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公开(公告)号：CN117212121B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311127210.2
申请日：2023-09-04
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及高真空泵抽速测试装置及其使用方法，包括进气管路、与进气管路相连接的测试管路以及与测试管路相连接的校准管路；进气管路包括依次连接的流量系统和第五阀门；测试管路包括依次连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵和第一前级泵，第一测试罩上还连接有第二真空计；校准管路包括依次连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、抽气机组，第二测试罩上还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为结构和尺寸均不相同的真空容器。本发明可提高测试精度，减小测量不确定度，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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公开(公告)号：CN116697177A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310818990.9
申请日：2023-07-05
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及用于高真空泵抽速测试进气散流机构，包括连接法兰、连接于所述连接法兰一侧的进气管、以及依次连接于所述连接法兰另一侧的平面散流板、第一连接杆、第一锥形散流版、第二连接杆和第二锥形散流版。本发明基于双级锥形散流结构的散流板可以保证气体分子在进入后至少发生两次碰撞，实现良好的平衡态，还具有放气量小的优点，同避免了传统弯管进气引起的束流效应，减小了本底真空的测量不确定度，可以提高测试效率和测试结果的可靠性。
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公开(公告)号：CN116398421B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202310603958.9
申请日：2023-05-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种高真空泵抽速测试装置及其使用方法，高真空泵抽速测试装置包括进气管路、测试管路和对比管路，测试管路包括顺序连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵、第一前级泵，第一测试罩还连接有第二真空计；对比管路包括顺序连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、流导抽气机组，第二测试罩还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为相同的真空容器。本发明，克服了传统测量抽速等效氮气的不足，提高测试精度，减小测量不确定度，提高测试效率，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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公开(公告)号：CN116398421A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202310603958.9
申请日：2023-05-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种高真空泵抽速测试装置及其使用方法，高真空泵抽速测试装置包括进气管路、测试管路和对比管路，测试管路包括顺序连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵、第一前级泵，第一测试罩还连接有第二真空计；对比管路包括顺序连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、流导抽气机组，第二测试罩还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为相同的真空容器。本发明，克服了传统测量抽速等效氮气的不足，提高测试精度，减小测量不确定度，提高测试效率，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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公开(公告)号：CN118566330A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410787824.1
申请日：2024-06-18
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N27/623
Abstract: 本发明涉及一种基于质谱计比较法测量(10‑8～10‑11)m3/s分子流导的装置及方法，包括进气管路、比较管路、待测管路、质谱分析管路和抽真空管路。进气管路包括气源、与气源连接的第一阀门和第二阀门；比较管路包括第一稳压室、第一真空计、第三真空计和参考流导元件；待测管路包括第二稳压室、第二真空计、第四真空计、第五真空计和待测流导元件；质谱分析管路包括质谱分析室、限流元件、四极质谱计和第六真空计；抽真空管路包括第一分子泵、第二分子泵、第一干泵和第二干泵。本发明，利用四极质谱计的线性，通过已知相对较大分子流导值的流导元件作为参考标准，实现(10‑8～10‑11)m3/s的流导元件的分子流导值的测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117490783B
公开(公告)日：2025-01-17
申请号：CN202311352968.6
申请日：2023-10-18
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种下限为5×10‑18Pa·m3/s的流量计及其使用方法，所述标准气体流量计包括：分子流导取气模块，包括第一气瓶、第一阀门、第二阀门、第一真空室、第三阀门和第一高真空泵机组、第四阀门、第一标准流导元件、第五阀门、第一真空计和第二真空计；压力取气模块，包括第二气瓶、第八阀门、第七阀门、第六阀门、第三真空室、第九阀门和第二高真空泵机组、第五真空计和第六真空计；分子流导供气模块，包括第二真空室、第十阀门、第二标准流导元件、第十一阀门、第四真空室、第十二阀门、第三高真空泵机组、第十三阀门、第三真空计、第四真空计和第七真空计。本发明设备简单、成本低、操作方便，可将标准气体流量下限延伸至10‑18数量级。
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公开(公告)号：CN118603438A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410682221.5
申请日：2024-05-29
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种微小气体流量计流导元件入口微量氦气的获得装置，微小气体流量计流导元件入口微量氦气的获得装置包括配置有第一测试室的氦气配气管路和配置有第二测试室的氢气配气管路，氢气配气管路和氦气配气管路并联后通过第七阀门依次连接有第三测试室、第十五阀门、高真空泵、第十六阀门和前级泵，前级泵通过第十三阀门连接至氢气配气管路和氦气配气管路的并联节点；第三测试室通过第十二阀门与吸气剂泵连接、通过第十一阀门与流导元件连接、通过第八阀门与第三真空计连接、通过第九阀门与第四真空计连接、通过第十阀门与第四测试室连接；第三测试室还通过第十四阀门与前级泵连接。本发明，能够获取极微小的氦气气体流量Qs。
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公开(公告)号：CN117490783A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311352968.6
申请日：2023-10-18
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种下限为5×10‑18Pa·m3/s的流量计及其使用方法，所述标准气体流量计包括：分子流导取气模块，包括第一气瓶、第一阀门、第二阀门、第一真空室、第三阀门和第一高真空泵机组、第四阀门、第一标准流导元件、第五阀门、第一真空计和第二真空计；压力取气模块，包括第二气瓶、第八阀门、第七阀门、第六阀门、第三真空室、第九阀门和第二高真空泵机组、第五真空计和第六真空计；分子流导供气模块，包括第二真空室、第十阀门、第二标准流导元件、第十一阀门、第四真空室、第十二阀门、第三高真空泵机组、第十三阀门、第三真空计、第四真空计和第七真空计。本发明设备简单、成本低、操作方便，可将标准气体流量下限延伸至10‑18数量级。
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公开(公告)号：CN115791353A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211495203.3
申请日：2022-11-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N1/38
Abstract: 本发明涉及一种标准样品动态模拟器，包括：进气口(1)、与所述进气口(1)连接的充气腔(2)、送样腔(4)、与所述送样腔(4)连接的送样出口(5)、真空线性运动机构(9)和标准体积(6)，标样气体均匀地从所述进气口(1)进入所述充气腔(2)并填充所述标准体积(6)，完成标样气体的取样；所述真空线性运动机构(9)驱动所述标准体积(6)向下运动，将所述标准体积(6)中的标样气体排入所述送样腔(4)，经所述送样出口(5)完成标样气体的送样。本发明将标准体积里的标样气体动态引入分析腔管路，确保标准体积内标样气体和上游气源参数的一致性和可知性，能正确进行量值溯源。
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公开(公告)号：CN117419996B
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202311355171.1
申请日：2023-10-18
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及采用真空条件下流量计配制标准混合气体的装置及方法，所述装置包括：微量气体取样管路，包括第一气瓶、第一阀门、第二阀门、第一真空室、第三阀门、第一高真空泵机组、第一真空计和第二真空计；其他气体取样管路，包括第二气瓶、第十一阀门、第九阀门、第三真空室、第十阀门、第二高真空泵机组、第五真空计和第六真空计；混合气体管路，包括第四阀门、标准流导元件、第五阀门、第六阀门、第二真空室、第七阀门、第八阀门、第十二阀门、第三真空计和第四真空计；第一真空室与第四阀门连接，第三真空室相与第七阀门、第八阀门和第十二阀门连接。本发明设备简单、成本低、操作方便，可将配制标准混合气体的配制比下限延伸至2×10‑10。
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