功率器件保护芯片及其制造方法

    公开(公告)号:CN108962854A

    公开(公告)日:2018-12-07

    申请号:CN201810811156.6

    申请日:2018-07-23

    CPC classification number: H01L23/522 H01L21/4814 H01L21/4885 H01L23/481

    Abstract: 本发明提供一种功率器件保护芯片及其制造方法,包括:第一导电类型的衬底;形成在所述衬底上的第一沟槽;形成于所述第一沟槽侧壁的第一氧化硅层;生长于所述第一沟槽底部的第二导电类型的第一外延层;生长于所述第一外延层上表面的第一导电类型的第二外延层;生长于所述第二外延层上表面的第二导电类型的第三外延层;形成于所述第一外延层的下表面的第二氧化硅层;形成于所述第三外延层的上表面的第二沟槽;形成于所述第二沟槽的内壁的第三氧化硅层;填充于所述第二沟槽内且与所述第一外延层电连接的正面金属层的第一部分;形成于所述衬底的下表面的背面金属层。所述功率器件保护芯片具有低电容、集成度高、制造工艺简单的特点。

    一种集成无源器件及其封装方法

    公开(公告)号:CN107240554A

    公开(公告)日:2017-10-10

    申请号:CN201710374952.3

    申请日:2017-05-24

    Inventor: 徐健

    CPC classification number: H01L23/31 H01L21/56 H01L23/522 H01L23/528

    Abstract: 本发明公开了一种集成无源器件及其封装方法,其中所述方法包括:制备晶圆,晶圆内形成若干芯片单元,芯片单元的正面具有信号引脚;在一个或多个芯片单元的正面刻蚀凹槽;在凹槽底部开孔,形成连通凹槽至芯片背面的连接孔;在芯片背面进行注塑,注塑材料通过连接孔注满凹槽,在凹槽内形成第一绝缘层,且注塑材料覆盖芯片背面形成第二绝缘层;在第一绝缘层上进行布线,形成第一线路,将第一线路与芯片单元的信号引脚连接。该集成无源器件及方法使得IPD以绝缘材料为基体材料,器件的电性能远高于硅基材料,满足高Q值的要求,IPD做在芯片衬底刻蚀的凹槽上使封装结构尺寸减小,注塑基于晶圆级工艺采用整体晶圆注塑的方法,加工更加便捷、高效。

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