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公开(公告)号:CN104668152A
公开(公告)日:2015-06-03
申请号:CN201410705121.6
申请日:2014-11-26
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor: 泷泽洋次
Abstract: 本发明提供一种涂布装置、涂布方法、显示装置用部件的制造装置及显示装置用部件的制造方法。所述涂布装置包括:检测部(30A),配置在涂布喷嘴(21)相对移动的方向上的涂布喷嘴(21)的下游侧,检测至设置在载台(11)上的校正部(11a)的距离及至工件(S)表面的距离;检测部(30B),配置在涂布喷嘴(21)的上游侧,检测至校正部(11a)的距离及至涂布在工件(S)上的粘合剂表面的距离;及控制装置(P),对检测部(30A、30B)的检测值进行校正而算出粘合剂(R)的涂布厚度。本发明可使用多个传感器效率佳且准确地检测粘合剂的涂布厚度。
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公开(公告)号:CN104678612B
公开(公告)日:2018-12-14
申请号:CN201410705406.X
申请日:2014-11-27
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Abstract: 本发明的基板贴合装置、显示面板制造装置及方法均匀地按压粘合层来使基板与粘合层密接而减少空隙的产生。基板贴合装置(20)经由形成在液晶面板(S1)的表面上的粘合层(R1)而将液晶面板(S1)与保护面板(S2)贴合,其包括:作为支撑部的下侧板(22)支撑液晶面板(S1);作为保持部的上侧板(23)在与液晶面板(S1)相向的位置上保持保护面板(S2);升降机构(25)对上侧板(23)进行驱动,由此经由粘合层(R1)而将液晶面板(S1)与保护面板(S2)贴合;弹性片(24)设置在下侧板(22)的表面上,具有与粘合层(R1)相似的形状且大致相同的大小,仅按压液晶面板(S1)的形成有粘合层(R1)的部分。
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公开(公告)号:CN104678612A
公开(公告)日:2015-06-03
申请号:CN201410705406.X
申请日:2014-11-27
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
CPC classification number: G02F1/1303 , H01L51/56
Abstract: 本发明的基板贴合装置、显示面板制造装置及方法均匀地按压粘合层来使基板与粘合层密接而减少空隙的产生。基板贴合装置(20)经由形成在液晶面板(S1)的表面上的粘合层(R1)而将液晶面板(S1)与保护面板(S2)贴合,其包括:作为支撑部的下侧板(22)支撑液晶面板(S1);作为保持部的上侧板(23)在与液晶面板(S1)相向的位置上保持保护面板(S2);升降机构(25)对上侧板(23)进行驱动,由此经由粘合层(R1)而将液晶面板(S1)与保护面板(S2)贴合;弹性片(24)设置在下侧板(22)的表面上,具有与粘合层(R1)相似的形状且大致相同的大小,仅按压液晶面板(S1)的形成有粘合层(R1)的部分。
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公开(公告)号:CN111334763A
公开(公告)日:2020-06-26
申请号:CN201911279933.8
申请日:2019-12-13
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Abstract: 本发明提供一种工件的冷却效率优异的成膜装置。所述成膜装置具有:搬入搬出部(100);旋转体(3);多个处理部(PR);以及推动器(500),朝工件(W)从旋转体(3)脱离,并被从开口(ОP)导入处理部(PR)内的方向对基座(S)施力;多个处理部(PR)包含对工件(W)进行加热的加热部(200)、对工件(W)进行成膜的成膜部(300)、及对工件(W)进行冷却的冷却部(400),在旋转体(3)设置有保持部(33),所述保持部(33)保持旋转体(3)正在搬送的基座(S),并通过由推动器(500)施力而放开基座(S),在推动器(500)设置有密封部(520),所述密封部(520)将工件(W)导入处理部(PR),并且将开口(ОP)密封。
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公开(公告)号:CN106104659A
公开(公告)日:2016-11-09
申请号:CN201580014649.1
申请日:2015-03-05
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
IPC: G09F9/00 , G02F1/13 , G02F1/1333
CPC classification number: G02F1/1303 , G02F1/133308 , G02F2001/133331 , G02F2202/28
Abstract: 本发明的课题在于填充黏着剂的缘部与工件之间产生的间隙。显示装置用构件的制造装置(100)包括:黏着剂涂布装置(1),将黏着剂(R)在液晶面板(S1)上涂布成面状而形成黏着层(R1);黏着剂补充部(6),对液晶面板(S1)或盖面板(S2)供给补充用黏着剂(R10);以及贴合装置(2),将液晶面板(S1)及盖面板(S2)通过黏着层(R1)贴合。黏着剂补充部(6)供给补充用黏着剂(R10),补充用黏着剂(R10)填充贴合装置(2)中贴合的液晶面板(S1)及盖面板(S2)中,黏着层(R1)的缘部的至少一部分与盖面板(S2)之间产生的间隙。
