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公开(公告)号：CN104015943A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410277190.1
申请日：2014-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B64G7/00
Abstract: 气浮平面运动平台的质量补偿系统，属于地面全物理仿真领域。为了解决安置于上平台的气瓶中高压气体重量变化会引起上台面负载质量的变化，进而影响仿真试验的问题，所述质量补偿系统由1号储水腔、2号储水腔、水泵以及传输管道组成，1号储水腔悬挂于六自由度气浮台上平台下端，2号储水腔安置于六自由度气浮台下平台上，1号储水腔与2号储水腔通过传输管道与水泵相连。本发明采用两个储水腔动态补给的方式，测量得到气瓶中损失的气体质量后将同等质量的配重液体靠水泵抽取至上平台储水腔。本发明保证了载物平台的质量稳定性，大大提高了仿真实验精度与可行性。
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公开(公告)号：CN103941625A
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201410191713.0
申请日：2014-05-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/042
Abstract: CAN总线数据传输监控系统，属于CAN总线数据监控技术领域。本发明为了解决CAN总线出现故障时，会造成CAN总线数据传输中断的问题。它的CAN总线作为数据的传输线，包括两路CAN总线及单片机驱动最小系统，CAN总线的数据传输端连接单片机的第一数据传输端；单片机的第二数据传输端连接SD卡的数据传输端；单片机通过FSMC总线控制TFT彩屏，单片机通过SPI总线控制语音芯片，单片机通过SPI总线控制液晶显示屏，按键模块的第一输出控制端通过单片机设置CAN总线波特率，按键模块的第二输出控制端通过单片机控制SD卡数据的读取；CAN总线与上位机通过数据端口连接。本发明用于CAN总线数据传输过程中的监控。
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公开(公告)号：CN103847985A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201410128665.0
申请日：2014-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B64G7/00
Abstract: 一种基于无线传输的三自由度空间模拟器，属于航空航天领域模拟设备领域。为了解决空间仿真试验设备中干扰较大的问题。所述模拟器包括两自由度平动部分和单自由度旋转部分，所述模拟器的支撑面之间采用高压气瓶利用气浮原理设计，两自由度平动部分通过气浮导轨、气浮槽、X轴光栅尺和Y轴光栅尺实现水平XY方向的水平运动，单自由度旋转部分通过旋转轴、反作用飞轮和圆光栅尺实现360°顺逆时针方向的运动，所述模拟器还包括三个通信控制器，分别采集X轴方向、Y轴方向和旋转轴方向的位置信息，同时还用于驱动模拟器的喷嘴进行喷气。所述三个通信控制器通过无线模块与上位机进行通讯。它用于航空航天实验模拟外太空微重力和微干扰环境。
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公开(公告)号：CN103439866A
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201310381928.4
申请日：2013-08-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于VxWorks的光刻机双工件台通信方法及装置，涉及一种通信方法及装置。为了解决传统使用TCP或IP协议的VxWorks操作系统通信实时性差的问题。它是基于双工作台光刻机、上位机和VME工控机实现的，采用TCP和UDP通讯协议的双通道，TCP通道用于传输上位机的指令，UDP通道用于传输VME工控机的执行结果信息，使用缓冲队列将所有指令和数据信息缓存，然后再逐个读出，最后执行并发送，并采用零拷贝缓冲区嵌套字接口。它用于光刻机双工件台装在有VxWorks操作系统并接入以太网的环境中通信。
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公开(公告)号：CN103399466A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201310351197.9
申请日：2013-08-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种工件台宏动部分三自由度解耦建模方法，主要涉及的是一种光刻机工件台宏动部分三自由度解耦建模方法。本发明是要解决光刻机工件台宏动部分水平方向二组Y方向直线电机和一组X方向直线电机的解耦建模问题。一、根据工件台宏动部分三自由度解耦建模结构示意图计算质量块1和质量块2相对于起始点O的位置；二、根据步骤一所得的位置关系导出质量块1和质量块2的速度；三、根据步骤二所得结果导出系统总动能；四、根据步骤三的结果得出系统的惯性矩阵；五、根据步骤四的结果导出克里奥利斯和离心力矩阵；六、根据步骤四和步骤五的结果导出由电机控制力到坐标x，y的关系式。本发明属于超精密制造领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103268073A
