-
公开(公告)号：CN103325674A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201310195128.3
申请日：2013-05-23
Applicant: 厦门大学
IPC: H01L21/3063 , B81C1/00 , C25F3/12
Abstract: 本发明提供了一种复杂三维多级微纳结构的约束刻蚀加工方法，可在具有简单微结构的弹性模板电极上原位屈曲产生复杂多级微纳结构，同时利用约束刻蚀技术将其屈曲得到的复杂多级微纳结构批量复制到基底材料上。所述方法包括：弹性模板电极简单微结构的设计与制备，以使具有简单微结构的模板电极在屈曲时产生所需的复杂三维多级微纳结构；模板电极上应力屈曲的产生及其控制，以使模板电极可控地产生屈曲形变；屈曲结构的复制，利用约束刻蚀技术使模板电极上屈曲得到的多级微纳结构直接复制到刻蚀基底上。
-
公开(公告)号：CN102978592A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201210572072.4
申请日：2012-12-24
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种硅表面湿法沉积金纳米颗粒的方法，涉及一种硅的表面处理。以硅材料作为基底，首先将基底表面进行反复洁净处理，以去除硅表面的有机物、无机物和SiO2氧化层；随后将硅材料直接浸于含有组装分子的无水乙醇溶液中并通氮气或氩气气体保护，进行硅表面分子自组装修饰；最后将经分子自组装修饰的硅材料浸入化学镀金槽内进行湿法还原反应，实现硅表面均匀湿法沉积金纳米颗粒。经过协同、紧凑处理，可以在任何形状硅基底表面上直接得到颗粒细小，分布均匀、细密的金纳米粒子；纳米粒子的粒径约为5～25nm；纳米粒子与硅基底有较好的结合力。
-
公开(公告)号：CN102798735A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201210288539.2
申请日：2012-08-14
Applicant: 厦门大学
IPC: G01Q60/22
Abstract: 本发明提供一种针尖增强暗场显微镜、电化学测试装置和调平系统。本发明的针尖增强暗场显微镜的特征在于，所述针尖增强暗场显微镜使用光纤探针，所述光纤探针的针尖处修饰有金属纳米颗粒，而且入射光在修饰有金属纳米颗粒的光纤探针内部传输，针尖和样品间的距离采用光强控制模式，是一种利用了探针针尖处纳米金属颗粒与金属基底材料近场耦合作用的局域表面等离激元共振暗场耦合装置。该显微镜可用于研究基底表面的双电层结构、吸/脱附行为及多相催化等基础表界面化学问题。另外，基于LSPR距离敏感性原理，针尖增强暗场显微镜可应用于三探针水平传感器对纳米加工平台进行自适应调平。
-
公开(公告)号：CN102059346B
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201010579638.7
申请日：2010-12-08
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种金-二氧化锰核壳结构纳米粒子的制备方法，涉及一种纳米粒子。提供一种金-二氧化锰核壳结构纳米粒子的制备方法，该合成方法具有合成过程简单、周期短和产率高等特点。先制备粒径为20～55nm金纳米粒子，再制备粒径为56～200nm金纳米粒子，最后在金纳米粒子表面生长超薄致密的二氧化锰壳层，得金-二氧化锰核壳结构纳米粒子。在电催化、拉曼光谱检测和有机物污染物处理中有广泛应用前景。
-
公开(公告)号：CN101665962B
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN200910112479.7
申请日：2009-09-04
Applicant: 厦门大学
IPC: C25D3/38
Abstract: 一种钢铁基底上碱性无氰镀铜电镀液及其制备方法，涉及一种电镀液。提供一种钢铁基底上碱性无氰镀铜电镀液及其制备方法。电镀液的组成包括主盐、络合剂、导电盐、活化剂、一价铜离子络合剂、pH稳定剂和光亮剂。在水中加入络合剂，搅拌溶解，得溶液A；在溶液A中加入主盐，搅拌溶解，得溶液B；在水中加入导电盐，搅拌溶解，得溶液C；将溶液B和溶液C混合，用硫酸或氢氧化钠等调pH至2.0～4.5，得溶液D；在溶液D中加入添加剂，加水定容至所需体积的钢铁基底上碱性无氰镀铜电镀液后即可使用，所述添加剂为活化剂、一价铜离子络合剂、pH稳定剂和光亮剂。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102078787A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN201010579701.7
