视觉测量系统用于获得打印系统上的光栅板图像以检测其位置和角度,所述纠偏处理系统根据该位置和角度计算其与打印图像的位置偏差,然后根据该偏差控制所述打印系统作相应的位置纠偏,从而在精确位置进行打印获得立体图像。该发明针对现有光栅立体图像印刷工艺中打印精度低、操作复杂、难以实现自动化等缺陷,采用机器视觉测量定位、机械和视觉辅助纠偏的方法,实现基于光栅板进行立体图像的打印,可提高材料适应性、操作方便、打印精度高。
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