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公开(公告)号：CN103399466A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201310351197.9
申请日：2013-08-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种工件台宏动部分三自由度解耦建模方法，主要涉及的是一种光刻机工件台宏动部分三自由度解耦建模方法。本发明是要解决光刻机工件台宏动部分水平方向二组Y方向直线电机和一组X方向直线电机的解耦建模问题。一、根据工件台宏动部分三自由度解耦建模结构示意图计算质量块1和质量块2相对于起始点O的位置；二、根据步骤一所得的位置关系导出质量块1和质量块2的速度；三、根据步骤二所得结果导出系统总动能；四、根据步骤三的结果得出系统的惯性矩阵；五、根据步骤四的结果导出克里奥利斯和离心力矩阵；六、根据步骤四和步骤五的结果导出由电机控制力到坐标x，y的关系式。本发明属于超精密制造领域。
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公开(公告)号：CN103366063B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201310295948.X
申请日：2013-07-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F17/50
CPC classification number: Y02T10/82
Abstract: 一种工件台微动部分机械参数估计方法，主要涉及工件台微动部分机械参数估计方法。本发明是要解决光刻机工件台微动部分三个水平音圈电机的安装角度和质心位置难于通过传统精密仪器精确测量的问题。一、建立转换关系；二、建立位置关系；三、将位置关系二次求导；四、得出相对驱动力及转矩与曝光区域中心加速度的关系式；五、得出曝光中心位置和音圈电机驱动力之间的关系式；六、设定实际质心位置和安装角度；七、由平面几何关系得出L1-L10的实际值；八、利用步骤三中的方法计算实际Q；九、利用步骤一中的方法计算实际L；十、建立误差模型；十一、列写位移差方程；十二、通过试验测得[x′t y′t r′zt z′t r′xt r′y t]T；十三、仿真得[xt yt rzt zt rxt ryt]T；十四、解方程组得△x0,△y0,△z0,△θ1,△θ2,△θ3。本发明属于超精密制造领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103399466B
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201310351197.9
申请日：2013-08-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种工件台宏动部分三自由度解耦建模方法，主要涉及的是一种光刻机工件台宏动部分三自由度解耦建模方法。本发明是要解决光刻机工件台宏动部分水平方向二组Y方向直线电机和一组X方向直线电机的解耦建模问题。一、根据工件台宏动部分三自由度解耦建模结构示意图计算质量块1和质量块2相对于起始点O的位置；二、根据步骤一所得的位置关系导出质量块1和质量块2的速度；三、根据步骤二所得结果导出系统总动能；四、根据步骤三的结果得出系统的惯性矩阵；五、根据步骤四的结果导出克里奥利斯和离心力矩阵；六、根据步骤四和步骤五的结果导出由电机控制力到坐标x,y的关系式。本发明属于超精密制造领域。
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公开(公告)号：CN103366063A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310295948.X
申请日：2013-07-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F17/50
CPC classification number: Y02T10/82
Abstract: 一种工件台微动部分机械参数估计方法，主要涉及工件台微动部分机械参数估计方法。本发明是要解决光刻机工件台微动部分三个水平音圈电机的安装角度和质心位置难于通过传统精密仪器精确测量的问题。一、建立转换关系；二、建立位置关系；三、将位置关系二次求导；四、得出相对驱动力及转矩与曝光区域中心加速度的关系式；五、得出曝光中心位置和音圈电机驱动力之间的关系式；六、设定实际质心位置和安装角度；七、由平面几何关系得出L1-L10的实际值；八、利用步骤三中的方法计算实际Q；九、利用步骤一中的方法计算实际L；十、建立误差模型；十一、列写位移差方程；十二、通过试验测得[x′t y′t r′zt z′t r′xt r′y t]T；十三、仿真得[xt yt rzt zt rxt ryt]T；十四、解方程组得△x0,△y0,△z0,△θ1,△θ2,△θ3。本发明属于超精密制造领域。
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公开(公告)号：CN103279034A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201310179857.X
申请日：2013-05-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 一种分数阶鲁棒控制器的参数整定方法，本发明属于分数阶自动控制技术领域，主要涉及的是一种PDμ结构的分数阶鲁棒控制器的参数整定方法。本发明是要解决现有方法由于不确定因素的影响使得常规的PD控制不能达到满意效果的问题。一、给定待整定系统的各项参数；二、将带宽ωc与相角裕度γm代入公式(1)以μ作为横坐标，Kd作为纵坐标绘制方程所确定的曲线；三、将带宽ωc与相角裕度γm代入公式(2)以μ作为横坐标，Kd作为纵坐标绘制方程所确定的曲线；四、利用图解法求出步骤二和步骤三所确定的曲线的交点坐标(μ，Kd)；五、将步骤四所求得的Kd和μ代入公式(3)求出Kp。本发明应用于分数阶自动控制技术领域。
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公开(公告)号：CN103345197B
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201310296004.4
申请日：2013-07-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种工件台微动部分六自由度解耦建模方法，主要涉及的是一种光刻机工件台微动部分六自由度解耦建模方法。本发明是要解决光刻机工件台微动部分竖直方向三自由度运动模型与水平方向三自由度运动模型的耦合问题。一、建立工件台微动部分质心驱动力及转矩与音圈电机驱动力之间的转换关系；二、建立曝光中心与工件台微动部分质心之间的位置关系；三、将步骤二得到的位置关系二次求导并忽略一次微分项；四、根据牛顿第二定律得出作用在工件台微动部分质心上的驱动力及转矩与曝光区域中心加速度的关系式；五、利用步骤一和步骤四所得结果列写关于质心驱动力及转矩的等式，得出曝光中心位置和音圈电机驱动力之间的关系式。本发明属于超精密制造领域。
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公开(公告)号：CN103345197A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310296004.4
申请日：2013-07-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种工件台微动部分六自由度解耦建模方法，主要涉及的是一种光刻机工件台微动部分六自由度解耦建模方法。本发明是要解决光刻机工件台微动部分竖直方向三自由度运动模型与水平方向三自由度运动模型的耦合问题。一、建立工件台微动部分质心驱动力及转矩与音圈电机驱动力之间的转换关系；二、建立曝光中心与工件台微动部分质心之间的位置关系；三、将步骤二得到的位置关系二次求导并忽略一次微分项；四、根据牛顿第二定律得出作用在工件台微动部分质心上的驱动力及转矩与曝光区域中心加速度的关系式；五、利用步骤一和步骤四所得结果列写关于质心驱动力及转矩的等式，得出曝光中心位置和音圈电机驱动力之间的关系式。本发明属于超精密制造领域。
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