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公开(公告)号：CN116697177A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310818990.9
申请日：2023-07-05
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及用于高真空泵抽速测试进气散流机构，包括连接法兰、连接于所述连接法兰一侧的进气管、以及依次连接于所述连接法兰另一侧的平面散流板、第一连接杆、第一锥形散流版、第二连接杆和第二锥形散流版。本发明基于双级锥形散流结构的散流板可以保证气体分子在进入后至少发生两次碰撞，实现良好的平衡态，还具有放气量小的优点，同避免了传统弯管进气引起的束流效应，减小了本底真空的测量不确定度，可以提高测试效率和测试结果的可靠性。
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公开(公告)号：CN117490783B
公开(公告)日：2025-01-17
申请号：CN202311352968.6
申请日：2023-10-18
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种下限为5×10‑18Pa·m3/s的流量计及其使用方法，所述标准气体流量计包括：分子流导取气模块，包括第一气瓶、第一阀门、第二阀门、第一真空室、第三阀门和第一高真空泵机组、第四阀门、第一标准流导元件、第五阀门、第一真空计和第二真空计；压力取气模块，包括第二气瓶、第八阀门、第七阀门、第六阀门、第三真空室、第九阀门和第二高真空泵机组、第五真空计和第六真空计；分子流导供气模块，包括第二真空室、第十阀门、第二标准流导元件、第十一阀门、第四真空室、第十二阀门、第三高真空泵机组、第十三阀门、第三真空计、第四真空计和第七真空计。本发明设备简单、成本低、操作方便，可将标准气体流量下限延伸至10‑18数量级。
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公开(公告)号：CN117490783A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311352968.6
申请日：2023-10-18
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种下限为5×10‑18Pa·m3/s的流量计及其使用方法，所述标准气体流量计包括：分子流导取气模块，包括第一气瓶、第一阀门、第二阀门、第一真空室、第三阀门和第一高真空泵机组、第四阀门、第一标准流导元件、第五阀门、第一真空计和第二真空计；压力取气模块，包括第二气瓶、第八阀门、第七阀门、第六阀门、第三真空室、第九阀门和第二高真空泵机组、第五真空计和第六真空计；分子流导供气模块，包括第二真空室、第十阀门、第二标准流导元件、第十一阀门、第四真空室、第十二阀门、第三高真空泵机组、第十三阀门、第三真空计、第四真空计和第七真空计。本发明设备简单、成本低、操作方便，可将标准气体流量下限延伸至10‑18数量级。
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