-
公开(公告)号：CN109576654A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811130898.9
申请日：2018-09-27
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 小野大祐
Abstract: 本发明提供一种可通过使移动的工件附近的压力下降来提升膜的致密性的成膜装置。成膜装置包括：成膜部，具有在一端具有开口的成膜室，在成膜室内具有包括成膜材料的靶材，利用成膜室内的溅射气体中生成的等离子体使靶材的成膜材料堆积于与开口相向的工件的表面以进行成膜；以及搬运体，通过沿着规定的搬运路径对工件进行搬运而使所述工件反复通过与成膜室的开口相向的相向区域及不与成膜室的开口相向的非相向区域，搬运体具有：低压部位，载置工件，在通过相向区域时，使成膜室内小于等离子体的着火下限压力且大于等于等离子体的放电维持下限压力；以及高压部位，不载置工件，在通过相向区域时，使成膜室内大于等于着火下限压力。
-
公开(公告)号：CN109143642A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201810677636.8
申请日：2018-06-27
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
IPC: G02F1/1333
CPC classification number: G02F1/1333
Abstract: 本发明提供一种当贴合具有曲面的工件时可对工件进行定位的保持装置、定位装置以及贴合装置。本发明包括：保持部(20)，对具有曲面(CS)的工件(W1)进行保持；按压部(40)，具有对工件(W2)以仿照工件(W1)的曲面的方式进行按压的按压面(41)，且相对于为了按压而使工件(W1)与按压面(41)对向的保持部(20)，按压部(40)的与按压方向交叉的平面方向上的相对位置设置为不变动；以及定位部(50)，使工件(W2)的相对于工件(W1)的平面方向上的位置变化，由此相对于工件(W1)而对工件(W2)进行定位。
-
公开(公告)号：CN108695180A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201810261601.6
申请日：2018-03-27
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 広濑圭刚
IPC: H01L21/603
CPC classification number: H01L24/75 , H01L2224/75252 , H01L2224/75301 , H01L2224/7592
Abstract: 本发明提供一种压接装置，将一对工件经由各向异性导电构件在短时间内加热压接，并且能防止工件间产生偏移。本发明的压接装置包括将第一工件的引线及第二工件的引线经由以热硬化性树脂作为基材的ACF加热压接的压接部，压接部包括：加压构件，对第二工件进行加压；加热部，对加压构件进行加热；压力调整部，使经加热部加热的加压构件以第一压力对第二工件进行加压，第一压力较确保导电性所需要的压力低，并且利用热使基材熔融，且在基材开始硬化后维持着可粘接的硬度的期间中，以确保导电性所需要的第二压力对第二工件进行加压。
-
公开(公告)号：CN104471630B
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201380031324.5
申请日：2013-07-25
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 水野贤一
CPC classification number: B32B37/0046 , B32B38/1866 , B32B2457/20 , G02F1/1303
Abstract: 本发明提供一种基板贴合装置及基板贴合方法，可将具有凹面的凹状基板与具有可挠性的薄状基板经由粘接剂而高精度地加以贴合。本发明的基板贴合装置包括中心区块及其两侧的分离区块，分离区块在凹状基板的侧边部侧具有推压曲面，该推压曲面与该侧边部所具有的凹面的部分为大致相同的形状。而且，分离区块在靠近中心区块的第1位置A与经由薄状基板而抵接于凹状基板的侧边部的第2位置B之间移动。若分离区块移动至第1位置A，则中心区块与分离区块收缩得比凹状基板的凹面空间小，若分离区块移动至第2位置B，则中心区块与分离区块沿着凹状基板的凹面扩大。
-
公开(公告)号：CN105467685A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201510622698.5
申请日：2015-09-25
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
IPC: G02F1/1337
Abstract: 本发明提供一种基板、膜形成基板的制造方法以及涂布装置。本发明的课题在于抑制产生于膜形成区域的膜厚不均。本发明的基板(1)形成有沿着膜形成区域(2)的外周的凹槽(10)，在凹槽(10)与膜形成区域(2)之间，包含并列有多个凹部(20)的凹部群(20N)，并且凹部群(20N)的各凹部(20)的形状形成为如下形状：使涂布于基板(1)上的液体相比于从膜形成区域(2)朝向凹槽(10)的方向，在从凹槽(10)朝向膜形成区域(2)的方向上更难流动。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105463386A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201510622724.4