申请日：2010-12-09
Applicant: 厦门大学
IPC: B01J13/02
Abstract: 一种大核二氧化硅包金核壳结构纳米粒子的合成方法，涉及一种核壳结构纳米粒子。提供一种制备的内核金纳米粒子粒径较大，合成过程简单，周期短，产率高的大核二氧化硅包金核壳结构纳米粒子的合成方法。所述大核二氧化硅包金核壳结构纳米粒子的内核为80～200nm金纳米粒子，外层为1～20nm二氧化硅。先合成粒径为12～60nm的金纳米粒子，再将粒径为12～60nm的金纳米粒子作为种子，合成粒径为80～200nm的金纳米粒子，最后在粒径为80～200nm的金纳米粒子表面合成1～20nm二氧化硅壳层。在电催化、生物传感、生物成像以及表面增强拉曼技术中具有广泛应用。
-
公开(公告)号：CN101880907A
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN201010219037.5
申请日：2010-07-07
Applicant: 厦门大学
IPC: C25F3/12 , H01L21/3063
CPC classification number: C25F3/14 , C03C15/02 , C25F3/00 , C25F3/12 , C25F7/00 , H01L21/02024 , H01L21/30604 , H01L21/30612 , H01L21/32115 , H01L21/7684
Abstract: 纳米精度的电化学整平和抛光加工方法及其装置，涉及一种电化学刻蚀整平和抛光技术。装置设有具有纳米平整精度的刀具、可将刻蚀整平剂液层厚度精确控制在纳米尺度内的电化学反应控制体系、溶液循环装置、溶液恒温装置和自动化控制系统。制备具有纳米平整精度的刀具作为电化学工作电极，并与工件置于容器底部；刀具浸入溶液，启动电化学系统，在刀具表面生成刻蚀整平剂，将刀具表面刻蚀整平剂液层压缩至纳米量级厚度，再调控刻蚀整平剂液层厚度；驱动三维微驱动装置，将刀具不断地向工件逼近，调控工件表面与刀具之间的距离和平行度；将刀具向工件表面移动，使刀具表面的约束刻蚀整平剂液层与工件表面接触，直至整个工件表面被刻蚀整平和抛光完毕。
-
-
公开(公告)号：CN101665960A
公开(公告)日：2010-03-10
申请号：CN200910112476.3
申请日：2009-09-04
Applicant: 厦门大学
IPC: C25D3/06
Abstract: 一种硫酸盐三价铬电镀液与制备方法，涉及一种电镀液。提供一种硫酸盐三价铬电镀液与制备方法。所述一种硫酸盐三价铬电镀液的组成包括主盐、络合剂、导电盐、pH稳定剂、镀液稳定剂、表面活性剂和促进剂。在水中加入络合剂，搅拌溶解，得溶液A；在溶液A中加入主盐，搅拌溶解，得溶液B；在水中加入导电盐，搅拌溶解，得溶液C；将溶液B和溶液C混合，用硫酸或氢氧化钠等调pH至2.0～4.5，得溶液D；在溶液D中加入添加剂，加水定容至所需体积的硫酸盐三价铬电镀液后即可使用，所述添加剂为pH稳定剂、镀液稳定剂、表面活性剂和促进剂。
-
公开(公告)号：CN100406618C
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN03101271.X
申请日：2003-01-17
Applicant: 厦门大学
Abstract: 涉及采用约束刻蚀剂层技术在金属表面进行复杂三维微结构的加工。步骤为将带有微结构的加工工具固定于固定架上；刻蚀溶液注入容器；加工工具进入溶液；启动电化学系统，在加工工具表面产生刻蚀剂；利用清除剂将刻蚀剂层压缩到纳米级或微米级厚度；启动驱动装置，对工件刻蚀，使工件表面凹陷脱离刻蚀剂层，至刻蚀完毕。加工装置设加工工具、固定架、驱动装置、计算机、电化学系统。可进行各种复杂三维微结构的批量复制加工；一步完成批量微结构的刻蚀，省去光刻中的涂胶、曝光、显影和去胶，降低成本，提高了加工精度和表面平整度；加工过程具有距离敏感性，可通过精确控制模板的进给距离精确控制加工量。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
219
records
(took 0.037 seconds)