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公开(公告)号:CN104765167A
公开(公告)日:2015-07-08
申请号:CN201410841674.4
申请日:2014-12-30
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
IPC: G02F1/13 , G02F1/1333 , B32B37/12 , B32B37/10
Abstract: 本发明提供了一种基板贴合装置、显示装置用构件的制造装置及制造方法。基板贴合装置(20)是经由形成在液晶面板(S1)的表面上的粘合层(R1)而将液晶面板(S1)与保护面板(S2)贴合,其包括:作为支撑部的下侧板(22),支撑液晶面板(S1);作为保持部的上侧板(23),在与液晶面板(S1)对向的位置上保持保护面板(S2);升降机构(25),对上侧板(23)进行驱动,由此经由粘合层(R1)而将液晶面板(S1)与保护面板(S2)贴合;弹性片(24),一部分埋入至下侧板(22)中,一面经由液晶面板(S1)而按压粘合层(R1)一面进行收缩。
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公开(公告)号:CN104741291A
公开(公告)日:2015-07-01
申请号:CN201410818187.6
申请日:2014-12-24
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Abstract: 本发明提供一种粘合剂涂布装置与构件清洁法及显示面板制造装置与方法。所述粘合剂涂布装置(10)包括:作为粘合剂涂布构件的狭缝涂布机(12),供给粘合剂(R)且从设置于前端的喷嘴(12b)对基板涂布粘合剂(R);以及清洁构件(14),与狭缝涂布机(12)相向配置,狭缝涂布机(12)朝向清洁构件(14)的表面而在垂直方向上移动,使附着于喷嘴(12b)的前端的液滴(D)与清洁构件(14)的表面接触,使液滴(D)流动,且以从清洁构件(14)的表面离开的方式在垂直方向上移动,而将液滴(D)从喷嘴(12b)前端去除。本发明的方案能降低因喷嘴或清洁构件的摩擦或产生灰尘而引起的消耗。
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公开(公告)号:CN104511400A
公开(公告)日:2015-04-15
申请号:CN201410499403.5
申请日:2014-09-25
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Abstract: 本发明提供一种粘合剂涂布装置及其涂布方法、以及显示装置用构件的制造装置及其制造方法,可抑制涂布在工件上的粘合剂的临时硬化状态部分性地变动,从而可防止贴合品质的降低。一种粘合剂涂布装置(1),对构成显示装置的罩面板即工件(S)涂布通过照射UV光而硬化的粘合剂(R),且具有:涂布部(10),一面相对于工件(S)相对移动一面将粘合剂(R)涂布在工件(S)上;及照射部(11),根据涂布部(10)与工件(S)的相对速度的变化,而以相对于涂布在工件(S)上的粘合剂(R)的每单位面积的照射量成为固定的方式照射UV光。
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公开(公告)号:CN117265475A
公开(公告)日:2023-12-22
申请号:CN202310714190.2
申请日:2023-06-16
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Abstract: 本发明提供一种可效率良好地加热工件并且进行成膜的成膜装置。实施方式的成膜装置具有:腔室,能够使内部为真空;旋转台,设置于腔室内,对多个工件进行保持,以圆周的轨迹进行循环搬送;成膜部,具有对导入至包含成膜材料的靶与旋转台之间的溅镀气体进行等离子体化的等离子体产生器,通过溅镀使成膜材料的粒子堆积于由旋转台进行的循环搬送中的工件来进行成膜;膜处理部,对利用成膜部堆积于由旋转台进行的循环搬送中的工件而成的膜进行处理;多个保持区域,在旋转台中设置于作为旋转轴以外的区域的、与成膜部及膜处理部相向的圆环状的成膜区域,对各个工件进行保持;以及加热部,配置于多个保持区域。
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公开(公告)号:CN111334763B
公开(公告)日:2022-06-14
申请号:CN201911279933.8
申请日:2019-12-13
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Abstract: 本发明提供一种工件的冷却效率优异的成膜装置。所述成膜装置具有:搬入搬出部(100);旋转体(3);多个处理部(PR);以及推动器(500),朝工件(W)从旋转体(3)脱离,并被从开口(ОP)导入处理部(PR)内的方向对基座(S)施力;多个处理部(PR)包含对工件(W)进行加热的加热部(200)、对工件(W)进行成膜的成膜部(300)、及对工件(W)进行冷却的冷却部(400),在旋转体(3)设置有保持部(33),所述保持部(33)保持旋转体(3)正在搬送的基座(S),并通过由推动器(500)施力而放开基座(S),在推动器(500)设置有密封部(520),所述密封部(520)将工件(W)导入处理部(PR),并且将开口(ОP)密封。
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