申请日：2015-09-25
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 川又由雄
Abstract: 本发明提供一种成膜装置及成膜基板制造方法。本发明的成膜装置包括：腔室，被导入溅射气体；搬送部，设置在腔室内，且具有循环搬送工件的搬送路径；靶，由堆积在工件上而成为膜的成膜材料形成，且设置在与搬送路径隔开并对向的位置；第一电源部，通过对靶施加电力，而使溅射气体等离子体化，且使成膜材料堆积在工件上；以及电源控制部，在工件利用搬送部而通过供成膜材料堆积的区域即成膜区域期间，根据工件相对于靶的位置的变化，使第一电源部对靶施加的电力变化。本发明具有小型且省空间的优点，且无论工件的形状如何，均能够高速且高效率地以均匀的厚度成膜。
-
公开(公告)号：CN105463385A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201510622293.1
申请日：2015-09-25
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 川又由雄
Abstract: 本发明提供一种等离子体处理装置，包括筒形电极(10)，所述筒形电极(10)在一端设有开口部(11)，且内部被导入工艺气体。筒形电极(10)与施加高频电压的高频电源连接。等离子体处理装置包括旋转台(3)作为搬送部，旋转台(3)使工件(W)通过筒形电极(10)的开口部(11)的正下方。等离子体处理装置还包括磁性构件(17)，所述磁性构件(17)在开口部(11)的附近，形成包含与工件(W)的搬送方向大致平行的磁力线的磁场(B)。本发明能够减少等离子体的泄漏，且使蚀刻速率提高。
-
公开(公告)号：CN104858105A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201510076486.1
申请日：2015-02-12
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Abstract: 本发明提供一种粘合剂涂布装置、显示装置用构件的制造装置及制造方法。一种粘合剂涂布装置(1)，对构成显示装置的工件(S1)涂布通过照射能量而硬化的粘合剂(R)，且包括：涂布部(10)，一面相对于工件(S1)相对移动，一面对工件(S1)涂布粘合剂(R)；及照射部(11)，通过对利用涂布部(10)涂布的粘合剂(R)照射能量而使粘合剂(R)临时硬化；且照射部(11)在粘合剂(R)的贴合面变得平坦的第1时序与在贴合面产生崩塌之前的第2时序之间设定有照射时序。本发明可通过使涂布在工件上的粘合剂临时硬化来抑制其变动，此外，可通过在适当时序使粘合剂临时硬化而将其限定为适当形状，从而可防止贴合品质降低。
-
公开(公告)号：CN116057669B
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202180055657.6
申请日：2021-09-15
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
IPC: C23C14/06 , H01L21/203
Abstract: 本发明提供一种能够以高生产率形成GaN膜的成膜装置及成膜方法。实施方式的成膜装置(1)包括：腔室(20)，能够使内部为真空；旋转台(31)，设置于腔室(20)内，保持工件(10)，以圆周的轨迹循环搬送工件(10)；GaN成膜处理部(40A)，具有包含含有GaN的成膜材料的靶、及将导入至所述靶与所述旋转台之间的溅射气体(G1)等离子体化的等离子体产生器，通过溅射使含有GaN及Ga的成膜材料的粒子堆积于由旋转台(31)循环搬送的工件(10)；以及氮化处理部(50)，使在GaN成膜处理部(40A)中堆积的成膜材料的粒子在由旋转台(31)循环搬送的工件(10)氮化。
-
公开(公告)号：CN114823443B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202210018112.4
申请日：2022-01-07
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 西部幸伸
IPC: H01L21/677 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种基板搬送装置以及基板处理装置，能够提高基板的品质。实施方式是搬送具有翘曲的基板的基板搬送装置，包括：多个搬送辊，具有支撑基板的凹面侧的圆柱部，通过圆柱部以轴为中心而旋转，从而搬送基板；第一轴，与搬送辊成同轴地沿着与基板的搬送方向正交的宽度方向而设；按压辊，按压基板的凸面；及第二轴，与按压辊成同轴地设置，且搬送辊是将在宽度方向上隔开地设置的两个作为一组，而沿搬送方向配置有多组，在各组的两个搬送辊，设有在宽度方向上隔开的两根第一轴，搬送辊与按压辊的隔开距离具有沿着搬送方向而变短的部分。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
254
records
(took 0.034 seconds)