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201310203964.1
申请日：2013-05-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B17/02
Abstract: 一种基于虚拟现实技术的双工件台半物理仿真系统，涉及一种双工件台半物理仿真系统。是为了适应对双工件台半物理仿真的需求。它包括上位机、基于VME总线工控机和三维仿真模型三个部分，上位机与工控机之间通过以太网进行数据和指令的传输，与三维仿真模块通过动态链接库进行数据和指令的交互。VME工控机内插有运动控制卡，所述运动控制卡嵌入有指令解算模型、控制模型、电机模型和工件台数学模型以实现对控制指令的解算、控制算法、电机以及工件台模型的建立和整定后控制量的输出。本发明适用于双工件台半物理仿真。
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公开(公告)号：CN102929213A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201210490730.5
申请日：2012-11-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/414
Abstract: 精密运动控制系统的非因果有效学习控制系统及控制方法，属于精密运动控制系统的控制技术领域。它解决了精密运动控制系统的动态调整时间长，使系统的工作效率低的问题。控制系统包括控制对象P、非因果学习控制律模块、有效学习函数f(t，e)模块、存储器M和反馈控制律C模块，非因果学习控制律模块由时间延迟因子zd模块、因果学习律L模块和滤波器Q组成；控制方法采用时间延迟因子对学习控制系统进行初步整形，并根据由P、C组成的反馈系统的带宽确定d，进而确定满足收敛要求的低频段范围；通过因果学习律L模块和滤波器Q进行高频部分的整形，使其满足收敛性要求。本发明适用于精密运动控制系统的控制。
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公开(公告)号：CN102707577A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201210162271.8
申请日：2012-05-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 宏微双机构伺服控制系统及其控制方法，属于精密伺服运动平台建模与控制技术领域。它解决了在双机构伺服系统的控制中，要求微动台的机械谐振高，加工难度大并且不易控制的问题。它包括微动台子控制系统和宏动台子控制系统，通过将宏动台和微动台的相对速度vr作为微动电机M1反电动势的来源，将宏动台和微动的相对位移yr作为反馈施加到宏动台部分，将参考指令R施加给微动台子系统，并将零输入参考指令作为宏动台的输入，将微动台的惯性力F直接施加到宏动台上，建立具有明确物理意义的宏微双机构伺服系统的控制模型。本发明适用于宏微双机构的伺服控制。
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公开(公告)号：CN105180966B
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201510474959.3
申请日：2015-08-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于卡尔曼滤波对二次平台线阵CCD测量倾角进行优化的系统及方法，本发明涉及基于卡尔曼滤波对二次平台线阵CCD测量倾角进行优化的系统及方法。本发明的目的是为了解决现有单纯采用线阵CCD对平台倾角进行测量时，测量结果精度低的问题。通过以下技术方案实现的：步骤一、高速旋转电机带动半导体激光器旋转，得到线阵CCD感光器件上光点的高度数据；步骤二、选取相邻的3个线阵CCD感光器件上光点的高度数据记，确定一个平面记为平面ABC，根据三点坐标可求得平面的法线方向矢量，求得θ；步骤三、采用卡尔曼滤波对夹角θ进行递推校正，得出t时刻的实际倾角。本发明应用于二次平台倾角测量领域。
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公开(公告)号：CN104044758B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201410277187.X
申请日：2014-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B64G7/00
Abstract: 一种线性电机和气浮复合驱动的垂向伺服机构，属于物理仿真领域。所述垂向伺服机构包括气路部分、线性电机部分、传感器部分和垂向运动部分，所述的垂向运动部分由基座、内套筒、外套筒和上平面组成；所述的气路部分位于垂向运动部分外部，由高压气瓶、开关阀、比例阀、气压控制器组成；所述的线性电机部分位于垂向运动部分内部，包括动子和定子；所述传感器部分位于垂向运动部分外部，安装在外套筒的下部。本发明通过气瓶为内套筒腔部提供恒压气体，并通过调节出口阀开度使外套筒部分得到重力补偿，控制线性电机实现外套筒的垂向运动。本发明具有控制方便、摩擦力小、行程长等优点。
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